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Luce migliorato Acido fluoridrico passivazione
 
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Luce migliorato Acido fluoridrico passivazione: una tecnica sensibile per il rilevamento di difetti Silicon Bulk

Article DOI: 10.3791/53614-v 09:15 min January 4th, 2016
January 4th, 2016

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A RT superficie liquida tecnica di passivazione per indagare l'attività ricombinazione di difetti di silicio di massa è descritta. Per la tecnica abbia successo, tre passaggi critici sono richiesti: (i) pulizia chimica ed attacco del silicio, (ii) l'immersione del silicio in 15% di acido fluoridrico e (iii) l'illuminazione per 1 min.

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Ingegneria Numero 107 durata Bulk difetti acido fluoridrico illuminazione passivazione photoconductance ricombinazione.
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