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Méthodologie de conception et caractérisation pour filtres MEMS Tunable efficace Wide Range
 
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Méthodologie de conception et caractérisation pour filtres MEMS Tunable efficace Wide Range

Article DOI: 10.3791/56371-v 15:25 min February 4th, 2018
February 4th, 2018

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Resumen

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Un protocole pour une conception de faisceau fixe-fixe à l’aide d’un vibromètre laser Doppler (LDV), y compris la mesure de la fréquence, tuning, modification de réglage capacité et éviter la défaillance du dispositif et prismatique, est présenté. La supériorité de la méthode LDV sur l’analyseur de réseau est démontrée en raison de sa capacité supérieure de la mode.

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Filtres de génie numéro 132 microsystèmes électromécaniques (MEMS) (CMOS) complementary metal-oxide semiconductor-MEMS Microrésonateur réglage de la fréquence active large gamme mode haute résonance Joule chauffage prismatique laser Doppler vibromètre () LDV)
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