ייצור ננו-מבנה אטומי למעקב

8.6K צפיות

צוטט 4 פעמים

12:35 דק׳

17 ביולי 2015

10.3791/52900-v

17 ביולי 2015

8.6K צפיות

Josh B. Ballard¹ , Don D. Dick² , Stephen J. McDonnell³ , Maia Bischof⁴ , Joseph Fu⁵ , James H. G. Owen¹ , William R. Owen¹ , Justin D. Alexander¹ , David L. Jaeger⁴ , Pradeep Namboodiri⁵ , Ehud Fuchs¹ , Yves J. Chabal³ , Robert M. Wallace³ , Richard Reidy⁴ , Richard M. Silver⁵ , John N. Randall¹ , James Von Ehr¹

¹Zyvex Labs, ²Department of Physics, University of Texas at Dallas, ³Department of Materials Science and Engineering, University of Texas at Dallas, ⁴Materials Science and Engineering, University of North Texas, ⁵National Institute of Standards and Technology

אנו מדווחים על פרוטוקול לשילוב המטרולוגיה האטומית של מיקרוסקופ המנהור הסורק לדפוס פני השטח עם שקיעת שכבה אטומית סלקטיבית ותחריט יונים תגובתי. באמצעות תהליך חזק הכולל חשיפות אטמוספריות רבות והובלה, ננו-מבנים תלת מימדיים עם מטרולוגיה אטומית מיוצרים.