שימוש במיקרוסקופ סריקת לייזר לקביעת הגירה חשמלית בדיסיליציד מוליבדן

היקף המחקר שלי הוא קביעת תופעות ההגירה החשמלית במוליבדן דיסיליציד והסתכלות על הגורמים המשפיעים, כגון אורך הקו הנבדק והחומר העוטף את הפרמטרים מטען יונים אפקטיבי ואנרגיית השבתה. האתגר הניסויי הנוכחי טמון בהרחבת שיטה זו לטמפרטורות גבוהות יותר. בהשוואה לשיטות אחרות, הפרוטוקול שלנו משתמש במיקרוסקופ סריקת לייזר. טכניקות אחרות משתמשות בדרך כלל במיקרוסקופ אלקטרונים סורק. למדידות עם מיקרוסקופ האלקטרונים הסורק, בדרך כלל יש לך הכנת דגימה שעשויה להשפיע על אנרגיית ההפעלה הנמדדת ועל מטען היונים האפקטיבי הנמדד, כך שבמקרה שלנו, איננו זקוקים להכנת הדגימה המשוכללת הזו. זה גם הופך את זה למהיר יותר. נתמקד בחקירת מטען היונים האפקטיבי ב- molybdenum disilicide בטמפרטורות גבוהות, וגם בחקירת אנרגיית ההפעלה של molybdenum disilicide בטמפרטורות גבוהות ו- molybdenum disilicide לא מסומם עם מיני dopant שונים, ונסתכל גם על השינויים של חללים שנוצרו באופן מלאכותי בחומרים שונים.

[מדריך] כדי להתחיל, הפעל את מיקרוסקופ סריקת הלייזר ופתח את תוכנת המדידה והניתוח. בעזרת מחזיק דגימה מתאים, אבטח את הדגימה כך שתישאר קבועה על שלב המיקרוסקופ במהלך הסריקה. הכן מקור זרם מדויק וחוטים נחוצים לחיבור לחשמל והתאם את גובה שלב המיקרוסקופ. כעת, מקם את הדגימה במחזיק הדגימה מתחת למיקרוסקופ סריקת הלייזר. יישר את הדגימה במקביל לשולחן המיקרוסקופ וקבע אותה במקומה כדי למנוע כל תזוזה במהלך המדידות. חבר את שקע החשמל של המקור הנוכחי לדוגמא או למחזיק הדגימה בהתאם להגדרה. ודא שחוטי הקשר עדיין מחוברים לדגימה על ידי בדיקה אופטית. התאם את הפרש הגובה בין עדשת האובייקט לדגימה כדי להביא את אזור העניין למיקוד באמצעות עדשת האובייקט בהגדלה הנמוכה ביותר. השתמש במיקוד ידני או לחץ על פוקוס אוטומטי בחלון התצפית של תוכנת המדידה. שנה את עדשת האובייקט להגדלה גבוהה יותר והתמקד מחדש באזור העניין. המשך בתהליך זה עד שאזור העניין נראה בבירור בהגדלה הגבוהה ביותר, כגון 150X, בחלון התצפית. הגדר כלים, מדידה וספירה ממוצעת לארבע, ולאחר מכן לחץ על אפשרויות ולאחר מכן שמירה אוטומטית, בחר תיקיית יעד לשמירה, הזן קידומת שם קובץ ודוגמה ולחץ על אישור. פתח את חלון המדידה, בחר מצב מומחה ובחר הגדרות מדידה ואחריו פרופיל פני השטח, סופר עדין 2048 על 1536 ודיוק גבוה. כדי להגדיל את המרחק בין עדשת המטרה לדגימה, לחץ על החצים כלפי מעלה עד שהמשטח כולו יופיע שחור בחלון ולאחר מכן לחץ על הגדר קופה עליונה. לאחר מכן, צמצם את המרחק באמצעות חצים כלפי מטה עד שהמשטח המלא נראה והמשך עד שהמשטח הופך שוב לשחור, ולאחר מכן לחץ על הגדר קופה תחתונה. לחץ על הגבר אוטומטי ולאחר מכן התחל למדוד כדי להתחיל לסרוק את המשטח. הגדל את המרחק בין המטרה לדגימה בכמה מילימטרים עד סנטימטר אחד באמצעות החצים כלפי מעלה כדי לבטל את מיקוד הלייזר לפני הפעלת לחץ על הדגימה. הפעל מתח זרם באמצעות התנאים שנקבעו מראש, כגון צפיפות זרם וזמן, ולאחר מכן עצור את זרימת הזרם לאחר הזמן שצוין. שלוש עד חמש דקות לאחר הפעלת הלחץ הנוכחי, מקד את מיקרוסקופ סריקת הלייזר באזור העניין כאשר הדגימה חוזרת לטמפרטורת החדר. המשך להתמקד עד שהמדגם כבר לא מעביר את המיקוד שלו בעצמו כדי להבטיח שאין סחיפות במדידת פני השטח עקב שינויי טמפרטורה. סרוק את אותו אזור שנסרק לפני הלחץ הנוכחי באמצעות אותן הגדרות בדיוק ששימשו קודם לכן. פתח את תוכנת הניתוח ולחץ על קובץ ופתח, ולאחר מכן אתר את הקובץ הנכון. אם הקובץ כבר פתוח, המשך לתקן את ההטיה של הדגימות לאחר בחירת תמונת התהליך ותיקון ההטיה כדי להפעיל את חלון תיקון ההטיה. בחלון התיקון, קבעו את תמונת התצוגה ללייזר פלוס אופטי ובחרו בשיטת התיקון Plane Tilt Three Points להצגת שלוש נקודות בתמונה. הזז את הקו המנחה כך שרוב הקו יהיה ברקע, והתאם את שלוש הנקודות הקרובות לאזור העניין. לאחר מכן, הזז את שלוש הנקודות כך שהמישור המיוצג על ידי שני קווים ישרים בחתכים יתיישר עם הרקע. בחר אל תתאים את גובה ההיסט אפס נתונים והתאם אוטומטית את טווח הגובה, ולאחר מכן לחץ על ביצוע, ולאחר מכן סגור כדי להחיל את התיקונים. כדי לפתוח את חלון החיתוך, לחץ על עיבוד תמונה וחיתוך. בחר את הרוחב והגובה של החיתוך בהתאם לאזור העניין, והתאם את מלבן הבחירה כך שיקיף את כל אזור העניין. שמור את התמונה המתוקנת והחתוכה ולחץ על קובץ ואתר את הקובץ הנכון. כדי לייצא את אזור העניין תוך שמירה על מידע תלת-ממדי, לחץ על קובץ, ולאחר מכן על פלט נתוני CAD תלת-ממדיים כדי לפתוח את חלון פרמטר הפלט. הגדר את כמות הדילוג לאחד, את דיוק תצוגת המספרים בפועל ל-10, את יחס הזום XY ל-X1 ושפר את הגובה ל-100%, לאחר מכן, בחר משטח ולחץ על הגדר כדי לאשר את ההגדרות. בחר את נתוני קבוצת הנקודות כדי לשמור נתונים עם תווית ייחודית. לאחר השלמת הייצוא, יופיע חלון אישור. פתח את הגירסה של תוכנת ההערכה והחבילות. כדי להפעיל את התוכנית, לחץ על סמל החץ. נווט לתיקייה המכילה את קובצי ASC לאחר לחיצה על פתח ובחירת נתיב השמירה המתאים. טען את קבצי ה-ASC לתוכנית עם השם לדוגמה הנכון מרשימת הבחירה. ודא שאפשרות האזור נבחרה, ולאחר מכן לחץ על צלב, ולאחר מכן על אזור. בעזרת העכבר, בחר מלבן על משטח המצע כדי להגדיר את קנה המידה לגובה. בדוק את שתי היסטוגרמות הגובה לפני ואחרי ההדגשה הנוכחית, הממוקמות לצד תמונת אזור העניין, והתאם את הבחירה כדי להבטיח ששתי ההיסטוגרמות נראות מפוזרות באופן רגיל ודומות. כעת, לחץ על לחצן האפס המסומן כרקע כדי להגדיר גובה זה כרמת הרקע. בחר מלבן שני על קטע שטוח על גבי הקו הנבדק. שוב, בחן והתאם את ההיסטוגרמה כך שהיא תיראה מפוזרת באופן נורמלי ודומים ככל האפשר. לחץ על קו תחת בדיקה ולאחר מכן לחץ על אישור כדי לשמור ערך גובה זה. לאחר מכן, לחץ שוב על סמל החץ כדי להפעיל מחדש את התוכנית. צייר מלבן ליד שפת גבעה בודדת, או חלל בתמונה שכותרתה IMG compare באמצעות כפתור העכבר השמאלי. התאימו את המלבן לשולי המבנה בעזרת התמונה המוגדלת, כגון זו המסומנת חיתוך רגוע. מקדו את האזור שנבחר כך שהמלבן יכלול במדויק את הגבעה. לבסוף, לחץ על כפתור השמירה שליד IMG השוואה כדי לשמור את הנפח האינטגרלי על סמך סכום הפיקסלים. גבעות שנוצרו לאחר לחץ זרם הראו גבהים בדרך כלל בסביבות 190 ננומטר, כאשר הגבעות הקטנות ביותר שניתן לזהות בבירור הן 34 ננומטר, וממדים רוחביים של מיקרומטר אחד בערך. נפח מהגר חשמלי גדל עם אורך הקו הנבדק, כפי שמוצג על ידי קו המגמה האקספוננציאלי בתרשים. נפח ההגירה החשמלית גדל עם צפיפות זרם גבוהה יותר, ושני עוביים שונים של תחמוצת סיליקון בטמפרטורה גבוהה הראו נקודות התחלה שונות להגירה חשמלית. בצפיפות זרם נמוכה יותר של 2.56 כפול 10 בחזקת 10 אמפר למ"ר, נתונים שמישים הראו מגמה הולכת וגוברת של נפח אלקטרו-מהגר עם אורך קו הולך וגדל.