Microfabrication של שבב בגודל פיגומים לעיבוד תלת ממדי נייד

11.5K צפיות

צוטט 11 פעמים

09:37 דק׳

12 במאי 2008

10.3791/699-v

12 במאי 2008

11.5K צפיות

Stefan Giselbrecht¹ , Eric Gottwald¹ , Roman Truckenmueller² , Christina Trautmann³ , Alexander Welle¹ , Andreas Guber⁴ , Volker Saile⁴ , Thomas Gietzelt⁵ , Karl-Friedrich Weibezahn¹

¹Institute for Biological Interfaces, Karlsruhe Research Centre, ²Institute for BioMedical Technology, University of Twente, ³Department of Materials Research, Institute for Heavy Ion Research, ⁴Institute of Microstructure Technology, Karlsruhe Research Centre, ⁵Institute for Micro Process Engineering, Karlsruhe Research Centre

אנו מציגים שני תהליכים עבור microfabrication של שבבי פולימרי נקבובי לעיבוד תלת ממדי התא. הראשון הוא הבלטות חם בשילוב עם תהליך אדי ריתוך ממס. השני משתמש בתהליך microthermoforming פיתחה לאחרונה בשילוב עם טכנולוגיית מעקב יון המוביל פישוט משמעותי של ייצור.