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Área selectivo Modificación de humectabilidad de la superficie del silicio por pulsos láser UV irradiación en Ambiente Líquido
 
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Área selectivo Modificación de humectabilidad de la superficie del silicio por pulsos láser UV irradiación en Ambiente Líquido

Article DOI: 10.3791/52720-v 08:48 min November 9th, 2015
November 9th, 2015

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Riepilogo

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Se presenta en un proceso de alteración in situ de la IC tratada Si (001) de superficie en un estado hidrófilo o hidrófobo irradiando muestras en cámaras de microfluidos llenos 2 O 2 / H 2 O solución (0,01% -0,5%) o soluciones de metanol H mediante láser UV pulsada de un familiar fluencia bajo pulso.

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Ingeniería No. 105 Silicon humectabilidad de la superficie la interacción láser de la superficie el procesamiento de área selectiva láser excimer la espectroscopia de fotoelectrones de rayos X el ángulo de contacto
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