方法論記事

メカノノードポアセンシング:マルチパラメータシングルセル粘弾性測定のための迅速でラベルフリーのプラットフォーム

DOI:

10.3791/64665

2022年12月2日

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この記事について

サマリー

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ここでは、メカノノード細孔センシング(mechano-NPS)と呼ばれるエレクトロニクスベースのマイクロ流体プラットフォームを使用して、単一細胞を機械的に表現型化する方法を示します。このプラットフォームは、細胞の弾性と粘性の両方の生物物理学的特性を測定しながら、1〜10細胞/秒の中程度のスループットを維持します。

要約

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細胞の機械的特性は、幹細胞の分化から癌の転移に至るまで、さまざまな生物学的プロセスや疾患に関与しています。原子間力顕微鏡(AFM)やマイクロピペット吸引(MA)など、これらの特性を測定する従来の方法は、細胞の完全な粘弾性応答を反映した豊富な情報をキャプチャします。ただし、これらの方法は非常に低いスループットによって制限されます。リアルタイム変形能サイトメトリー(RT-DC)などのハイスループットアプローチは、細胞の弾性特性のみを反映する単一パラメータ読み出しに制限されることが多いため、限られた機械的情報しか測定できません。これらの方法とは対照的に、メカノノードポアセンシング(mechano-NPS)は、中程度のスループットでセルのマルチパラメータ粘弾性測定を達成するためのギャップを埋める、柔軟でラベルフリーのマイクロ流体プラットフォームです。直流(DC)測定は、マイクロ流体チャネルを通過する細胞を監視し、狭い狭窄を通過する前、最中、および後に細胞のサイズと速度を追跡するために使用されます。この情報(サイズと速度)は、各セルの横方向の変形、変形に対する抵抗、および変形からの回復を定量化するために使用されます。一般に、このエレクトロニクスベースのマイクロ流体プラットフォームは、複数の粘弾性セル特性を提供し、したがって細胞の機械的状態のより完全な全体像を提供します。最小限のサンプル調製で済み、(高速カメラとは対照的に)簡単な電子測定を利用し、標準的なソフトリソグラフィ製造を利用するため、このプラットフォームの実装はシンプルでアクセスしやすく、ダウンストリーム分析に適応できます。このプラットフォームの柔軟性、有用性、感度は、多様な細胞に関する独自の機械的情報を提供し、基礎科学や臨床診断においてさらに多くのアプリケーションの可能性を秘めています。

概要

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単一セルは動的な粘弾性材料です1。多数の内部および外部プロセス(例えば、有糸分裂の開始または細胞外マトリックス[ECM]のリモデリング)は、それらの構造および組成2,3,4に影響を与え、しばしばそれらの現在の状態を補完する明確な生物物理学的特性をもたらす。特に、機械的特性は、細胞の発生、生理学、および病理学の重要なバイオマーカーであることが示されており、標準的な分子的および遺伝的アプローチを補完できる貴重な定量的情報を生み出しています567。例えば、Liらは最近、薬剤耐性と薬剤応答性の急性前骨髄球性白血病細胞の機械的な違いを説明し、RNA-seqを使用して発現差のある細胞骨格関連遺伝子を明らかにしました8。単一細胞力学と細胞機能の間の複雑な相互作用を理解することにより、メカノフェノタイピングは基礎科学と臨床診断の変革においてより広い用途を持っています9

単一細胞の力学を測定するために最も広く採用されているツールは、原子間力顕微鏡(AFM)です。AFMは、細胞の機械的特性の高分解能の局所的な測定を可能にしますが、スループットは<0.01細胞/秒10に制限されています。あるいは、2つの発散レーザービームを使用して吊り下げられた単一細胞11をトラップおよび変形させる光学ストレッチャーは、<1細胞/秒12のわずかに高いスループットに制限される。マイクロ流体技術の最近の進歩により、迅速な単一セルの機械的評価のための新世代のデバイスが可能になりました12,13。これらの技術は、狭い狭窄チャネル14、15、せん断流16または流体力学的伸張17を使用して、10〜1,000セル/秒18のスループットで細胞を迅速に変形させる。これらのアプローチの測定速度は従来の技術よりもかなり高速ですが、限られた機械的読み出しのために高スループット能力と引き換えによく見られます(補足表1)。前述の迅速なマイクロ流体法はすべて、通過時間や変形可能性比など、細胞の弾性特性のみを反映する基本的な単一パラメータのメトリックに焦点を当てています。しかし、単一細胞の固有の粘弾性性を考えると、細胞の堅牢で徹底的な機械的特性評価には、弾性成分だけでなく粘性応答も考慮する必要があります。

メカノノードポアセンシング(mechano-NPS)2,8(図1A)は、シングルセルメカノフェノタイピングの既存の制限に対処するマイクロ流体プラットフォームです。この方法では、細胞径、相対変形能、変形からの回復時間など、複数の生物物理学的パラメータを同時に測定でき、1〜10細胞/秒の中程度のスループットが得られます。この手法は、ノード細孔センシング(NPS)19,20,21,22,23,24に基づいており4点プローブ測定を使用して、「ノード」と呼ばれるより広い領域によってセグメント化されたマイクロ流体チャネルを通過するセルによって生成される変調電流パルスを測定します。変調された電流パルスは、セルがセグメント(すなわち「細孔」)およびノード内の電流の流れを部分的に遮断した結果であり、前者では後者よりも多くの電流が遮断される。メカノNPSでは、1つのセグメントである「収縮チャネル」はセル直径よりも狭くなります。したがって、チャネル全体を通過するには、セルが変形する必要があります(図1B)。細胞直径は、細胞が収縮チャネルの前にノード孔を通過するときに生成されるサブパルスの大きさによって決定できます(図1BC)。ここで、|ΔYnp|は、セルが細孔内にあるときの電流降下であり、細孔に対するセルの体積比、Vセル/V細孔2,8,19に比例します。細胞の剛性は、細胞が収縮チャネルを通過するときに生成される劇的に大きなサブパルスの持続時間であるΔTcによって決定できます(図1BC)。硬いセルは、柔らかいセルよりもチャネルを通過するのに時間がかかります2,8。最後に、細胞の「回復」、つまり変形後に元のサイズと形状に戻る細胞の能力は、細胞が収縮チャネルの後に節孔を通過するときに生成される一連のサブパルスによって決定できます(図1BC)。回復時間ΔTrは、セルが圧迫される前に、現在のサブパルスが前のサブパルスの大きさに戻るのにかかる時間です。全体として、セルがマイクロ流体チャネルを通過するときに生成される変調電流パルスが記録され、分析されて、関連する単一セルの機械的パラメータが抽出されます(図1D)2,8

このエレクトロニクスベースのマイクロ流体プラットフォームの再現性と使いやすさは、以前に実証されています25。さらに、このプラットフォームは、シングルセルメカノフェノタイピングの参入障壁が低い。標準的なソフトリソグラフィは、マイクロ流体デバイスの作製に採用されています。計測ハードウェアは、シンプルなプリント回路基板(PCB)、電源、プリアンプ、データ集録ボード(DAQ)、コンピュータなどの安価なコンポーネントで構成されています。最後に、データの取得と分析にユーザーフレンドリーなコードが用意されているため、簡単に実装できます。このメカノフェノタイピング技術は、非悪性および悪性の乳腺および肺上皮細胞株の集団を区別し、初代ヒト乳腺上皮細胞におけるサブ系統を区別し、細胞骨格摂動および他の薬理学的物質の影響を特徴付けることができる2,8。全体として、このプラットフォームは、単一細胞のメカノフェノタイピングに効果的なアプローチです。

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プロトコル

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1. デバイス形状の設計

  1. サイジングセグメントとリカバリセグメントの幅を選択して、測定する最大のセルの直径よりも広く、十分な信号対雑音比(SNR)を維持します。さまざまな細胞株の異なるサイジングおよび回収セグメント幅の例については、 補足表2 を参照してください。
  2. 収縮セグメント幅を選択して、メカノフェノタイピングを受ける細胞の平均サイズに30%〜40%のひずみを適用します。ひずみは次のようにfigure-protocol-1定義されます。ここで、dはセル直径、wcは収縮チャネル幅2,8です。さまざまな細胞株のさまざまな収縮セグメント幅については、補足表2を参照してください。
    注:直径が大きく異なる細胞の種類または条件を比較する場合は、各細胞の種類/条件に固有の収縮セグメント幅で個別のデバイス設計を使用する必要があります。
  3. 一意のデバイス ジオメトリごとに参照デバイスを設計します。これは、De、マイクロ流体チャネルのサイジング細孔セグメントの有効直径を決定するために必要である。
    メモ: 参照デバイスは、プライマリデバイスと同じジオメトリを使用します。唯一の変更は、既知のサイズのポリスチレンビーズによるキャリブレーションを可能にするために、収縮セグメントの幅がサイジング細孔セグメントと等しくなければならないことです。収縮を広げることで、キャリブレーション中にポリスチレンビーズが収縮チャネルを詰まらせるのを防ぎます。キャリブレーションプロセスは、ステップ4.1および5.3.1でさらに説明されています。較正は、市販のセルカウンターを用いても達成することができ、その場合、参照装置は必要ない。このプロセスについては、ステップ 4.2 で説明します。
  4. 目的の最大のセルが収縮セグメント2内で制限なく完全に伸長できるようにチャネルの高さを選択します。チャネルの高さが hmin figure-protocol-2 より大きいことを確認します(これは、セルが球面の事前変形であり、変形中にチャネルの長さと高さに沿って等角変形が発生することを前提としています)。
    注:電流サブパルスの大きさを考えると、hminが大きいほど、figure-protocol-3全体的なSNRは低くなります。
  5. 選択したチャネル幅のコンピューター支援設計ソフトウェアを使用して、フォトマスクを設計および作成します。サンプル・ファイルは、 補足ファイル 1 にあります。マイクロ流体マスクの設計を1.5%拡大して、ネガマスターから剥離した後のポリジメチルシロキサン(PDMS)収縮を考慮します。
    注:アレイ全体がウェーハのサイズを超えない限り、デバイスのアレイを1つのマスクに含めることができます(補足図1A)。
  6. マイクロ流体デバイス電流の4点プローブ測定を実行するために使用される電極を備えたフォトマスクを設計および作成します(図1D)。サンプル・ファイルは、 補足ファイル 1 にあります。
    注意: 電極のアレイは、アレイがスライドガラスのサイズを超えない限り、単一のマスクに含めることができます(補足図1B)。

2. デバイスの作製(図2)

  1. ガラス基板上に電極パターンを作製する。
    1. 製品データシートに従って、ポジ型フォトレジストを無地のスライドガラスにスピンコート、パターン化、および処理します。この手順の例については、 補足ファイル 2 を参照してください。
    2. 金属蒸着、リフトオフ、および金エッチングを実行します。
      1. スライド上に75 Å Ti、250 Å Pt、および250 Å Auの薄膜堆積を行います。電子銃蒸発を使用したこの手順の例は、 補足ファイル3に概説されています。
      2. スライドをアセトンに15分間浸して、余分な金属をリフトオフします。
      3. ドラフト内で、補足 図2に示すように、使い捨てピペットを使用して、マイクロ流体チャネルにさらされる電極の領域に金エッチング液をドロップキャストします。スライドの他の場所にエッチング液を落とさないように注意してください。
        注意: 金のエッチング液は、皮膚や目の炎症を引き起こす可能性があります。蒸気を吸い込んだり、摂取したりしないでください。取り扱いには注意し、適切な個人用保護具(PPE)を着用し、地域の廃棄規制に従って廃棄物を廃棄してください。
      4. スライドを脱イオン(DI)水ですすぎ、乾燥窒素(N2)で乾燥させます。
    3. 同じスライドガラスに複数の電極が印刷されている場合は、スライドを個々のチップにダイスします。
      1. ガラス切削工具を使用して、パターン化された電極境界に沿ってスライドにスコアを付けます。
      2. スコアに沿ってガラスを割って、スライドを個々のチップに分割します。
    4. 顕微鏡で電極を目視検査します。個々の電極が電気的に開いていないこと、または電極が互いに短絡していないことを確認してください。
  2. チャネル用のネガティブマスターモールドを製作します。
    1. 製品データシートに従って、研磨されたシリコンウェーハ上にSU-8エポキシレジストをスピンコート、パターン化、および処理します。この手順の例については、 補足ファイル 2 を参照してください。
    2. プロファイラー(表面形状測定機)を使用して特徴の高さを測定し、顕微鏡下で特徴を視覚的に検査します(補足図3)。目的のジオメトリが適切に定義されていることを確認します。
  3. ソフトリソグラフィでPDMSチャンネルを成形します。
    1. 使い捨てカップでエラストマーと架橋剤を10:1の質量比で計量してPDMSを調製します。
      注:直径3のウェーハの場合、30gのPDMSで十分です。
    2. PDMSが気泡で不透明になるまで、使い捨てフォークでPDMSを30秒間激しく混合します。
    3. 真空チャンバー内でPDMSを約30〜90分間、またはPDMSが透明になり、気泡が見えなくなるまで脱ガスします。
    4. SU-8マスターモールドを備えたウェーハを使い捨てのペトリ皿に入れ、ウェーハの中央にPDMSを注ぎます。
    5. PDMSとウェーハが入ったペトリ皿を真空チャンバーに入れ、約30分間、またはPDMSに気泡がなくなるまで脱ガスします。
    6. PDMSを80°Cでオーブンまたはホットプレートで2時間焼きます。
    7. 鋭利な刃で、PDMSを切り取り、SU-8ネガティブマスターから取り外します。
    8. 成形されたPDMSスラブを鋭利な刃を使用して個々の金型にダイスします
    9. 使い捨ての生検パンチを使用して、入口と出口のアクセス穴をコアします。最良の結果を得るには、PDMSスラブごとに新しいパンチを使用します。より鋭いパンチは滑らかなエッジの穴を生成し、収縮チャネルを塞ぐ可能性のある粒子を最小限に抑えます。
      注意: アクセス穴の直径は、チューブの外径よりわずかに小さくする必要があります。たとえば、外径が1/32インチのポリテトラフルオロエチレン(PTFE)チューブを使用する場合は、1.5mmの穴を開ける必要があります。
  4. ガラス/電極基板をPDMSチャネルに接着します。
    1. 電極ガラススライドをメタノール(≥99.8%)で洗浄します。乾燥N2で乾燥させる。
    2. PDMSデバイスをスコッチテープで洗浄し、イソプロピルアルコール(IPA)と脱イオン水(DI; 18 MΩ / cm2)ですすいでください。乾燥N2で乾燥させる。次に、もう一度スコッチテープで拭きます。
    3. プレハブ電極を備えたガラス基板と準備したPDMSモールド(フィーチャー面を上にして)をプラズマクリーナーに入れます。
    4. 両方を酸素プラズマに2分間さらします(100〜300 mTorr、30 W)。
    5. PDMSモールドを、フィーチャー側を下向きにして、プレハブ電極を備えたガラス基板上に位置合わせして配置します。
      注:プラズマ処理されたPDMSとガラスが接触すると、接合は瞬時に行われます。したがって、それ以上のアライメントの変更はできません。アライメントを容易にするために、DI水中のメタノールの2:1希釈の20 μLをプラズマ処理ガラス表面にピペットで移すことができます。メタノール溶液は、処理されたガラスとPDMSの間の物理的バリアとして機能し、アライメント調整を可能にします。メタノールを使用する場合は、整列して嵌合したデバイスを50°Cで2時間ベークして溶液を蒸発させ、接着プロセスを完了します。
    6. 接着したデバイスを顕微鏡で目視検査します。電極とチャネルの形状が正しく位置合わせされていることを確認します。

3. 細胞を測定する(図1D)

  1. 圧力源、PCB、ベンチトップハードウェア、およびデータ収集ソフトウェアを準備します。
    1. クランプを使用してマイクロ流体デバイスをPCBに接続します。PCBの例は、補足ファイル4(ガーバーファイル)および補足ファイル5(回路図、ボード、およびPCB部品リストファイル)に記載されています。
      1. クランプのバネ仕掛けのピンをマイクロ流体デバイスの電極コンタクトパッドに合わせ、クランプのヘッダーピンをPCBの穴に合わせます。
      2. clをしっかりと挿入しますamp のヘッダーピンをPCBの穴に、バネ仕掛けのピンが電極コンタクトパッドと位置合わせされていることを確認します。
    2. 電子ハードウェアをセットアップして接続します。
      1. 電源の2つの出力ポートを、ダブルバナナプラグ-バヨネットニールコンセルマン(BNC)メスアダプタとBNCケーブルを使用してPCBの電源電圧ポートに接続します。
      2. 電源をオンにします。BNCの内部導体に接続されている出力を+15 Vに設定し、もう一方の出力を-15 Vに設定します。
      3. 電源の出力ポートの3番目をPCBの入力電圧ポートにBNCケーブルで接続します。出力を希望の印加電圧に設定しますが、実験を開始するまで有効にしないでください。
      4. PCBの出力電流ポートをBNCケーブルで電流プリアンプの入力に接続します。
      5. 電流プリアンプの出力を、BNCケーブルでデータ集録システムのBNC端子台の1つのアナログ入力に接続します。オプションで、アナログローパスフィルタをBNCケーブルに沿って接続して、高周波干渉を除去します。
        メモ: SNR を改善するために、PCB とデバイスは厚い金属製の筐体に収納できます。すべてのBNCケーブルと流体チューブは、エンクロージャにドリルで開けられた穴に通すことができます。
    3. 必要なソフトウェアをパーソナルコンピュータ(PC)にインストールしてセットアップする
      1. 電源を入れ、圧力コントローラーをPCに接続します。製造元の指示に従って、必要な圧力コントローラソフトウェアをインストールします。
      2. MATLABとデータ収集ツールボックスをPCにインストールします。MATLABデータ収集ツールボックスインターフェイスがそれを検出できるように、データ収集システムに必要なドライバがインストールされていることを確認してください。
      3. 付属のデータ収集スクリプト「NPS.m」を https://github.com/sohnlab/node-pore-sensing-public からダウンロードします。
    4. データ集録スクリプトを開いて設定します。
      1. 正しい値を設定して、ベンダーID、DAQのデバイスID、アナログ入力チャンネル番号(付属のスクリプトの34〜36行目)を含むデータ集録セッションを初期化します。
        注: デバイス ID は、関数 "daq.getDevices" または "daqlist" を使用して見つけることができます。
      2. 集録に必要なサンプルレートを設定します(付属のスクリプトの23行目)。最適な結果を得るには、少なくとも10kHzに設定する必要があります。
  2. 細胞懸濁液を調製する。
    1. 1xリン酸緩衝生理食塩水(PBS)中の2%ウシ胎児血清(FBS)の溶液を調製し、0.22 μmフィルターでろ過します。






    1. figure-protocol-4

      1. figure-protocol-5
      1. figure-protocol-6

      2. figure-protocol-7

      3. figure-protocol-8
      4. figure-protocol-9

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結果

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ここで紹介するメカノフェノタイピングプラットフォームは、単一細胞の生物物理学的特性を中程度のスループットで測定するためのシンプルで汎用性の高いアプローチです。細胞は、一定の圧力駆動の流れを使用してマイクロ流体チャネル(図1A)を通って流れます。細胞が通過すると、マイクロ流体チャネルの長さと生成される電流パルスがデータ収集ハードウェアを使用して記録されます。取得した信号(図1B、C)は、MATLABのカスタムソフトウェアを使用して処理され、関連するシングルセルの機械的特性が抽出されます。 図1D は、実験プロトコルのグラフィカルな概要を示しています。

デバイスを製造するために、最初に負のマスターモールドが作成され、PDMSの鋳造に使用されます(図2)。 補足図3に示す成功したマスタ...

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ディスカッション

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このメカノフェノタイピング技術を使用した単一細胞の機械的特性の測定は、デバイス製造、データ取得、およびデータ分析の3つの段階で構成されています。各段階では、実験結果に大きな影響を与える可能性のある注目すべき側面があります。デバイスの製造時には、正確で再現性のある結果を得るには、一貫したチャネル形状とデバイス間の均一性が不可欠です。具体的には、各デバイスの側壁は比較的滑らかでなければならず(図4Ai)、複製デバイス間のチャネルの高さは同等でなければなりません。特に収縮チャネル(図4Aii)において、細胞の流れを部分的に妨げる欠陥のあるデバイスは廃棄する必要があります。チャネル形状に識別可能な欠陥があるデバイスを使用すると、不正確で再現性のない結果になります。データ収集中、データ収集中にユーザーがチャネル内の詰まりの存在を認識できることが重要です。サンプルスクリプト「NPS.m」(https://github.com/sohnlab/node-pore-sensing-public で入手可能)は、現在の測定値を表示し、ユ...

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開示事項

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L. L. Sは、2022年7月12日に発行された米国特許第11,383,241号「メカノノードポアセンシング」、J.キム、S.ハン、L.L.ソンを保有しています。

謝辞

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本研究は、NIBIB 1R01EB024989-01およびNCI 1R01CA190843-01からの助成金によって支援されました。A.L.とR.R.は、H2H8協会大学院研究フェローシップの支援を受けました。KLCは、国立科学財団大学院研究フェローシップとシーベル奨学生フェローシップによってサポートされました。

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材料

この記事で使用された材料の一覧
名前会社カタログ番号コメント
アセトンJ.T. Baker5356-05純度 (GC)  ≥ 99.5% (https://us.vwr.com/store/product/6057739/acetone-99-5-vlsi-j-t-baker)
アルミ箔n/an/a
アナログローパスフィルターThorLabsEF504≤240kHz通過帯域、同軸BNCフィードスルー (https://www.thorlabs.com/thorproduct.cfm?partnumber=EF504#ad-image-0)
生検パンチインテグラミルテックス33-31AA-P / 251mm、使い捨て、プランジャー付き(https://mms.mckesson.com/product/573313/Miltex-33-31AA-P25)
ブレードなし N/ A
BNCケーブルポモナエレクトロニクス2249-C-12https://www.digikey.com/en/products/detail/pomona-electronics/2249-C-12/603323?utm_adgroup=Coaxial%20Cables%20%28RF%29&utm_source=google&utm_
medium=cpc&utm_campaign=
Shopping_Product_Cable%20Assemblies_NEW&utm_term=
&utm_content=同軸%20ケーブル%20%28RF%29&gclid=Cj0KCQjwlK-WBhDjARIsAO2sErQqnVJ
pj5OXVObuTI8ZUf1ZeIn7zvzGnx
mCWdePrG6SdEJMF3X6ubUaAs
w-EALw_wcB
クリーンルームポリエステル綿棒サーモフィッシャーサイエンティフィック18383https://www.fishersci.com/shop/products/texwipe-cleantip-alpha-polyester-series-swabs-6/18383
電流プリアンプDL Instruments1211https://www.brltest.com/index.php?main_page=product_info&products_
id=1419
カスタムPCB (部品付き)該当なし 該当なしファイルを参照 4 と
5 DAQ 端子台National Instruments BNC-2120https://www.ni.com/en-in/support/model.bnc-2120.html
DAQ to BNC-2110 ケーブル ナショナルインスツルメンツSHC68-68-EPMhttps://www.ni.com/en-in/support/model.shc68-68-epm.html
データ収集ボード(DAQ)ナショナルインスツルメンツPCI-6251
https://www.ni.com/docs/en-US/bundle/pci-6251-feature/page/overview.html デシケーターサーモフィッシャーサイエンティフィック5311-0250https://www.thermofisher.com/order/catalog/product/5311-0250
メスBNCからバナナプラグアダプターPomona Electronics72909https://www.digikey.com/en/products/detail/pomona-electronics/72909/1196318
Fetal Bovine Serum (FBS)VWR89510-186https://us.vwr.com/store/product/18706419/avantor-seradigm-select-grade-usda-approved-origin-fetal-bovine-serum-fbs
GlassCutter ChemglassCG-1179-21https://chemglass.com/plate-glass-cutters-diamond-tips
金エッチング液 TFAトランセンNC0977944https://www.fishersci.com/shop/products/NC0977944/NC0977944
ホットプレートサーモフィッシャーサイエンティフィックSP131825 
イソプロピルアルコールスペクトラムケミカルI1056-4LTPL純度(GC)  ≥99.5% (https://www.spectrumchemical.com/isopropyl-alcohol-99-percent-fcc-i1056)
金属製ハードウェア エンクロージャハモンド 製造EJ12126https://www.digikey.com/en/products/detail/hammond-manufacturing/EJ12126/2423415
メタノールSigma-Aldrich34860純度 (GC)  ≥99.8% (https://www.sigmaaldrich.com/IN/en/substance/methanol320467561)
MF-321 現像剤Kayaku Advanced Materialsn/a
https://kayakuam.com/products/mf-321/ MICROPOSIT S1813 ポジ フォトレジストデュポンn/a
https://kayakuam.com/products/microposit-s1800-g2-series-photoresists/ リン酸緩衝生理食塩水 (PBS)サーモフィッシャーサイエンティフィック10010049https://www.thermofisher.com/order/catalog/product/10010049?SID=srch-hj-10010049
フォトマスクファインラインイメージングn/aフォトマスクは、当社のCADデザインからカスタムオーダーされています(https://www.fineline-imaging.com/)
プレーンガラス顕微鏡スライドフィッシャーサイエンティフィック12-553-5B材質:ソーダライム、L75 x W50 mm、厚さ:0.90–1.10ミリメートル 
プラズマクリーナーHarrick PlasmaPDC-001https://harrickplasma.com/plasma-cleaners/expanded-plasma-cleaner/
プラスチックシャーサーモフィッシャーサイエンティフィックFB0875712100 mm (https://www.fishersci.com/shop/products/fisherbrand-petri-dishes-clear-lid-raised-ridge-100-x-15mm/FB0875712)
圧力コントローラーFluigentMFCS-EZhttps://www.fluigent.com/research/instruments/pressure-flow-controllers/mfcs-series/
圧力コントローラーソフトウェアFluigentMAESFLO
プログラミング &データ取得および解析用MATLABR2021b
PTFE TubingCole Parmer06417-310.032" ID x 0.056" (https://www.coleparmer.com/i/masterflex-transfer-tubing-microbore-ptfe-0-032-id-x-0-056-od-100-ft-roll/0641731)
Scepter 2.0 ハンドヘルド自動セルカウンターミラポア シグマPHCC20060https://www.sigmaaldrich.com/IN/en/product/mm/phcc20060
シリコンウェーハウェーハ ワールド288576.2 mm、片面ポリッシュ (https://www.waferworld.com/product/2885)
スピンコーターn/a該当なし
SU-8 3025 ネガ フォトレジストカヤク アドバンスド マテリアルズ 該当なし
https://kayakuam.com/products/su-8-2000/ SU8 デベロッパーカヤク アドバンスド マテリアルズ https://kayakuam.com/products/su-8-developer/
シガード 184 ポリジメチルシロキサンダウ ケミカル4019862https://www.ellsworth.com/products/by-market/consumer-products/encapsulants/silicone/dow-sylgard-184-silicone-encapsulant-clear-0.5-kg-kit/
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参考文献

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