複合酸化物薄膜のエピタキシャル成長のために原子的に定義されたテンプレート

さまざまな手順が複合酸化物薄膜のエピタキシャル成長にアトミックに定義されたテンプレートを調製するために概説されている。単結晶のSrTiO _3（001）と、DyScO ₃の化学処理は、（110）基板は、原子的に平滑な、単一の終端表面を得るために行った。のCa ₂ Nbの₃ O ₁₀ ^-ナノシートは、任意の基板上でアトミックに定義されたテンプレートを作成するために使用された。

以下の実験の全体的な目標は、複雑な酸化物薄膜のエピタキシャル成長のための解剖学的に定義されたテンプレートを準備することです。これを達成するための最初のアプローチは、単結晶性ストロンチウム、チタン酸塩、およびDYSの化学的処理です。プロは、年代測定基板をスキャンして、原子的に滑らかな単一の終端表面を取得します。

第2のアプローチは、ラードロッジまたはLB堆積によって任意の基板上にナノシートの層を堆積させ、その後の膜成長のためのシード層を作成することです。結果は、原子間力顕微鏡や電子後方散乱回折で見られるように、得られたテンプレート上でエピタクサル膜を成長させることができることを示しています。persky酸化物基板を使用する場合、高品質の電子建築フィルムを得るためには、単一表面終端が好ましい。

他の既存の方法よりもナノシートを使用する主な利点は、比較的高価でサイズに制限のある単結晶基板を事実上任意の基板材料に置き換えることができることです。最初の浸漬分散。アセトンを充填したビーカーで8つの基板をスキャンし、超音波浴に10分間入れます この手順をエタノールで繰り返した後、窒素ガンを使用して、表面からエタノール滴を吹き付けて基板を乾燥させます。

光学顕微鏡で各基板の表面を確認します。エタノールに浸したレンズティッシュで基板を優しくこすりつけて残った粒子を取り除き、サンプルを窒素ガンで乾燥させます。顕微鏡で粒子が見えなくなるまで、前の手順を繰り返します。

次に、酸素雰囲気中で1000度で4時間基板をアニールします。終了したら、テフロンホルダーを使用して、Ane spross scan 8基質を脱イオン水が入ったビーカーに浸します。次に、ビーカーを超音波浴に30分間入れます。

脱イオン水が入ったビーカーから基板を運ぶテフロンホルダーを、緩衝されたフッ化水素を含むビーカーに移します。ビーカーを超音波浴に30秒間置いた後、テフロンホルダーを脱イオン水が入ったフッ化水素耐性ビーカーに移し、ホルダーをゆっくりと上下に動かしながら20秒間浸します。前のステップを水で満たされた他の2つのビーカーで繰り返したら、エタノールを含むビーカーにホルダーを基質として残します。

緩衝されたフッ化水素含有液体をすべて廃棄したら、窒素ガンを使用して基板を乾燥させます。光学顕微鏡で表面を確認し、汚れが見える場合はクリーニング手順を繰り返します。ビーカーに12モルの水酸化ナトリウムを充填した後、テフロンホルダーを使用して基材を浸し、ビーカーを超音波浴に30分間置きます。

1モルの水酸化ナトリウムに浸した後、続いて3つのビーカーに水に浸し、最後にエタノールを入れたビーカーに浸して基質をすすぎます。次に、窒素ガンを使用して基板を乾燥させます。光学顕微鏡で表面を確認し、必要に応じて、卵形カルシウムナノシートの調製後に前述の手順を使用して清掃します。

脱イオン水ですすいで、ウィリープレートを清掃します。次に、プレートを高エネルギーの酸素プラズマで両側に少なくとも3分間洗浄します。ウィリープレートは、直後に脱イオン水に保管してください。

次に、脱イオン水ですすぎ、エタノールでブラッシングすることにより、2つのバリアのLBトラフを清掃します。脱イオン水ですすいだ後、再度、窒素ガスで2つのバリアでトラフを乾燥させ、堆積中に閉じて空気やほこりの流れから保護するためのボックスと防振テーブルにセットアップを置きます。その後、新鮮なナノシート分散液の上部から50ミリリットルをシリンジで取り出し、分散液を休ませながらゆっくりとトラフに加えます。

15分間、水溶液に適合する任意の基質を洗浄します。終了したら、基板をLBセットアップのホルダーに取り付け、最後の一撃を与えます。窒素ガスを使用して、ホルダーをLBセットアップに置きます。

次に、柳のプレートをトラフに浸し、スプリングに慎重に取り付けます。プレートのワイヤーから一枚の紙で液滴を取り除きます。基板をナノシート分散液の表面に接触するまで下げます。

次に、ソフトウェアの高さをゼロに設定し、基板ホルダーがナナシート分散に触れないように、必要な深さまで基板をさらに下げます。その後、ソフトウェアの表面圧力をゼロに設定し、分散液を15分間休ませます。ソフトウェアの表面圧力を再びゼロに設定した後、毎分3ミリメートルの速度でバリアを動かして堆積の第1段階を開始し、表面をゆっくりと圧縮し、表面圧力と表面積の進行を監視し、圧力の増加が大幅に減速し、圧力が最大に近づくまで待ちます。

到達した値を目標圧力として入力し、ディッパーの高さを実際の値に設定します。次に、1分間に1ミリメートルの速度で基板を分散液から引き抜くことにより、堆積の第2段階を開始します。表面圧力を監視します。

すすぎ後の堆積が終了したらウィリープレートを取り外し、脱イオン水に保管します。最後に、肛門椎間膜の完全に異なる末端を乾燥させた後、基質を取り出します。長所としては、スカンジウム酸化物基板だけでなく、単一終端基板に期待される形態も見られます。

高さ像と位相像の両方で、単一の終端面と比較して表面粗さが高いことは、両方の終端が存在することを示しています。化学的に処理されたチタン酸ストロンチウム基質にひざまずいたものは、明確に定義されたテラスを持っています。原子間力顕微鏡で測定できるのは、単一の終端面を示す単位セル高さの違いのみです。

化学処理が成功するかどうかの究極のテストは、基板上のフィルムのうめき声の品質です。その後、尿酸ストロンチウムは、単一終端基質上でよく成長します。第2終端領域の小さな目に見えない領域は、フィルムの品質に劇的な影響を与える可能性があります。

ナノシートの単層の表面は滑らかであり、隣接するギャップとの高い差は、親化合物の卵形カルシウム層の結晶学的厚さに近づきます。このような単分子膜は、その後の滑らかな膜成長を可能にする。ナノシートの単層は、完全に面外方向に配向されていますが、ランダムに、プレーンな配向では、ナノシートのプレーンな順序がランダムであるため、上に成長したフィルムにもテクスチャが付けられます。

このビデオでは、複雑な酸化物、薄膜の建築的成長のために解剖学的に定義されたテンプレートを準備するための2つのアプローチを紹介します。どちらの手順でも、清潔で正確な作業を行うことが重要です。小さな汚染が実験全体を台無しにする可能性があります。