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Nanoimpression électrochimique assistée par métal de plaquettes de silicium poreux et solides
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Nanoimpression électrochimique assistée par métal de plaquettes de silicium poreux et solides

Article DOI: 10.3791/61040-v • 09:18 min • February 8th, 2022
February 8th, 2022 •
1, 1, 1, 1
1The Polytechnic School, Arizona State University

Capítulos

Resumo
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Un protocole pour l’impression chimique assistée par métal de caractéristiques microscopiques 3D avec une précision de forme inférieure à 20 nm dans des plaquettes de silicium solides et poreuses est présenté.

Tags

Ingénierie Numéro 180 nanoimpression nanoimpression électrochimique MACE gravure chimique assistée par métal photonique sur silicium microfabrication micro-ingénierie
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