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JoVE Journal Engineering
झरझरा और ठोस सिलिकॉन वेफर्स की धातु-सहायता प्राप्त इलेक्ट्रोकेमिकल नैनोइम्प्रिंटिंग
Generation of Size-controlled Poly (ethylene Glycol) Diacrylate Droplets via Semi-3-Dimensional Flow Focusing Microfluidic Devices
Journal (Engineering)
Generation of Size-controlled Poly (ethylene Glycol) Diacrylate Droplets via Semi-3-Dimensional Flow Focusing Microfluidic Devices
Fabrication of Microscope Stage for Vertical Observation with Temperature Control Function
Journal (Engineering)
Fabrication of Microscope Stage for Vertical Observation with Temperature Control Function
 
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झरझरा और ठोस सिलिकॉन वेफर्स की धातु-सहायता प्राप्त इलेक्ट्रोकेमिकल नैनोइम्प्रिंटिंग

Article DOI: 10.3791/61040-v • 09:18 min • February 8th, 2022
February 8th, 2022 •
1, 1, 1, 1
1The Polytechnic School, Arizona State University

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ठोस और झरझरा सिलिकॉन वेफर्स में उप-20 एनएम आकार सटीकता के साथ 3 डी माइक्रोस्केल सुविधाओं के धातु-सहायता प्राप्त रासायनिक छाप के लिए एक प्रोटोकॉल प्रस्तुत किया गया है।

Tags

इंजीनियरिंग अंक 180 nanoimprinting इलेक्ट्रोकेमिकल nanoimprinting MACE धातु की सहायता से रासायनिक नक़्क़ाशी सिलिकॉन फोटोनिक्स microfabrication microengineering
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