सिलिकॉन डायरेक्ट वेफर बॉन्डिंग के माध्यम से यूनिफॉर्म नैनोस्केल गुहाओं का निर्माण

एक समान बाड़े को साकार करने के लिए स्थायी रूप से दो सिलिकॉन वेफर्स को नाता बनाने की एक विधि का वर्णन किया गया है। इसमें वेफर तैयारी, सफाई, आरटी बॉन्डिंग और एनीलिंग प्रक्रियाएं शामिल हैं। परिणामस्वरूप बंधुआ वेफर्स (कोशिकाओं) में बाड़े ~ 1%^1,2की एकरूपता है। जिसके परिणामस्वरूप ज्यामिति सीमित तरल पदार्थ और गैसों के माप के लिए अनुमति देता है।