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Resumen
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当执行使用传统的一步偏置开关操作的边缘电场静电MEMS驱动器会导致固有的低挤压膜阻尼条件和长期稳定时间坚固的设备设计。实时的切换时间的改善,提供直流动态波形降低了边缘场的建立时间之间的转换时,MEMS致动器向上到向下和向下到向上的状态。