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Herstellung von 3D-Carbon-Mikroelektromechanischen Systemen (C-MEMS)
A Novel Method for In Situ Electromechanical Characterization of Nanoscale Specimens
Journal (Engineering)
A Novel Method for In Situ Electromechanical Characterization of Nanoscale Specimens
Measuring the Complete-arch Distortion of an Optical Dental Impression
Journal (Engineering)
Measuring the Complete-arch Distortion of an Optical Dental Impression
 
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Herstellung von 3D-Carbon-Mikroelektromechanischen Systemen (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v • 08:01 min • June 17th, 2017
June 17th, 2017 •
1, 1, 1,2, 1,3
1School of Engineering and Sciences, Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, 3BBB Inc

Capítulos

Resumen
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Lange und hohle glasartige Kohlenstoffmikrofasern wurden auf der Basis der Pyrolyse eines Naturproduktes, menschliches Haar, hergestellt. Die beiden Herstellungsschritte von kohlenstoffmikroelektromechanischen und kohlenstoff-nanoelektromechanischen Systemen oder C-MEMS und C-NEMS sind: (i) Photolithographie eines kohlenstoffreichen Polymervorläufers und (ii) Pyrolyse des gemusterten Polymervorläufers.

Tags

Engineering Ausgabe 124 Carbon-MEMS / NEMS glasartiger Kohlenstoff Herstellung Lithographie Pyrolyse SU8 Photoresist menschliches Haar.
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