Multi-étape Hauteur variable photolithographie pour dispositifs microfluidiques à valve Multilayer

Les dispositifs microfluidiques multicouches impliquent souvent la fabrication de moules maîtres avec des géométries complexes pour la fonctionnalité. Cet article présente un protocole complet pour la photolithographie en plusieurs étapes avec des valves et des caractéristiques de hauteur variable réglables pour n’importe quelle application. À titre de démonstration, nous fabriquons un générateur de gouttelettes microfluidique capable de produire des billes d’hydrogel.