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Empfindlichkeitssteigerung von weich-kapazitiven Drucksensoren unter Verwendung einer lösungsmittelbasierten Porositätskontrolltechnik
 
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Empfindlichkeitssteigerung von weich-kapazitiven Drucksensoren unter Verwendung einer lösungsmittelbasierten Porositätskontrolltechnik

Article DOI: 10.3791/65143-v 10:28 min March 24th, 2023
March 24th, 2023

Chapitres

résumé

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Es wird eine einfache und kostengünstige Herstellungsmethode vorgestellt, die auf der Lösungsmittelverdampfungstechnik basiert, um die Leistung eines weich-kapazitiven Drucksensors zu optimieren, was durch Porositätskontrolle in der dielektrischen Schicht unter Verwendung verschiedener Massenverhältnisse der PDMS/Toluol-Lösung ermöglicht wird.

Tags

Engineering Ausgabe 193 Weicher kapazitiver Drucksensor Lösungsmittelverdampfung Porositätskontrolle Mikrostrukturen elastische Leiter
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