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Herstellung und Charakterisierung von Piezoelektrischen Geräten für Zerstäubung und Akustofluidik
 
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Herstellung und Charakterisierung von Piezoelektrischen Geräten für Zerstäubung und Akustofluidik

Article DOI: 10.3791/61015-v 10:39 min August 5th, 2020
August 5th, 2020

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Die Herstellung von piezoelektrischen Dickenmodus-Wandlern durch Gleichstrom-Sputtern von Plattenelektroden auf Lithiumniobat wird beschrieben. Darüber hinaus wird ein zuverlässiger Betrieb mit einem Messumformerhalter und Flüssigkeitsversorgungssystem erreicht und die Charakterisierung wird durch Impedanzanalyse, Laserdopplervibrometrie, Hochgeschwindigkeits-Bildgebung und Tröpfchengrößenverteilung mittels Laserstreuung demonstriert.

Tags

Engineering Ausgabe 162 Akustofluidik Lithiumniobat Zerstäubung Laserdopplervibrometrie Hochgeschwindigkeits-Bildgebung Vernebler
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