レーザー走査型顕微鏡を使用して二珪化モリブデン中のエレクトロマイグレーションを測定

ここでは、レーザー走査型顕微鏡を使用して、試験対象の金属ラインを介して電気移動した体積を測定するワークフローについて説明します。異なる実験変数を変化させることで、エレクトロマイグレーションに関する多数の情報を取得することができます。この研究では、エレクトロマイグレーションの開始の長さが決定されます。