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Engineering

Optimierter Versiegelungsprozess und Echtzeitüberwachung von Glas-Metall-Dichtungsstrukturen

Published: September 2, 2019 doi: 10.3791/60064

Summary

Wichtige Verfahren zur Optimierung des Dichtungsprozesses und zur Echtzeitüberwachung der Metall-Glas-Dichtungsstruktur (MTGS) werden ausführlich beschrieben. Der Embedded Fiber Bragg Gittersensor (FBG) wurde entwickelt, um eine Online-Überwachung von Temperatur und hoher Restspannung im MTGS bei gleichzeitiger Umgebungsdrucküberwachung zu erreichen.

Abstract

Restspannung ist ein wesentlicher Faktor, um die Hermetie und Robustheit einer Glas-Metall-Dichtungsstruktur zu erhalten. Der Zweck dieses Berichts besteht darin, ein neuartiges Protokoll zur Charakterisierung und Messung der Restspannung in einer Glas-Metall-Dichtungsstruktur zu demonstrieren, ohne die Isolierung und Hermetizität von Dichtungsmaterialien zu zerstören. In dieser Forschung wird ein Femto-Laser-eingeschriebener Faser-Bragg-Gittersensor verwendet. Die gemessene Glas-Metall-Dichtungsstruktur besteht aus einer Metallschale, einem Dichtglas und einem Kovar-Leiter. Um die Messungen lohnenswert zu machen, wird die spezifische Wärmebehandlung der Metall-Glas-Dichtung (MTGS) untersucht, um das Modell mit bester Hermetizität zu erhalten. Dann wird der FBG-Sensor in den Weg des Dichtungsglases eingebettet und wird gut mit dem Glas verschmolzen, wenn die Temperatur auf RT abkühlt. Die Bragg-Wellenlänge der FBG verschiebt sich mit der Restspannung, die bei der Versiegelung des Glases entsteht. Um die Restspannung zu berechnen, wird die Beziehung zwischen Bragg Wellenlängenverschiebung und Dehnung angewendet, und die Finite-Elemente-Methode wird auch verwendet, um die Ergebnisse zuverlässig zu machen. Die Online-Überwachungsexperimente der Restspannung im Dichtungsglas werden bei unterschiedlichen Belastungen, wie hochtemperatur und hochdruckweise, durchgeführt, um die Funktionen dieses Protokolls in rauen Umgebungen zu erweitern.

Introduction

Metall-Glas-Dichtung ist eine ausgeklügelte Technologie, die interdisziplinäres Wissen (d. h. Mechanik, Werkstoffeund Elektrotechnik) kombiniert und in der Luft- und Raumfahrt 1, Kernenergie2und biomedizinische Anwendungen weit verbreitet ist. 3. Es hat einzigartige Vorteile wie höhere Temperatur und Druckbeständigkeit im Vergleich zu organischen Materialdichtungsstrukturen. Je nach Differenz des Wärmeausdehnungskoeffizienten (CTE) kann MTGS in zwei Typen unterteilt werden: abgestimmte Dichtung und nicht übereinstimmende Dichtung4. Was die abgestimmte Dichtung betrifft, so sind die CTE aus Metall(Metall)und Dichtungsglas(Glas)fast identisch, um die thermische Belastung in Dichtungsmaterialien zu reduzieren. Um jedoch eine gute Hermetizität und mechanische Robustheit der Dichtungsstruktur in rauen Umgebungen (d. h. hohe Temperatur und hoher Druck) zu gewährleisten, zeigt die nicht übereinstimmende Dichtung eine bessere Leistung als die abgestimmte Dichtung. Aufgrund der Differenz zwischenMetall undGlaserzeugt die Restspannung im Dichtungsglas nach dem Glühprozess der MTGS-Struktur. Wenn die Restspannung zu groß ist (auch über den Schwellenwert hinaus), weist das Dichtungsglas kleine Defekte wie Risse auf. Ist die Restspannung zu gering, verliert das Dichtglas seine Hermetizität. Daher ist der Wert der Restspannung eine wichtige Messung.

Die Analyse von Reststress in MTGS-Strukturen hat Forschungsinteressen vieler Gruppen auf der ganzen Welt geweckt. Das numerische Modell der axialen und radialen Spannung wurde auf der Grundlage der Dünnschalentheorie5erstellt. Die Finite-Elemente-Methode wurde angewendet, um die globale Spannungsverteilung einer MTGS-Struktur nach dem Glühprozess zu erhalten, die mit den experimentellen Ergebnissen6,7übereinstimmte. Aufgrund von Einschränkungen mit geringer Größe und elektromagnetischen Störungen sind viele fortschrittliche Sensoren jedoch für diese Umstände nicht geeignet. Das Einrückungsrisslängenverfahren wurde zur Messung der Restspannung im Dichtungsmaterial von MTG gemeldet; Diese Methode war jedoch destruktiv und konnte keine Echtzeit-Online-Überwachung von Spannungsänderungen im Glas erreichen.

Fiber Bragg Gitter (FBG) Sensoren sind klein (ca. 100 m) und beständig gegen elektromagnetische Störungen und raue Umgebungen8. Darüber hinaus ähneln die Komponenten der Faser denen von Dichtungsglas (SiO2), so dass FBG-Sensoren keine Auswirkungen auf die Hermetizität und Isolierung des Dichtungsmaterials haben. FBG-Sensoren wurden bei der Restspannungsmessung in Verbundstrukturen9,10,11eingesetzt, und die Ergebnisse zeigten, dass sie eine gute Messgenauigkeit und Signalreaktion zeigten. Gleichzeitige Temperatur- und Spannungsmessungen können durch Faser-Bragg-Gitter-Arrays auf einer Glasfaser erreicht werden12,13.

In dieser Studie wird ein neuartiges Protokoll auf Basis eines FBG-Sensors demonstriert. Die geeignete Vorbereitung für die spezielle MTGS-Struktur wurde durch die Einstellung der maximalen Wärmetemperatur untersucht, um die gute Hermetizität der MTGS-Struktur zu gewährleisten. Der FBG-Sensor ist in den vorbereiteten Weg des Dichtungsglases eingebettet, um FBG und Glas nach der Wärmebehandlung miteinander zu verschmelzen. Dann kann die Restspannung durch die Bragg-Wellenlängenverschiebung der FBG erhalten werden. Die MTGS-Struktur mit dem FBG-Sensor wird unter Hochtemperatur- und Hochdruckumgebungen platziert, um eine Online-Überwachung der Restspannung unter wechselnden Lasten zu erreichen. In dieser Studie werden die detaillierten Schritte zur Erstellung einer MTS-Struktur mit einem FBG-Sensor beschrieben. Die Ergebnisse zeigen die Machbarkeit dieses neuartigen Protokolls und legen die Grundlage für die Fehlerdiagnose einer MTGS-Struktur.

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Protocol

1. Produktion der MTGS-Struktur mit guter Hermetizität

HINWEIS: Die Verfahren für die MTGS-Struktur umfassen die Vorbereitungen für Komponenten der kombinierten Struktur, den Wärmebehandlungsprozess und Untersuchungen für die Durchführung von MTGS-Proben. Die komplette MTGS-Struktur besteht aus einer Stahlschale, Kovar-Leiter und Dichtungsglas. Siehe Diagramm und Abmessungen in Abbildung 1 bzw. Tabelle 1.

  1. Gießen Sie das granulierte Glaspulver (ca. 1,1 g) in die Form und legen Sie die Form dann auf die Pressmaschine, um das granulierte Glas zu verarbeiten, wie in Abbildung 2a,bdargestellt.
  2. Schalten Sie die Druckmaschine ein (drücken Sie die rote Taste), um das Granulierte Glas in den Glaszylinder zu verdichten, wie in Abbildung 2c,ddargestellt.
    HINWEIS: Die Dichteregelung des Glaszylinders ist wichtig für die Leistung der MTGS-Struktur, da zu viele Poren im Glaszylinder zum Ausfall der Hermetizität der MTGS-Struktur führen.
  3. Legen Sie den Glaszylinder in den zu sinternden Heizofen (siehe Abbildung 3).
  4. Der Sinterglaszylinder, die Stahlschale und der Kovar-Leiter werden mit einer speziellen Graphitdichtung hergestellt, wie in Abbildung 4dargestellt. Legen Sie dieses Modell mit einer Kralle zur Wärmebehandlung auf das Quarzseptum im Heizofen (siehe Abbildung 4). Halten Sie die Kühlrate bei 0,5 °C/min, um einen Bruch der Glasfaser zu vermeiden.
  5. Verwenden Sie die visuelle Inspektion, um die Oberflächentopographie von Dichtungsglas nach dem Abrufen des Modells aus dem Heizofen zu identifizieren.
  6. Verwenden Sie die Hochdruckleitung, um die Hermetizität des MTGS-Modells zu untersuchen. Installieren Sie das Modell über die Hülsenhülsenverbindung auf die Rohrleitung. Ändern Sie den Druck langsam von 1 MPa auf 8 MPa und halten Sie jeden Druck für 24 h.
  7. Verwenden Sie das Rasterelektronenmikroskop (SEM), um die mikroskopische Schnittstelle zwischen Dichtungsglas und Metallteilen zu identifizieren, wie in Abbildung 5dargestellt. Verwenden Sie 15 kV und 500x Vergrößerung, um die Schnittstelle deutlich zu beobachten.
    HINWEIS: Aus der Macrographie-Untersuchung und den SEM-Ergebnissen wird die maximale Standardheiztemperatur auf 450 °C festgelegt, um das MTGS-Modell mit guter Hermetizität zu erhalten. Die Standard-Heizbehandlung ist wie folgt definiert: Erhöhen Sie die Temperatur von (Raumtemperatur) RT auf 450 °C in Schritten von 5 °C/min, dann lassen Sie die Temperatur auf RT als 0,5 °C/min fallen.

2. Restspannungsmessung im Dichtungsglas

HINWEIS: Der FBG-Sensor ist als geeignete Methode zur Messung der Spannung im MTGS konzipiert. Die Gitterlänge des FBG-Sensors beträgt 5 mm, um der Höhe des Glases (5 mm) gut zu entsprechen.

  1. Verdichten Sie das granulierte Glaspulver in den Glaszylinder, wie in den Schritten 1.1–1.2 beschrieben.
    HINWEIS: Die Höhe des Glaszylinders ist wichtig, da es schwierig sein wird, einen Durchgangsweg für den FBG-Sensor zu machen, ohne das Glasmaterial zu zerstören, wenn der Zylinder zu hoch ist (>6 mm).
  2. Bohren Sie den Glaszylinder mit einer Bohrgeschwindigkeit von 5.000 Umdrehungen pro Minute, um drei gleichmäßig verteilte Durchgangslöcher zu erzeugen, um Pfade für optische Fasersensoren (Durchmesser 0,45 mm) vorzubereiten. Sintern Sie den Glaszylinder mit Löchern mit der gleichen Wärmebehandlung wie in Abbildung 4dargestellt.
  3. Herstellung des MTGS-Modells, wie in Schritt 1.4 beschrieben. Dann legen Sie die Faser durch den Weg in Dichtungsglas und positionieren Sie den Gitterbereich der FBG genau innerhalb des Glases.
    HINWEIS: Da der Fluss im vertikalen Ofen den Gitterbereich in die Luft sprengen kann, was zu einer Diskrepanz zwischen FBG und Glas führt, muss der Schwanz der Glasfaser mit einem kleinen Nagel aufgehängt werden, um die Position von FBG genau zu halten.
  4. Verschmelzen Sie den Kopf der Glasfaser mit einem FC-Stecker durch die Fusionsspleißer. Passen Sie dann den FC-Stecker mit dem OPM-T400 an, der ein Verhörbeamter ist, um die Wellenlängendaten und das Spektrum von FBG zu demodulieren. Der OPM-T400 ist an einen Computer angeschlossen, und die unterstützende Software auf dem Computer kann experimentelle Daten abrufen.
  5. Verarbeiten Sie das gesamte Modell in einem Ofen durch die zuvor erhaltene Standardwärmebehandlung. Erhöhen Sie die Temperatur von RT auf 450 °C als 5 °C/min, und lassen Sie die Temperatur dann in Schritten von 0,5 °C/min auf RT fallen. Der Gitterbereich wird mit dem Dichtungsglas verschmolzen, wenn es zum Schmelzen erhitzt wird. Wenn die Temperatur auf RT abkühlt, verfestigt sich das Glas und der FBG-Sensor wird gut mit dem Dichtungsmaterial verschmolzen.
  6. Zeichnen Sie die Echtzeit-Bragg-Wellenlängendaten mit der Software auf (siehe Abbildung 6). Der einzige Faktor, der Wellenlängen- und Spektrumänderungen hervorlöst, ist die Restspannung, die im Dichtungsglas erzeugt wird, da die Temperatur vor und nach diesem Schritt sowohl RT ist.

HINWEIS: Die Restspannung kann durch die Dehnungs-Wellenlängen-Beziehung von FBG14 und Hakens Gesetz berechnet werden, wie unten gezeigt.

Equation 1

Equation 2

Wobei: die B ist die Bragg-Wellenlängenverschiebung, die durch die Restspannung induziert wird, bdie Anfangswellenlänge von FBG, Pe der Dehnungs-Optik-Koeffizient, Dehnung im Glas, E ist der Young-Modul des Dichtungsglases, und die Restspannung im Glas.

3. Verhindern des Ausfalls der MTGS-Struktur bei hoher Temperatur

HINWEIS: Bei arbeiten bei hoher Temperatur wird die Hermemischkeit der MTGS-Struktur beeinträchtigt, da die thermische Ausdehnung der Stahlschale zu einer Verringerung der Restspannung im Dichtungsglas führt. So ist es möglich, dass dieses Protokoll das Versagen der Hermeticity durch die Online-Überwachung von Restspannungsänderungen im Dichtungsglas verhindern kann.

  1. Stellen Sie das MTGS-Modell wie in Schritt 1.4 vor. Die Art der FBG, temperatur- und spannungsfernzuüberwachen, ist der Faser-Bragg-Gitter-Array-Sensor, einschließlich zweigitterrstattender Bereiche auf einer Faser, mit einem Abstand von 10 mm zwischen diesen beiden Sensoren.
    HINWEIS: Diese beiden Gitter sind als FBG-1 und FBG-2 definiert. Die anfänglichen Bragg-Wellenlängen von FBG-1 und FBG-2 betragen 1545 nm bzw. 1550 nm.
  2. Legen Sie FBG-1 in den Sinterglaszylinder, um die Spannung und Temperatur zu überwachen. Platzieren Sie FBG-2 außerhalb des Glases, um nur die Temperatur zu überwachen, wie in Abbildung 7a,bdargestellt . Auf diese Weise wird FBG-1 sowohl von Temperatur- als auch von Restspannungsänderungen beeinflusst, und FBG-2 wird nur durch die Temperatur des Dichtungsglases beeinflusst.
  3. Platzieren Sie das MTGS-Modell mit Glasfaser im Ofen, wie in den Schritten 2.2–2.3 beschrieben. Verwenden Sie die Standard-Wärmebehandlung, um das MTGS-Modell mit einem integrierten FBG-Sensor zu verarbeiten.
  4. Temperaturen von 100 °C, 200 °C, 300 °C und 400 °C auf das Modell aufstellen und jede Temperatur 100 min halten.

ANMERKUNG: FBG-1 überwacht die Spannung und Temperatur gleichzeitig ausgedrückt als die Bragg WellenlängenverschiebungB-1, und FBG-2 überwacht die Temperaturänderung um B-2, wie in Abbildung 8a,bdargestellt. Die Beziehungen zwischen Bragg Wellenlängenverschiebung und gemessenen Parametern werden wie folgt dargestellt:

Equation 3

Equation 4

Wobei: der thermooptische Koeffizient ist, ist der Wärmeausdehnungskoeffizient der optischen Faser und der Temperaturwechsel vor und nach dem Experiment. Die durch Restspannung induzierteB-3 kann durch Subtraktion von B-1 vonB-2 getrennt werden (siehe Abbildung 8c). Dies ist die Demodulationsmethode zur gleichzeitigen Temperatur- und Spannungsüberwachung von Dichtungsglas bei hohen Temperaturen.

4. Überwachung des Hochdrucks

HINWEIS: Die Druckbelastungen der MTGS-Struktur wirken sich auf die Restspannung im Dichtungsglas aus, daher ist das MTGS-Modell mit dem eingebetteten FBG-Sensor eine mögliche Methode zur Überwachung der Hochdruckänderung.

  1. Bereiten Sie dasselbe MTGS-Modell mit dem FBG-Sensor vor, wie in Schritt 2.2–2.3 beschrieben. Nachdem die FBG gut mit dem MTGS-Modell verfeinert ist, verwenden Sie die Kralle, um das Modell aus dem Ofen zu nehmen.
  2. Fertigen Sie das MTGS-Modell mit dem FBG-Sensor auf eine Hochdruck-Heliumleitung durch die Biss-Rohrarmaturen gemäß Abbildung 9. Stellen Sie den Druck von 1 MPa auf 7 MPa ein, indem Sie das Ventil durch Druck reduzieren, um die Dichtungsstruktur zu verändernden Druckbelastungen zu machen.
  3. Wie in Abbildung 10dargestellt, wird die Bragg-Wellenlängenverschiebung B aufgezeichnet. Gleichzeitig kann die zugehörige Restspannungsänderung mit Gleichung 1 und Gleichung 2berechnet werden.

5. Theoretische Analyse der MTGS-Struktur

  1. Verwenden Sie die Modellierungssoftware, um das 3D-Modell für die MTGS-Struktur zu erstellen, und die Abmessungen werden aus Tabelle 1 entnommen, um das experimentelle Modell und das theoretische Modell konsistent zu halten.
  2. Importieren Sie das 3D-Modell in die Finite-Elemente-Analysesoftware. Weisen Sie der Stahlschale, dem Dichtungsglas und dem Kovar-Leiter mechanische Eigenschaften zu, wie in Tabelle 2dargestellt.
  3. Der Rastertyp des gesamten Modells ist Hex-Form (siehe Abbildung 11). Die Maschenmethode der Dichtungsglas- und Stahlschale wird gefegt, und der Kovar-Leiter wird strukturiert vernetzet. Verfeinern Sie das Netz aus Dichtungsglas, um die Genauigkeit der theoretischen Ergebnisse zu gewährleisten. Die Elemente Anzahl Kovar Leiter, Dichtungsglas und Stahlschale sind 143700, 20350 und 13400, jeweils.
  4. Legen Sie das anfängliche Inkrement, das minimale Inkrement und das maximale Inkrement des statischen Analyseschritts auf 0,01, 1,00 x 10-8 bzw. 1,00 x 10-2fest.
  5. Stellen Sie sicher, dass die Schnittstellen zwischen dichtungsglas und Metallteilen begrenzt sind. Legen Sie zunächst die sich ändernde Temperaturlast (von 370 °C auf 20 °C) fest, um den Erstarrungsfortschritt des MTGS-Modells zu simulieren. Die Spannungsverteilung nach diesem Prozess ist in Abbildung 12dargestellt.
  6. Setzen Sie unterschiedliche Temperaturen (von 100 °C bis 400 °C) auf das gesamte Modell auf, um die Online-Überwachungsexperimente unter thermischen Belastungen zu simulieren. Unter den anderen Umständen werden wechselnde Drucklasten (von 1 MPa bis 7 MPa) auf das Dichtglas aufgebracht, um die Online-Überwachung unter hohem Druck zu simulieren. Die Randbedingungen sind in Abbildung 13dargestellt.
  7. Die numerischen Ergebnisse der Spannungs- und Dehnungsverteilung des gesamten Modells stammen aus der in Abbildung 14dargestellten Zieldatei. Extrahieren Sie den in Abbildung 13dargestellten Analysepfad im Dichtungsglas, dessen Position der Überwachungspfad für FBG-Sensoren in Abbildung 6a ist, um einen Vergleich mit den Messergebnissen der FBG zu ermöglichen.

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Representative Results

Aus den Ergebnissen von Abbildung 5wird die Standard-Wärmebehandlung zur Herstellung der MTGS-Modelle mit hoher Druckdauer untersucht, und die Modelle können die Untersuchungen (z.B. Lichtdurchlässigkeit, Druckausdauer, SEM, etc.) erfüllen. So kann die produzierte MTGS-Struktur angewendet werden, um Die Hermemizität in rauen Umgebungen zu erhalten.

Die FBG kann gut mit DER MTGS-Struktur verschmolzen werden, und die Restbelastung im Dichtungsglas wird durch Bragg Wellenlängenverschiebung nach der Wärmebehandlung reflektiert, wie in Abbildung 6dargestellt. Der Wert der Restspannung kann mit Gleichung 1 und Gleichung 2genau berechnet werden. Es ist fast das gleiche wie die Ergebnisse der numerischen Simulation in Abbildung 12.

Die Echtzeit-Spannungsänderungen von Dichtungsglas von 100 °C auf 400 °C werden vom FBG-Sensor in Abbildung 8präzise überwacht und die Abnahme der Restspannung im Dichtungsglas kann sofort reflektiert werden. Es ist notwendig, die Restspannung auf einem hohen Niveau zu halten. Dadurch können die Präventionen zur Aflehtizität der MTGS-Struktur mit diesem Protokoll erreicht werden.

Aus den Ergebnissen von Abbildung 10werden die Echtzeit-Spannungsänderungen von Dichtungsglas von 1 MPa auf 7 MPa sensibel überwacht, was eine gute Konsistenz mit den numerischen Ergebnissen aufrechterhält. Daher ist das MTGS-Modell mit integriertem FBG-Sensor ein potenzieller Sensor für die Überwachung von Hochdruckänderungen.

Figure 1
Abbildung 1: Schemadiagramm der MTGS-Struktur.
Drei Komponenten sind beschriftet. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 2
Abbildung 2: Herstellungsprozess für Glaszylinder.
a) Das granulierte Niederschmelzpunkt-Dichtungsglas. b) Die Form für Glaspulver. c) Pressmaschine, um Glaspulver in Zylinder zu verarbeiten. d) Der zum Sintern vorbereitete Glaszylinder. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 3
Abbildung 3: Sinterglaszylinder und zugehörige Sinterbehandlung.
Nach dem Sinterprozess wird das Rohglasmaterial für den weiteren Prozess in den Sinterzustand umgewandelt. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 4
Abbildung 4: MTGS-Struktur und Wärmebehandlung zur Verarbeitung der MTGS-Struktur.
a) Die hergestellte MTGS-Struktur. b) Die detaillierte Wärmebehandlung, die je nach Änderungen des Dichtungsmaterials in drei Stufen unterteilt ist. c) Die durch die Wärmebehandlung erzeugte MTGS-Probe. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 5
Abbildung 5: SEM und Sichtprüfung der MTGS-Proben, die mit unterschiedlichen Leistungen hergestellt werden.
a) Mikrostruktur der Dichtungsglas- und Stahlschale mit guter Hermetizität. b) Mikrostruktur von Dichtungsglas und Kovar-Leiter mit guter Hermetizität. c) Mikrostruktur von Dichtungsglas und Stahlschale mit fehlgeschlagener Hermemitizität. d) Mikrostruktur von Dichtungsglas und Kovar-Leiter mit fehlgeschlagener Hermetizität. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 6
Abbildung 6: Restspannung gemessen durch FBG.
a) Einrichtung des FBG-Sensors im Dichtungsglas. b) Bragg Wellenlängenkurve während des Versiegelungsprozesses mit Wellenlängenverschiebung für Restspannung im Dichtungsglas. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 7
Abbildung 7: Gleichzeitige Temperatur- und Spannungsüberwachung der MTGS-Struktur durch FBG-Arrays.
a) Foto des Heizofens. b) Foto der im Ofen platzierten MTGS-Probe. c) Einrichtung des Online-Staatsüberwachungsexperiments unter thermischer Belastung. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 8
Abbildung 8: Ergebnisse der Online-Überwachung unter thermischen Belastungen.
a) Das Signal, das von Stress- und Temperaturänderungen betroffen ist. b) Das Temperaturüberwachungssignal. c) Das Spannungsüberwachungssignal. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 9
Abbildung 9: Online-Überwachung unter Druckbelastungen.
a) Foto der Hochdruckleitung. b) Einrichtung des Online-Staatsüberwachungsexperiments unter Drucklast.

Figure 10
Abbildung 10: Online-Zustandsüberwachungsergebnis des Femto-Lasers, der FBG unter Drucklast beschriftet ist.
Die Wellenlänge des FBG-Sensors nimmt mit zunehmendem Druck fast linear ab. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 11
Abbildung 11: Netz der MTGS-Struktur mit Verfeinerung des Dichtungsglases.
Das Netz von außen nach innen ist jeweils die Stahlschale, das Dichtglas und der Kovar-Leiter.

Figure 12
Abbildung 12: Numerische Simulation der MTGS-Struktur nach herstellungsablauf.
a) Axialspannung und b) radiale Spannungsvektorgraphie des Dichtungsglases. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 13
Abbildung 13: Randbedingungen für die Online-Überwachung unter thermischen und Drucklasten und die Berechnung von Pfaden.
Die thermischen Belastungen ändern sich von 100 °C auf 400 °C. Die Drucklasten ändern sich von 1 MPa auf 7 MPa. Der Axialweg ist genau die Messposition der FBG im Dichtungsglas. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Figure 14
Abbildung 14: Die Version der Software mit Zieldateien.
Die Sonderergebnisse (z.B. Spannung, Dehnung, etc.) können aus dieser Schnittstelle extrahiert werden. Bitte klicken Sie hier, um eine größere Version dieser Abbildung anzuzeigen.

Abmessungen (mm) Stahlschale Dichtungsglas Kovar-Dirigent
Innendurchmesser 7 2.5 0
Außendurchmesser 10 7 2.5
höhe 20 5 30

Tabelle 1: Abmessungen der MTGS-Struktur.

rahmen Stahlschale Dichtungsglas Kovar-Dirigent
Yong-Modul (GPa) 183 56.5 157
Poisson-Verhältnis 0.3 0.25 0.3
Wärmeausdehnungskoeffizient (1/°C) 1,6 x 10-5 8,9 x 10-6 4,9 x 10-6

Tabelle 2: Mechanische Eigenschaften der MTGS-Struktur.

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Discussion

Zu den kritischen Schritten für die Spannungsmessung des Dichtmaterials der MTGS-Struktur bei hoher Temperatur und hohem Druck gehören 1) die Herstellung der MTGS-Modelle mit dem FBG-Sensor, von dem sich der Gitterbereich in der Mitte des Dichtungsglases befindet; 2) Erhitzung des gesamten Modells mit einem Standard-Wärmebehandlungsprozess, und nachdem das Modell auf RT abgekühlt ist, wird der FBG-Sensor gut mit dem MTGS-Modell verflochten, und die Restspannung kann durch Bragg Wellenlängenverschiebung gemessen werden; 3) Platzierung des kompletten Modells in den Ofen, um die sich verändernden thermischen Belastungen zu erleben, und die Online-Simultantemperatur- und Spannungsüberwachung kann dann durch die Wellenlängenverschiebungsdifferenz der beiden FBG-Arrays auf einer optischen Faser erreicht werden; und 4) Herstellung des kompletten Modells auf eine Hochdruckleitung, und der Spannungswechsel von Dichtungsglas mit dem unterschiedlichen Druck wird durch eine einzige FBG in Dichtungsglas erhalten. Der wichtigste Schritt ist, die nackte FBG genau im Dichtglas zu halten.

Vergleicht man die experimentellen und numerischen Ergebnisse, so entspricht die gemessene axiale Restspannung (56 MPa) fast dem theoretischen Wert (53 MPa), und die Restspannungsänderung während der Online-Überwachungsexperimente unter thermischen und Drucklasten stimmt mit simulationsergebnisse mit einer Abweichung von weniger als 10%. Dieses Protokoll hat sich durch FEM als machbar und genau erwiesen.

In Zukunft kann dieses Protokoll zur Messung von Großstämmen in einer MTGS-Struktur mit hohem Schmelzpunktdichtungsglas (880 °C) verwendet werden. Das Schlüsselproblem in diesem Experiment ist die Temperaturbeständigkeit des FBG-Sensors, so dass das Typ-II-Gitter, das durch femto-LaserPunkt-Punkt-Methode eingeschrieben ist, angewendet werden kann15.

Nach den Ergebnissen von FEM ist die Dehnungsverteilung im Dichtungsglas ungleichmäßig, was bedeutet, dass das Gitter der FBG gezwitschert und das Spektrum erweitert wird, deutlich beeinflusst durch die Sorte16. In den nächsten Schritten sollte die Beziehung zwischen der Bandbreite der FBG und der Dehnungsverteilung untersucht werden, die als neuartige Charakterisierung dienen kann, um typische, nicht gleichmäßige Dehnungen zu identifizieren, die durch kleine Risse und andere Schäden im Bereich der strukturellen Gesundheitsüberwachung17,18,19.

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Disclosures

Die Autoren haben nichts zu verraten.

Acknowledgments

Diese Arbeit wurde vom National S&T Major Project of China (ZX069) unterstützt.

Materials

Name Company Catalog Number Comments
ABAQUS Dassault SIMULA ABAQUS6.14-5 The software to carry out numerical simulation.
Fiber Bragg grating sensors Femto Fiber Tec FFT.FBG.S.00.02 Single apodized FBG
Fusion splicer Furukawa Information Technologies and Telecommunications S123M12 FITEL's line of fusion splicers provides an excellent solution for both field and factory splicing applications?
Glass powder Shenzhen Sialom Advanced Materials Co.,Ltd LC-1 A kind of low melting-point glass powder (380?).
Graphite mold Machining workshop of Tsinghua University Graphite The mold to locate each part of the metal-to-glass structure.
Heating furnace Tianjin Zhonghuan Electric Furnace Technology Co., Ltd SK-G08123-L vertical tubular furnace
Kovar conductor Shenzhen Thaistone Technology Co., Ltd 4J29 A common material used for the electrical penetration in the metal-to-glass seal structure
Optical interrogator Wuhan Gaussian Optics CO.,LTD OPM-T400 FBG spectrum analysis modules
Pro/Engineer Parametric Technology Corporation PROE5.0 The software to establish the 3D geometry.
Steel shell Beijing Xiongchuan Technology Co., Ltd 316 stainless steel A kind of austenitic stainless steel

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Fan, Z., Hu, K., Huang, Z., Zhang,More

Fan, Z., Hu, K., Huang, Z., Zhang, Y., Yan, H. Optimized Sealing Process and Real-Time Monitoring of Glass-to-Metal Seal Structures. J. Vis. Exp. (151), e60064, doi:10.3791/60064 (2019).

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