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챕터
요약
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一个RT液体表面钝化技术研究体硅缺陷的重组活性描述。对于该技术是成功的,三个关键的步骤是必需的:(ⅰ)化学清洗和硅的蚀刻,硅的(ⅱ)浸没在15%的氢氟酸和(iii)照明1分钟。