Свет Enhanced плавиковой кислоты пассивация: чувствительного метода для обнаружения объемного кремния дефекты

Общая цель этой процедуры заключается в использовании метода пассивации поверхности при комнатной температуре для ингибирования поверхностной рекомбинации таким образом, чтобы можно было точно охарактеризовать объемные кремниевые дефекты. Этот метод может помочь нам понять, какие дефекты будут ограничивать срок службы кремниевых пластин высокой чистоты, которые необходимы для очень высокоэффективных солнечных батарей. Основное преимущество этой методики заключается в том, что она может быть выполнена при комнатной температуре, а это означает, что рекомбинационная активность объемных дефектов кремния не изменится во время измерения.

Применение этого метода распространяется на измерение рекомбинационной активности объемных дефектов кремния, которые существуют в низких концентрациях, которые в противном случае было бы очень трудно измерить другими методами. Как правило, люди, плохо знакомые с этим методом, испытывают трудности, потому что требования к высокочистым деионизионным водным и химическим процедурам очистки изначально не поняты, поэтому крайне важно, чтобы процедура выполнялась шаг за шагом. Подготовка раствора, включая важные замечания по приготовлению фтористоводородной кислоты, а также общие инструкции по настройке и калибровке оборудования представлены в текстовом протоколе.