С использованием синхротронного излучения микротомография Расследования многомасштабном Трехмерные Микроэлектронные пакеты

9.9K просмотров

Цитируется: 5

08:46 мин.

13 апреля 2016 г.

10.3791/53683-v

13 апреля 2016 г.

9.9K просмотров

Holly D. Carlton¹ , John W. Elmer¹ , Yan Li² , Mario Pacheco² , Deepak Goyal² , Dilworth Y. Parkinson³ , Alastair A. MacDowell³

¹Materials Engineering Division, Lawrence Livermore National Laboratory, ²Assembly Test and Technology Development Failure Analysis Labs, Intel Corporation, ³Advanced Light Source, Lawrence Berkeley National Laboratory

Для этого исследования синхротронного излучения микро-томографии, неразрушающий трехмерной метод визуализации, используется для исследования весь микроэлектронной пакет с площадью поперечного сечения 16 х 16 мм. Из-за большого потока синхротронное и яркости образца было получено всего 3 мин с пространственным разрешением 8,7 мкм.