الطباعة الحجرية شعاع الإلكترون نانومتر ذات الأرقام المفردة مع مجهر إلكتروني انتقال المسح ضوئي لتصحيح الانحراف

ونحن نستخدم مجهر إلكتروني انتقال المسح ضوئي لتصحيح انحراف لتحديد أنماط نانومتر رقم واحد في اثنين شعاع الإلكترون استخداماً تقاوم: بولي (ميثاكريلات الميثيل) والهيدروجين سيلسيسكويوكساني. مقاومة أنماط يمكن تكرارها في المواد المستهدفة في الاختيار مع الإخلاص نانومتر ذات الأرقام المفردة باستخدام إقلاعه، البلازما النقش، ومقاومة التسلل أورجانوميتاليكس.