JoVE Journal
Engineering
Engineering
需要订阅 JoVE 才能查看此 内容. 登录或开始免费试用。
章节
总结概括
Please note that all translations are automatically generated.
We presenteren een compact reflectie digitale holografische systeem (CDHM) voor inspectie en karakterisering van MEMS. Een lens-less ontwerp met behulp van een divergerende ingang golf verstrekken van natuurlijke geometrische vergroting wordt aangetoond. Zowel statische als dynamische studies worden gepresenteerd.