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다층 미세 유체 장치의 제조를 위한 입체 인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터의 설계 및 개발
 
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다층 미세 유체 장치의 제조를 위한 입체 인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터의 설계 및 개발

Article DOI: 10.3791/61877-v 06:21 min January 25th, 2021
January 25th, 2021

章节

总结概括

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이 프로젝트를 통해 소규모 실험실에서는 정밀다층 미세 유체 장치를 제조하기 위한 사용하기 쉬운 플랫폼을 개발할 수 있습니다. 플랫폼은 <10 μm의 정렬 오차가 있는 다층 미세 유체 장치를 사용하여 3차원인쇄 현미경 마스크 정렬 어댑터로 구성됩니다.

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공학 문제 167 3D 프린팅 포토리소그래피 미세 유체 화학 공학 다층 미세 유체 장치 소프트 리소그래피
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