Mehrstufige Höhenverstellbarem Lithografie für Valved Mehrschichtige Mikrofluidiksysteme

Das übergeordnete Ziel dieses Videoprotokolls ist es, die vollständige mehrstufige Photolithographie von mikrofluidischen Urformen mit On-Chip-Ventilen und mehreren Höhenmerkmalen zu demonstrieren, die für jede Anwendung abstimmbar sind. Diese Methode bietet einen vollständigen Überblick über die Herstellung von Urformen mit komplexen Geometrien, einschließlich On-Chip-Membranventilen, für mikrofluidische Geräte. Der Hauptvorteil dieser Technik besteht darin, dass sie es ermöglicht, den Durchfluss in mikrofluidischen Geräten einfach zu kontrollieren und damit eine große Barriere für den Einstieg in die Mikrofluidik in biologischen Anwendungen zu überwinden.

visuelle Demonstration dieser Technik ist von entscheidender Bedeutung, da die Schritte für die Fotolithografie für Anfänger oft schwer zu beherrschen sind. Die richtige Ausrichtung, Entwicklung und Belichtung hängen von visuellen Hinweisen und der Erfahrung im Reinraum ab. Gestalten Sie zunächst Ihr Gerät und bereiten Sie die einzelnen Fotomasken für die Multilayer-Geometrien vor.