Mehrstufige Höhenverstellbarem Lithografie für Valved Mehrschichtige Mikrofluidiksysteme

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10:18 Min.

27. Januar 2017

10.3791/55276-v

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Mehrschichtige mikrofluidische Geräte beinhalten oft die Herstellung von Urformen mit komplexen Geometrien für die Funktionalität. In diesem Artikel wird ein vollständiges Protokoll für die mehrstufige Fotolithographie mit Ventilen und variablen Höhenmerkmalen vorgestellt, die auf jede Anwendung abgestimmt werden können. Zur Demonstration stellen wir einen mikrofluidischen Tröpfchengenerator her, der in der Lage ist, Hydrogelkügelchen herzustellen.

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Mehrstufige Photolithographie

Chapters in this video

0:05

Titel

0:51

Herstellung abgerundeter Ventile

3:08

Herstellung von Strukturen variabler Höhe in Tandem

5:50

Produktion von Hydrogel-Beads aus Tröpfchen

8:29

Ergebnisse: Produktion von PEG-Diacrylat-Hydrogel-Tröpfchen

9:34

Fazit

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