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DOI: 10.3791/58069-v
Ying Wang1,2, Zhen Li1,2, YongSheng Liu1, Yijie Li2, Linfei Liu2, Da Xu2, Xiaojing Luo1, Tian Gao1,3, Yanyan Zhu1,4, Luozeng Zhou3, Jianming Xu3
1Department of Physics, Mathematics, Shanghai Key Laboratory of Materials Protection and Advanced Materials in Electric Power,Shanghai University of Electric Power, 2Key Laboratory of Artificial Structure and Quantum Control, Ministry of Education, Department of Physics,Shanghai Jiao Tong University, 3Shanghai Institute of Space Power-sources, 4Shanghai Key Laboratory of High Temperature Superconductors,Shanghai University
Please note that some of the translations on this page are AI generated. Click here for the English version.
This article presents a protocol for growing LSMO nanoparticles and Gd BCO films on SrTiO3 single-crystal substrates using radio frequency sputtering. The method allows for uniform deposition of nanoparticles and films in the same vacuum chamber.
Hier präsentieren wir Ihnen ein Protokoll zur LSMO Nanopartikeln wachsen und (Gd) BCO Filme auf (001) SrTiO3 (STO)-Einkristall Substrate durch Radiofrequenz (RF)-Sputtern.
Diese Methode kann die LSMO-Nanopartikel gleichmäßig auf einem STO-Einkristallsubstrat erzeugen. Auch die GBCO-Folie kann mit der gleichen Methode in der gleichen Vakuumkammer erhalten werden. Der Hauptvorteil dieser Technologie besteht darin, dass LSMO-Nanopartikel mit einheitlicher Größe und hochwertiger supraleitender GBCO-Folie in derselben Vakuumkammer abgelagert werden können.
Diese Methode kann Einblicke in Filmabscheidungsbereich, Nanopartikelwachstumsbereich usw. geben. Es kann auch auf Metallfolienabscheidung, Metall-Nanopartikelabscheidung, et cetera angewendet werden. Diese Methode wird es Forschern ermöglichen, sich mit Vakuumgeräten vertraut zu machen und mehr über Filmwachstumstechnologie zu erfahren.
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