Micropunching ליתוגרפיה לייצור מיקרו submicron דפוסי פולימר על מצעים

14.8K צפיות

צוטט 1 פעמים

09:24 דק׳

2 ביולי 2012

10.3791/3725-v

2 ביולי 2012

14.8K צפיות

Anirban Chakraborty¹ , Xinchuan Liu¹ , Cheng Luo¹

¹Mechanical and Aerospace Engineering, University of Texas at Arlington

הגישה ליתוגרפיה micropunching מפותח כדי ליצור מיקרו submicron דפוסי למעלה, דפנות ומשטחים התחתון של פולימר מצעים. הוא מתגבר על המכשולים של דפוסים מנהלת פולימרים ויצירת דפוסי דפנות. שיטה זו מאפשרת ייצור מהיר של תכונות מרובות ללא כימיה אגרסיבי.