フォトリソグラフィによる微細加工

非常に小さいサンプルのボリューム、ポータブル デバイスのための高められた必要性は、収縮と呼ばれるデバイスの小型化を推進してきました。収縮は、微細加工によって生産されています。半導体技術を用いたマイクロ スケールの構造を製造する工程。写真平版と呼ばれる微細加工技術は、光を用いて基板上にパターンの複雑なパターンによく使用されます。このビデオがフォトリソグラフィ プロセスを紹介、研究室では、技術のデモンストレーションし、フォトリソグラフィを使用しているいくつかのアプリケーションへの洞察力を提供します。

すなわち、シリコンウェハー、半導体フォトリソグラフィによるマイクロ構造形成における基板として使用します。まずウエハは、有機汚染物質を削除するクリーンアップされます。その後、基材層は上部に形成されます。たとえば、熱酸化法によるシリコン酸化膜が形成されます。フォトリソグラフィを開始するには、粘性、UV 反応性物質、フォトレジストと呼ばれるレイヤーは基板上の均一な厚さにコーティングされたスピンです。レジストを塗布した基板は、強烈な紫外線、フォトマスクと呼ばれる正確にパターンのステンシルをさらされます。フォトレジストの 2 種類が存在します。最初のポジ型レジストは水溶性紫外線への露出になります。対照的にネガ型レジストの露出した領域は架橋になるし、溶け合うことはありません。開発者ソリューションを使用して、フォトレジストの可溶性部分が削除されます。残してフォトレジストをパターン化し、基板領域を公開します。パターンは、公開されている二酸化シリコン層にエッチングされています。ドライ エッチングでは、反応性イオン エッチング材料をウェハ上に堆積を除去する使用して化学的に反応性プラズマと呼ばれます。また、ウェット エッチング シリコン酸化膜をエッチングするフッ化水素酸を使用ことができますよう。エッチング技術は、加工される材料によって異なります。最後に、正確にパターン化されたシリコンの微細構造を残して残りのフォトレジストが削除されます。この構造体は、電子・ マイクロ流体デバイス作製のため、直接、または金型として使用することができます。今では写真平版の基本的な手順を説明されている、クリーン ルーム環境での手順を実行する方法を見てをみましょう。

まず、パターンを作成するために使用されます写真マスクに設計、メーカーから注文します。その後、フォトリソグラフィ工程は、クリーン ルームで、日常的にホコリの混入を最小限に抑えるために空気をフィルター処理する. します。まず、二酸化シリコン層は、熱酸化を用いたシリコンウエハ表面に形成されます。ウエハーを酸化すると、スピンコーター チャック上に配置されます。それは、ウェーハの表面の大部分をカバーするまで、フォトレジストは、ウェハの中心に注がれています。フォトレジストは、スピン コーティング、さらには、薄いコーティングを作成します。次に、コーティングされたウェーハは、焼き、ホット プレート、任意の溶媒を蒸発させるし、レジストを固化するソフトです。ウェハは、マスクアライナ、望ましいパターンの特定の写真のマスクを含むに読み込まれます。ウェハは写真マスクを通して紫外線にさらされるし、ハード開発のフォトレジストを設定する焼いています。フォトレジストの可溶性の領域が使われるレジストの種類に固有の開発ソリューションを使用して削除されます。ウェハの洗浄し、乾燥、最後に、ウェハ上のパターンのレジストを残してします。

次の写真平版、パターンは深い反応イオン エッチングを用いたシリコン酸化膜の上の層にエッチングされています。エッチング後、残りのフォトレジストは、適切なフォトレジスト除去でウェハを浸すことによって削除されます。ウェハは、イソプロパノール、アセトンで洗浄し、窒素下で乾燥します。次に、洗浄液ピラニアは過剰な有機残基を削除する準備ができて。ピラニアは、濃硫酸と過酸化水素の混合物です。このソリューションは、適切な訓練の承認済み、換気フードの使用をする必要があります。ピラニアは非常に危険であり、爆発することができます。ウェハはピラニアに数分間浸漬、その後水で洗浄します。最後に、ウェハはアセトンとメタノールで洗浄、クリーン、最終的な構造のままにする窒素ガスで乾燥します。

収縮装置の広い範囲を作成するフォトリソグラフィによって生成されたマイクロ スケール パターンを使用します。たとえば、写真平版はシリコンウエハ、またはスライド ガラスなどの基板上の金属パターンの作成に使用できます。上層部に基板エッチング離れて、代わりに金属スパッタ コーティング、金属蒸着を用いたレジスト パターン上に堆積します。この例では、金の層が続く、ガラス スライド上クロム接着層を塗布します。堆積後、フォトレジストが金のパターンを公開する削除されます。金の模様は、セル、またはバイオ エレクトロニクス用電極としての制御アセンブリの使用できます。フォトリソグラフィは、高分子マイクロ パターンの作成にも使用できます。このため、露光前にシリコンウェーハ上にポリマーの層を堆積します。ようなシリコンウェーハ、二酸化シリコン層で開発されたフォトレジストによって公開される高分子パターンがエッチングします。残りのフォトレジストがパターン化されたポリマーだけを残して削除されます。パターン化されたポリマーは、制御細胞の成長、またはポリマーの島々 の周りを誘導するために使用できます。写真平版はマイクロ スケール、ナノスケール パターン集束イオンビームを使用して作製することができますや FIB。FIB は、アブレーションや正確なパターンの表面の材料を堆積するイオンのビームを使用します。この例では、あらかじめ金電極モリブデン結晶された修飾と。次に、ナノ ・ プラチナの橋は金電極に結晶を接続する FIB を用いた堆積しました。これらの構造は、改善するために使用できます、収縮装置をさらに小型化します。

フォトリソグラフィによる微細加工のゼウスの概要を見てきただけ。基本的なフォトリソグラフィを今理解する必要があります処理、研究室、技術が収縮デバイスの製造で使用されるいくつかの方法の実行方法。見ていただきありがとうございます。