溶媒蒸発に基づく気孔率制御技術を用いたソフト静電容量式圧力センサの感度向上

溶媒蒸発技術に基づくシンプルでコスト効率の高い製造方法を提示し、成形PDMS/トルエン溶液の異なる質量比を使用した誘電体層の空隙率制御によって可能になるソフト静電容量式圧力センサの性能を最適化します。