Journal
/
Química
/
Epitaksial dyrkning af Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition
JoVE Journal
Química
É necessária uma assinatura da JoVE para visualizar este conteúdo.  Faça login ou comece sua avaliação gratuita.
JoVE Journal Química
Epitaxial Growth of Perovskite Strontium Titanate on Germanium via Atomic Layer Deposition

Epitaksial dyrkning af Perovskite strontiumtitanat på Germanium via Atomic Layer Deposition

DOI:
10.3791/54268-v

•

09:45 min

•

July 26, 2016

•

, , ,
1McKetta Department of Chemical Engineering,The University of Texas at Austin

Capítulos

  • 00:05Título
  • 01:20Cleaning the Germanium Substrate
  • 02:46Loading to the Vacuum System and Germanium Deoxidization
  • 04:30Thin Film ALD Growth and Annealing of the Strontium Titanate (STO) Film
  • 07:23Results: RHEED and X-ray Diffraction Analysis
  • 08:41Conclusion

Summary

Tadução automática

Tadução automática

Dette arbejde beskriver procedurerne for vækst og karakterisering af krystallinsk SrTiO 3 direkte på germanium substrater af atomare lag deposition. Proceduren illustrerer evne en all-kemisk metode vækst at integrere oxider monolitisk på halvledere til metal-oxid halvleder-enheder.

Tags

Epitaxial GrowthPerovskiteStrontium TitanateGermaniumAtomic Layer DepositionMicroelectronicsDielectricCrystalline OxidesInterface StatesManufacturingPrecursorsMolecular Beam EpitaxySubstrate CleaningUV Ozone CleaningVacuum System

Article

Embed

ADICIONAR À PLAYLIST

Usage Statistics

Vídeos Relacionados

Atomically skabeloner til epitaksial vækst af komplekse Oxide Thin Films

Syntese og Reaktion kemi nanostørrelse Mononatrium titanat

Layer-by-lags Syntese og overførsel af Fritstående Konjugerede Mikroporøse Polymer Nanomembranes

Forbedret heterojunction Kvalitet i Cu<sub> 2</sub> O-baserede solceller gennem optimering af Atmosfærisk tryk Spatial Atomic Layer Deponeret<br /> Zn<sub> 1-x</sub> Mg<sub> x</sub> O

Udarbejdelse af Makroporøse Epitaksial Quartz Film på silicium af kemisk opløsning Deposition

Indflydelse af Hybrid perovskit Fabrication Metoder på film Formation, Elektronisk Struktur og Solar Cell ydeevne

Reaktiv dampudfældning konjugeret Polymer film på vilkårlige substrater

Deposition af porøse Sorbents på stof understøtter

Solvothermal syntese af MIL-96 og UiO-66-NH2 på atomare lag deponeret metaloxid belægninger på Fiber måtter

Syntese af substrat-bundet Au Nanowires Via en aktiv overflade vækst mekanisme

Read Article