Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays for High-Throughput Large-Scale Sample Inspection

Fangzhou Xia; Kamal Youcef-Toumi; Thomas Sattel; Eberhard Manske; Ivo W. Rangelow

doi:10.3791/65210

/

Активная зондовая атомно-силовая микроскопия с кватропараллельными кантилевеверными решетками для высокопроизводительного крупномасштабного контроля образцов

Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays for High-Throughput Large-Scale Sample Inspection

JoVE Journal
Инженерия

Для просмотра этого контента требуется подписка на Jove Войдите в систему или начните бесплатную пробную версию.

JoVE Journal Инженерия

Active Probe Atomic Force Microscopy with Quattro-Parallel Cantilever Arrays for High-Throughput Large-Scale Sample Inspection

Активная зондовая атомно-силовая микроскопия с кватропараллельными кантилевеверными решетками для высокопроизводительного крупномасштабного контроля образцов

Please note that all translations are automatically generated. Click here for the English version.

1,466 Views

•

05:04 min

•

June 13, 2023

DOI:

10.3791/65210-v

DOI:

10.3791/65210-v

•

05:04 min

June 13, 2023

•

1438 Views

Fangzhou Xia¹, Kamal Youcef-Toumi¹, Thomas Sattel², Eberhard Manske³, Ivo W. Rangelow^4,5

¹Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering,Массачусетский технологический институт ²Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering,Ilmenau University of Technology ³Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology ⁴Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology,Ilmenau University of Technology ⁵nano analytik GmbH

Резюме

Крупномасштабный контроль образцов с наноразмерным разрешением имеет широкий спектр применения, особенно для наноготовых полупроводниковых пластин. Атомно-силовые микроскопы могут быть отличным инструментом для этой цели, но они ограничены скоростью визуализации. В этой работе используются параллельные активные консольные массивы в АСМ для обеспечения высокой пропускной способности и крупномасштабных проверок.