Waiting
Traitement de la connexion…

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Теоретический расчет и экспериментальная проверка …
JoVE Journal
Engineering

Un abonnement à JoVE est nécessaire pour afficher ce contenu. Connectez-vous ou commencez votre essai gratuit.

JoVE Journal Engineering
Теоретический расчет и экспериментальная проверка уменьшения дислокаций в эпитаксиальных слоях германия с полуцилиндрическими пустотами на кремнии
Scanning Light Scattering Profiler (SLPS) Based Methodology to Quantitatively Evaluate Forward and Backward Light Scattering from Intraocular Lenses
Journal (Engineering)
Scanning Light Scattering Profiler (SLPS) Based Methodology to Quantitatively Evaluate Forward and Backward Light Scattering from Intraocular Lenses
Nanostructured Ag-zeolite Composites as Luminescence-based Humidity Sensors
Journal (Engineering)
Nanostructured Ag-zeolite Composites as Luminescence-based Humidity Sensors
 
Click here for the English version

Теоретический расчет и экспериментальная проверка уменьшения дислокаций в эпитаксиальных слоях германия с полуцилиндрическими пустотами на кремнии

Article DOI: 10.3791/58897-v • 06:57 min • July 17th, 2020
July 17th, 2020 •
1, 2, 1, 1,3
1Department of Materials Engineering, The University of Tokyo, 2Department of Electrical and Electronic Information Engineering, Toyohashi University of Technology, 3Department of Materials Science and Engineering, Massachusetts Institute of Technology

Chapitres

résumé
Automatic Translation

Please note that all translations are automatically generated.

Click here for the English version.

Предложены теоретические расчеты и экспериментальная проверка для снижения плотности резьбовых дислокаций (ТД) в эпитаксиальных слоях германия с полуцилиндрическими пустотами на кремнии. Представлены расчеты, основанные на взаимодействии ТД и поверхности через силу изображения, измерениях ТД и наблюдениях ТД просвечивающим электронным микроскопом.

Tags

Машиностроение выпуск 161 Кремниевая фотоника германий Ge рост кристаллов селективный эпитаксиальный рост плотность резьбовых дислокаций сила изображения теоретический расчет химическое осаждение из паровой фазы CVD просвечивающий электронный микроскоп ПЭМ
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter