Microscopie à force atomique à sonde active avec réseaux en porte-à-faux quattro-parallèles pour l’inspection d’échantillons à grande échelle à haut débit

La microscopie à sonde à balayage basée sur de nouvelles sondes de système micro-électromécanique est appelée porte-à-faux actif. Les cantulaires avec actionnement et détection intégrés offrent plusieurs avantages par rapport aux porte-à-faux passifs, qui reposent sur l’excitation piézoélectrique et la mesure de la déviation du faisceau optique. Le développement le plus récent dans ce domaine est la réalisation de réseaux de porte-à-faux actifs pour l’imagerie SPM parallèle à haut débit.

Les réseaux de porte-à-faux actifs utilisent des capteurs piézorésistifs intégrés pour offrir une sensibilité comparable aux méthodes de lecture optique sans limites de diffraction afin de permettre des sondes AFM plus petites, plus douces et plus compactes. Les résultats de cette technique ont ouvert la voie à l’exploitation et à la construction de microscopes à force atomique à haut débit utilisant une électronique multicanal à grande vitesse. Les progrès de cette technique peuvent faciliter le fonctionnement plus rapide et plus fiable des systèmes en porte-à-faux actifs massivement parallèles à l’avenir.