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Capitoli
Riepilogo
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सक्रिय ऑप्टिकल उपकरणों की व्यापक सूक्ष्म लक्षण वर्णन के लिए एक कार्यप्रवाह उल्लिखित है। यह सीटी, एलएम और SEM के माध्यम से संरचनात्मक रूप में अच्छी तरह के रूप में कार्य की जांच में शामिल है। विधि एक सफेद एलईडी जो अभी भी लक्षण वर्णन के दौरान संचालित किया जा सकता है प्रदर्शन किया है।
