Name: マイクロ電極の構造によって生成されたAC動電現象 (動画) | JoVE Journal
Uploaded: 2008-07-28T20:28:00.000+00:00
Duration: 20 min 38 s
Description: 学ぶAC動電現象の物理原理とデバイス製造法。微細電極構造を用いた粒子・流体のマイクロナノスケール操作技術を解説し、バイオチップ応用への活用方法を紹介します。

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ガラス基板上にCr / Au電​​極を作製したパート1A：ウェットエッチング法 *最高品質のデバイスの場合、製造工程は、クリーンルーム環境で実行する必要がありますまたは層流フードの下になるようほこり、その他の汚染物質は、パターンには影響しません。 <ol><li> 4インチのガラスのスライドによる2インチが置かれて加熱（80℃）ピラニア溶液（5時07分H 2 O 2：H 2 SO 4）汚染物質（特に有機）を削除し、DIでリンスする30分間水と圧縮空気で乾燥。 </li><li> 20 nmのCrおよび200nmのAuを電​​子ビーム蒸着で基板上に堆積されています。 </li><li>シプリー1827ポジ型フォトレジストはspincoater（3000回転、1000回転/秒のランプ、30秒のスピン時間）でスライドガラス上に堆積される。 </li><li>基板は、その後100℃で2分間ソフト焼いています</li><li>マスクのパターンは、206ミリジュール/ cm 2の合計は8.4秒間接触のUV露光でレジストに転送されます。 </li><li>純水リンスに続いて良い撹拌しながら30秒間水（1:3）：フォトレジストは、Microposit MF 351に開発されています。 </li><li> DIの間と後に洗うと良い発展を確保するために顕微鏡で検査した後、基板は、それぞれ15秒と30秒間のAuエッチング液やクロムエッチング液でエッチングされる。 </li></ol>パート1B：代替プロトコル - リフトオフ法<ol><li> 4インチのガラスのスライドによる2インチが置かれて加熱（80℃）ピラニア溶液（5時07分H2O 2：H 2 SO 4）汚染物質（特に有機）を削除し、DI水でリンスする30分間と圧縮空気で乾燥。 </li><li> Futurrex NR - 7 1500 PYネガ型フォトレジストは、基板（2000回転、1000回転/秒のランプ、40秒のスピン時間）にspincoatedした。 </li><li>基板は150℃で1分間焼いたソフトでした</li><li> 21秒（400ミリジュール/ cm 2）のための紫外線照射にお問い合わせください。 </li><li>基板は、その後100℃postbakeステップを完了するには、1分間℃に設定したホットプレート上に置いた。 </li><li>開発はFuturrex RD6、開発者の6秒間実施した。 </li><li> 30nmのCrおよび200nmのAuをし、電子ビーム蒸着で基板上に堆積されています。 </li><li>リフトオフは、金が目に見えて除去し、顕微鏡観察で確認されたまでアセトン超音波浴に基板を配置することによって行われます。 </li></ol>実験的なセットアップ第2部：微小注入して観察<ol><li> PDMSチャネル（製造は別のところで説明）チャンネルが作製電極の上を通過するように直接接着してガラス基板に接続されています。 </li><li>約10 7ミリリットル ポリスチレン微小球は、DI水（0.0002 S / m）またはKCl溶液（0.05 S / m）のいずれかで中断されます。彼らはその後、ミクロスフェアのソリューションでチューブの口を配置し、注射器とコンセントに吸引を適用することにより、注入される。 </li><li>ロードされたデバイスは、顕微鏡ステージ上に配置し、信号発生器に接続されています。 </li><li>観察は顕微鏡で行っている間に周波数設定（1 kHzから1 MHzの）と電圧の設定値（1または2 V）の時間経過が適用されます。 </li></ol>注：これは、高すぎる電圧を上げたり、周波数が低すぎたり、水の電気分解を取得できるようにすることが重要ですが発生します。この発生するために正確な電圧または周波数の設定は、電極の設計に依存しています。私たちの研究室のガイドラインは、8の上方には500 Hzまたは電圧以下の周波数を避けるためにVです。

<ol><li>Ramos, A., et al. <a target="_blank" href="http://www.ncbi.nlm.nih.gov/pubmed?term=((AC+Electrokinetics%3A+a+review+of+forces+in+microelectrode+structures%5BTitle%5D)+AND+%22Journal+of+Physics+D%3A+Applied+Physics%22%5BJournal%5D)">AC Electrokinetics: a review of forces in microelectrode structures.</a> Journal of Physics D: Applied Physics. 31, 2338-2353 (1998).</li>
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</ol>

このビデオでは、我々はAC動電現象によって引き起こされる粒子と流体操作の挙動を幅広く示している。これらの現象を生成する電極は、製造が容易であり、簡単に他の多くのシステムに統合することができます。これまでに示したように、AC動電学の使用のための多数のアプリケーションがあります。これらのデバイスの多様性だけでなく、操作の迅速な性質は、それらが特に魅力的です。ヘルスケアと他の産業がラボオンチップシステムを採用し始めると、我々は可能性が不可欠な要素として、それらのデバイスにAC動電学の取り込みが表示されます。

<table><tbody><tr><td>2&quot; 4倍に&quot; Pyrexガラススライド</td><td>基質</td><td></td><td></td><td>Pyrex 7740</td></tr><tr><td>クロムマスク</td><td>材料</td><td></td><td></td><td>このフォトマスクには、マイクロ&amp;#8211;電極パターンが形成されており、さまざまなマイクロファブリケーションセンターに注文することが可能です。</td></tr><tr><td>PDMSマイクロチャネル</td><td>材料</td><td></td><td></td><td>これらは自前で製作して使用することも、あるいは単純な顕微鏡スライドガラスで代用することも可能です。</td></tr><tr><td>30% 過酸化水素</td><td>試薬</td><td>Fisher Scientific</td><td>7722-84-1</td><td>ACS認定、Fisher Scientific</td></tr><tr><td>硫酸</td><td>試薬</td><td>Fisher Scientific</td><td>A300-212</td><td>認定ACS Plus</td></tr><tr><td>アセトン 電子グレード</td><td>試薬</td><td>Fisher Scientific</td><td>A946-4</td><td></td></tr><tr><td>Shipley 1827 ポジ型フォトレジスト</td><td>試薬</td><td>MicroChem Corp.</td><td></td><td></td></tr><tr><td>Shipley 351 顕像液</td><td>試薬</td><td>MicroChem Corp.</td><td></td><td></td></tr><tr><td>金エッチング液</td><td>試薬</td><td>Transene Company, Inc.</td><td>TFAを添加する</td><td></td></tr><tr><td>クロムフォトマスクエッチング液</td><td>試薬</td><td>Cyantek Corporation</td><td>CR-7S</td><td></td></tr><tr><td>NR-7 1500 PY ネガティブレジスト</td><td>試薬</td><td>Futurrex</td><td></td><td></td></tr><tr><td>RD6 現像液</td><td>試薬</td><td>Futurrex</td><td></td><td></td></tr></tbody></table>

マイクロ電極の構造によって生成されたac動電現象

AC Electrokinetic Phenomena Generated by Microelectrode Structures

AC動電学の分野は​​急速にミクロとラボオンチップアプリケーションに不可欠なナノスケール、上に動的な流体と粒子​​の操作を実行することができるため、成長しています。 AC動電現象は、その液体または懸濁粒子に作用する（誘電体または生物学的な材料で作られたものも含めて）力を生成し、それらの方法1、2を驚くべきに移動させるために電界を使用してください。シングルチャンネル内で、AC動電学はこのようなアクティブなマイクロ混合、粒子分離、粒子の位置とマイクロパターニングなどの多くの本質的なオンチップの操作を行うことができます。単一のデバイスは、単純に印加電圧の周波数や振幅などの動作パラメータを調整することによって、それらの操作のいくつかを達成することができる。適切な電界が容易にマイクロチャネルに統合された微小電極を作成することができます。それはAC動電学の可能性が高い医療診断3-5、環境モニタリング6、国土安全保障7日に大きな影響を持っていることを、この分野で驚異的な成長から明らかである。 一般的には、動作パラメータに一意の依存関係を持つ3つのAC動電現象（AC電気浸透、誘電泳動とAC電熱効果）それぞれがあります。これらの動作パラメータの変化は、このように、粒子または流体の挙動を変える、別の支配的になる一つの現象を引き起こす可能性があります。 それはAC動電学の根底にある複雑な物理学のために、粒子と流体の挙動を予測することは困難である。それは物理学を説明し、粒子と流体の挙動を解明するために本書の目標です。我々の分析はまた、それらを生成する電極構造を作製する方法を説明し、いくつかの一般的なデバイスのデザインを使用して実験観察の広い数を解釈する方法。このビデオの記事では、科学者やエンジニアは、これらの現象を理解する助けとなると、彼らの研​​究ではAC動電学を使い始めることをお勧めすることがあります。

マイクロナノスケールは、より現実のようになっている可能にした技術で流体と懸濁粒子を操作すると、AC動電学のように、開発を進めています。ここで、我々は、これらのデバイスを作製する方法および実験観察を解釈する方法、AC動電学の背後にある物理学を議論する。

マイクロ電極の構造によって生成されたAC動電現象

AC電気動力学の分野は、マイクロおよびナノスケールで流体や粒子の動的な操作が可能であることから、急速に発展しています。

ここ数年、ラボ・オン・チップのコミュニティでは、AC電気動力学（AC Electrokinetics）として知られる刺激的な技術が取り入れられています。一連の現象を用いることで、ミクロンからナノメートルスケールの粒子や流体を、迅速かつ多用途な波として操作することができ、多くのバイオチップへの応用において不可欠なものとなりつつあります。このビデオでは、自身の研究にこれらの現象を活用したいと考えている他の科学者や技術者の役に立つよう、AC電気動力学の基礎について詳細に解説します。こんにちは。私はロバート・ハートです。ドレクセル大学の生物医学工学科学・ヘルスシステム学科の博士課程に在籍しています。このビデオでは、まずAC電場動力学の背後にある物理学的原理について簡潔に説明します。次に、デバイスの作製について詳しく解説し、最後にAC電場動力学のビデオ映像とともに、そこで何が起きているのかを説明します。説明する3つの力の最初の1つは、誘電泳動として知られています。ここでは、浸漬された2つの電極間に生成された電界を示しています。この電界に誘電体粒子を置くと、粒子は分極します。見ての通り、粒子の電荷は液体内の電荷によって相殺されています。粒子が液体よりも分極しやすいか、あるいは分極しにくいかは、一様な電場における古典的なMoSo係数によって決定できます。粒子には既知の正味の力が作用します。しかし、ここに示されているような不均一電界においては、分極率の高い粒子は正の誘電泳動を受けるため、電界強度の高い領域へと移動します。周波数を変更して分極性を切り替えると、負の誘電泳動として知られる逆の効果が生じ、粒子は電界強度の高い領域から遠ざかります。2つ目の力はAC電気浸透流であり、AC電気浸透流の根幹には、電位による電気二重層の形成があります。表面において、この領域は、表面に強固に結合して移動できないイオンからなるシュテルン層と、結合してはいるものの側方向への移動が可能なイオンを含む拡散層に分かれています。電極の端付近にあるイオンの一つを調べると、電場から冷却力を受けていることがわかります。力のY成分は、表面に電荷が存在することで相殺されます。したがって、イオンは電極の中心に向かう正味の側方力を受けます。電極の両側にあるイオンは電極の中心に向かって移動し、流体を一緒に引きずるのに十分な数のイオンが集まります。これら2つの流れが合流することで、中心部の流体が上方へ移動し、回転流パターンが現れます。電位を切り替えても、対イオンも同時に切り替わるため、流体パターンの方向に影響はありません。3つ目の最後の現象は、AC水熱効果です。液体に電場を印加すると、JUUL加熱によって温度勾配が生じます。シミュレーションに示されているように、水の電気的特性が変化します。その結果、これらの電気的特性の摂動が電場と相互作用し、体積力が生じます。結果として生じるAC電気浸透のような運動は、その起源が異なるにもかかわらず、本質的に回転性です。完全を期すためにAC熱水効果について簡潔に言及しましたが、熱水効果の影響はわずかです。我々の実験の動作条件下において、3つの力のそれぞれに背後にある数学的原理に基づき、有限要素数値シミュレーションを作成しました。これにより、チャネル内の各位置で2 µmのポリスチレン粒子に作用する全合力が示されます。実行した有限要素シミュレーションでは、電極の2次元断面を取り、そのうちの1つにのみ焦点を当てています。最初のシミュレーションでは、低導電率培地を用いて、低周波数の100 hertzから1 megahertzまで変化させます。回転力のパターンからわかるように、AC電気浸透が支配的となります。さらに周波数を上げると、各電極のコーナーに向かう吸引力によって示されるように、正の誘電泳動が支配的になります。周波数がしきい値を超えて増加すると、正のDEPが負のDEPによる影響を受け、粒子はある一定の高さまで反発し、そこで重力と均衡します。次に、高導電率条件下で同様の周波数走査を行います。高導電率では、一般にAC電気浸透力は低導電率のときよりも弱くなり、ピーク速度はより高い周波数で現れます。また、導電率が高すぎるため、正のDEPは発生しないことに注意してください。導電率と電圧が高くなると、AC電気浸透流から直接、負のDEPへと移行します。これにより、電気皮膚効果がより明確に示されます。このセクションでは、デバイスの作製と組み立てについて説明します。デバイス本体は、基板上にパターン形成された金電極で構成されています。本手法では、基板にガラスを使用します。これを実現するためのウェットエッチング法を紹介しますが、一般的によく知られているリフトオフ法も日常的に使用されており、後ほど紹介します。使用する4つのデザインは、平行インターディジテート型、平行キャステレーション型、ポテンシャルウェル型、およびクアドラプル型です。プロセスの概要は以下の通りです。まず、ガラス基板上にクロムと金の層を堆積させます。次に、基板にフォトレジストを塗布し、UVコンタクト露光を用いて、マスクから基板へ電極パターンを転写します。現像後、クロムと金をエッチングして除去し、フォトレジストを剥離します。良好な密着性を得るためには、ガラススライドを非常に清潔な状態にする必要があります。これは通常、硫酸と過酸化水素からなる加熱ピラニア溶液を用いて行われます。この危険な組み合わせを扱う際は、細心の注意を払う必要があります。洗浄後、基板を乾燥させ、金属蒸着の準備をします。この工程は電子ビーム蒸着装置で行います。ガラススライドを、蒸着条件に耐えるよう特別に設計されたテープ付きのサンプルホルダーにセットします。次に、サンプルを装置にロードし、真空排気を行います。この工程は、2分間の短いクロム蒸着と30分間の金蒸着で構成され、それぞれ約20 nmおよび200 nmの厚さで堆積させます。サンプルを取り出すと、金表面がはっきりと見えます。フォトリソグラフィーは、スピンコーターを用いてフォトレジストを塗布することから始まります。装置内のチャックに固定した基板上に、ピペットでフォトレジストを滴下します。ガラスを特定の速度で回転させることで、余分なフォトレジストの大部分が除去され、均一なフォトレジスト層が形成されます。続いて、100 °Cで2分間のソフトベークを行います。これによりフォトレジストが硬化し、UV露光への準備が整います。次に、フォトマスクを基板に密着させ、約8秒間UV光を照射します。これにより、パターンがフォトレジストに転写されます。現像ステップでは、光に曝露されたフォトレジストのすべての領域が除去されます。この工程でフォトリソグラフィ段階が完了し、金およびクロムのエッチング準備が整います。現像工程で露出した基板上の領域は、これでエッチング可能な状態になります。フォトレジストが表面のその他の部分を効果的に保護しますが、他のすべての工程と同様に、エッチング時間は慎重に制御する必要があります。ここでは、基板を遮光下でヨウ素ベースの金エッチング液に浸漬させる様子を示しています。水で洗浄した後、クロムエッチングによってクロムを除去します。ガラスが再び透明になる変化に注目してください。クロムの除去後、エッチング済み基板と未エッチング基板を比較して、その結果を確認します。顕微鏡下で迅速に検査し、プロセスの成否を確認します。ここでは、電気的接続が完了し、作製に成功したデバイスを確認できます。その隣には、チューブ接続がなされたPDMSチャネルがあります。PDMSチャネルをデバイス上に配置すると、ガラスとの間に非常に効果的なシールが形成され、チャネル内を液体が流れるようになります。この操作はピンセットを用いて慎重に行います。指紋やほこりは良好な接着を妨げる可能性があるため、確実な貼り付けを行うためにピンセットの反対側を使用することがあります。充填。シリンジを一方に取り付け、もう一方をポリスチレンマイクロスフェア懸濁液に浸し、緩やかに吸引することでチャネルを作成します。顕微鏡下に設置して焦点を合わせた後、ファンクションジェネレータに電気的に接続します。サンプルを充填し、接続を完了させることで、デバイスは実験準備が整ったことになります。これから提示するすべての実験動画では、2 µmのポリスチレン微小球の水性懸濁液をチャネルに注入し、電極に信号を印加しています。初期状態では、粒子はランダムに分布し、ブラウン運動を示します。信号が印加されると、粒子は速やかに電極の中心に整列します。AC電場を使用しているため、KIC力は作用していないことに留意してください。この興味深い挙動は、生成される流体パターンおよび誘電泳動による引力によるものです。周波数を上げると、粒子は電極の幅に沿って広がり始めます。56 kHzでAC電気浸透流の速度が低下し、誘電泳動が支配的になると、粒子は電極の端へと移動します。AC電気浸透力は消失し、正の誘電泳動が優勢になります。この図に示すように、この挙動は100 kHzでも継続し、粒子は電極の端にしっかりと固定されます。周波数をさらに250 kHzまで上げると、粒子がギャップ間に沿って配列し始め、いわゆるパールチェーン挙動が生じます。500 kHzでは、粒子間相互作用により粒子が電極端から反発されます。これは、周波数の上昇に伴い正から負に変化するクラウジウス-モソッティ（Clausius-Mossotti）係数によって説明でき、1 MHzでは正の誘電泳動から負の誘電泳動への移行が起こります。負の誘電泳動が最大値付近に達し、粒子は電極の上方に浮遊します。導電率の増加により、CM因子の重要な変化が生じます。ご覧の通り、正のDEP（誘電泳動）が見られなくなり、粒子の挙動が劇的に変化します。同じ周波数範囲を掃引する際にこの点に留意してください。1 kHzの信号を印加すると、粒子は電極端に沿って平面外を周回します。顕微鏡による上面図では、このアニメーションで示されているように、粒子の横方向の動きのみが見えます。粒子が前後に移動しているように見えるこの視点では、側面から見たときの粒子の真の動きが隠れています。粒子の運動の真の性質は、より容易に観察することが可能です。実際には、粒子は軌道運動を行っています。粒子が中心に捉われず軌道上にある理由は、DEP成分が反転しているためと考えられています。周波数がさらに上昇すると、粒子は同じ軌道運動を維持したまま凝集し始めます。この凝集は、粒子間の相互作用によるものです。この相互作用の起源は、粒子自体によって引き起こされるわずかな電界の歪みによるものと考えられています。粒子周辺の歪みがDEP力を生じさせ、これにより近接する粒子が引き寄せられます。さらに周波数を上げていくと、約250 kilohertzで劇的な変化が起こります。粒子は大部分が軌道運動を停止し、粒子間相互作用の別の現れであるプロチェンジを形成します。最終的に、周波数がさらに高くなると、1 MHzの時点で、負のDEPによる反発力が粒子を上方に押し上げ、顕微鏡の焦点面から外へ追い出します。次に、低導電率で動作するキャスト電極タイプについて説明します。この電極設計は、インターディジテーション構造である点は前述のタイプと同様ですが、直線状のフィンガー部分がより複雑な形状に置き換えられています。1 kHzにおいて、粒子の捕捉は交差部分の中心で起こり、急速にダイヤモンド形状を形成します。周波数が上昇するにつれて、収集された粒子に同様の分散が見られます。AC電気浸透流が減衰し、DEPが支配的になると、以前と同様に 56 kHz で粒子が電極端へゆっくりと移動します。興味深いことに、ほとんどすべての粒子が片側に移動しており、これはある種の静水圧によるものである可能性があります。それらはより速く移動します。100 kHzでは、CEOはほぼ完全に消失しています。250 kHzになると、粒子が鎖状に形成され始めます。周波数を500 kHzに移行させることで生じる負のDEPにより、粒子は電極端から遠ざけられます。さらに周波数を1 MHzまで上げると、負の誘電泳動による反発力がさらに強まり、粒子が焦点面から上方に移動します。次に、高導電性で動作するキャステレーション電極について説明します。この電極タイプで生成される回転パターンは、内側の電極コーナーで最も顕著に現れ、最終的に粒子はこの場所に集積します。この電導度では正の誘電泳動が起こらないため、先に見たダイヤモンド形状のチョッピング挙動はここでは現れません。周波数が高くなるにつれて、流速は緩やかに減少します。AC電気浸透力は56 kHzで減衰するため、動きは非常に緩やかになり、100 kHzでは粒子が集積してパールチェーンを形成し始める箇所が現れます。パールチェーンは非常に明瞭に観察されます。周波数を徐々に上げていくと、粒子の凝集塊が合体し、各コーナーでX字型を形成します。最終的に、1 MHzでは、プロテイン鎖は負のDEPに打ち勝たれ、粒子は表面から反発されます。ここに示すクアドラプル設計は、電極パターンの中心に電界強度の低い領域を作り出し、負の誘電泳動を利用して粒子を集中させるように設計されています。電極に10 Vを印加すると、劇的な粒子の集束が確認できます。粒子の平衡状態での様子を確認するため、時間を少し早めて進めます。電圧を1 Vまで下げると、集束領域が広がり始めるのがわかります。誘電泳動がブラウン運動に負けると、再び電圧を上げることで粒子が中心に向かって戻っていきます。四重極パターンと同様に、ポテンシャルウェルは粒子を捕捉するために電界強度の低い領域を形成します。電極はインターデジタル構造であるため、これまでに見てきた他の現象もここで観察することができます。信号を印加すると、CEOおよびDEPによって粒子が急速に捕捉されるのがわかります。しかし、より興味深い現象は、中空の正方形内で起こっています。一定時間が経過すると、ここでは負のダイエレクトロフォレシスによって粒子が収集されます。また、ポテンシャルウェルの両側には、三角形の形状で粒子が収集されているのが確認できます。これまで、AC電気動力学の背後にある多くの興味深い物理学、これらのデバイスの作製方法、および数値シミュレーションと基礎物理学に基づいた実験結果の解釈方法について説明しました。粒子の移動を扱うこれらの現象は、視覚的な補助なしに理解することは非常に困難です。AC電気動力学現象は、多くの研究分野で利用することが可能です。例えば、バイオセンサへの応用を目的とした粒子の回収、サンプル処理のためのサイズや形状などの異なる特性を持つ粒子の分離、およびアッセイ改善のための能動的混合などが挙げられます。このビデオが、ラボオンチップコミュニティにおいて最も重要で成長している分野の一つである、交流電場駆動デバイス（AC electric kinetic devices）の利用および作製に取り組む科学者やエンジニアの方々の役に立つことを願っています。以上となります。ご視聴ありがとうございました。皆様の実験の成功をお祈りいたします。

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Research

JoVE Journal

Biology

生物学

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電気を使用してニューロンと1次元と2次元培養における磁場の外部励起

イオン輸送経路の整流は、一方向イオン...

電解質水溶液中に流れる電気流体力学の発生と制御

このプロトコルを目指す活動電位神経文化伝達を研究するためのマイクロ流体デバイスと体外電極アレイを結合する方法を示します。データ分析、すなわち検出と、活動電位伝搬の特性は新しい高度なを使用して実行されるまだユーザーフレンドリーおよび自由に利用できる計算ツール。...

神経細胞のコミュニケーションと軸索の信号伝搬特性を研究するためマイクロ電極アレイとのインタ フェース

本論文では、電界(EF)に曝露された繊維状導電材料の有限元素モデルを構築するための戦略を示す。モデルは、そのような材料に播種された細胞が受け取る電気入力を推定し、足場の構成材料特性、構造または向きを変更した場合の影響を評価するために使用することができる。...

細胞電微小環境の有限元素モデリング

遺伝子改変Tet-OnスパイキングHEK細胞におけるエレクトロポレーション誘発性活動電位生成の変化のモニタリング

ここでは、上皮組織恒常性の電気機械的調節を研究するために、独自の2層マイクロ流体デバイスを製造するためのプロトコルを提示します。この装置は、組織面に垂直な静的な生理学的電流を印加し、細胞間の接着、増殖、および押し出しに影響を与えます。生細胞イメージングと機械的ストレス測定により、これらのプロセスのメカニズムが明らかになります。...

2層マイクロ流体デバイスを用いた組織恒常性の電気機械制御の解明

学ぶAC動電現象の物理原理とデバイス製造法。微細電極構造を用いた粒子・流体のマイクロナノスケール操作技術を解説し、バイオチップ応用への活用方法を紹介します。

マイクロ電極の構造によって生成されたAC動電現象

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