I Dybde Analyser av lysdioder ved en kombinasjon av X-ray computertomografi (CT) og lysmikroskopi (LM) korrelert med Scanning elektronmikroskopi (SEM)

En arbeidsflyt for omfattende mikro karakterisering av aktive optiske enheter er skissert. Den inneholder strukturelle så vel som funksjonelle undersøkelser ved hjelp av CT, LM og SEM. Metoden er demonstrert for en hvit LED som kan fortsatt være i drift under karakterisering.