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Chemistry

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JoVE Journal Chemistry
Croissance épitaxiale de perovskite Strontium Titanate sur Germanium via Atomic Layer Deposition
Total Internal Reflection Absorption Spectroscopy (TIRAS) for the Detection of Solvated Electrons at a Plasma-liquid Interface
Journal (Chemistry)
Total Internal Reflection Absorption Spectroscopy (TIRAS) for the Detection of Solvated Electrons at a Plasma-liquid Interface
Direct Comparison of Hyperspectral Stimulated Raman Scattering and Coherent Anti-Stokes Raman Scattering Microscopy for Chemical Imaging
Journal (Chemistry)
Direct Comparison of Hyperspectral Stimulated Raman Scattering and Coherent Anti-Stokes Raman Scattering Microscopy for Chemical Imaging
 
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Croissance épitaxiale de perovskite Strontium Titanate sur Germanium via Atomic Layer Deposition

Article DOI: 10.3791/54268-v • 09:45 min • July 26th, 2016
July 26th, 2016 •
1, 1, 1, 1
1McKetta Department of Chemical Engineering, The University of Texas at Austin

챕터

요약
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Ce travail détaille les procédures pour la croissance et la caractérisation de SrTiO cristalline 3 directement sur ​​des substrats de germanium par dépôt de couches atomiques. La procédure illustre la capacité d'un procédé de croissance de tous les produits chimiques pour intégrer monolithiquement sur des oxydes semi-conducteurs pour des dispositifs à semiconducteurs métal-oxyde.

Tags

Chimie numéro 113 dépôt de couche atomique perovskite le titanate de strontium SrTiO Le germanium l'épitaxie l'oxyde cristallin
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