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クライオ集束イオンビームフライス加工と走査型電子顕微鏡・分光法の結合による液体-固体界面のナノスケール特性評価
 
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クライオ集束イオンビームフライス加工と走査型電子顕微鏡・分光法の結合による液体-固体界面のナノスケール特性評価

Article DOI: 10.3791/61955-v 11:03 min July 14th, 2022
July 14th, 2022

챕터

요약

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極低温集束イオンビーム(FIB)および走査型電子顕微鏡(SEM)技術は、無傷の固液界面の化学的性質および形態に関する重要な洞察を提供することができる。このような界面の高品質のエネルギー分散型X線(EDX)分光マップを調製するための方法は、エネルギー貯蔵デバイスに焦点を当てて詳述されている。

Tags

工学 極低温FIB 極低温SEM エネルギー分散型X線分光法 固液界面 エネルギー貯蔵デバイス
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