二氧化钒原子层沉积与温度依赖性光学模型

这些实验的总体目标是通过原子层沉积创建高质量的二氧化钒薄膜，并通过金属-绝缘体转变表征光学特性，以生成将二氧化钒描述为可调折射率材料的模型。该方法可以帮助回答原子层沉积和相变材料领域的关键问题，例如促进过渡金属氧化物的不同化学计量的方法。该技术的主要优点是它能够制造异构集成相变材料，这些材料在大面积上具有高度保形且成分和厚度均匀。

通常，刚接触这种方法的人会很挣扎，因为确定每个步骤的狭窄实验参数空间是获得正确薄膜特性的关键。首先，在 40 摄氏度的丙酮中对双面抛光的 c 型蓝宝石衬底进行超声处理 5 分钟。将底物转移到加热至 40 摄氏度的异丙醇中，再超声处理 5 分钟。

用流动的去离子水冲洗底物 2 分钟，然后用氮气流干燥底物。将干净、干燥的衬底储存在晶圆容器中。接下来，确认原子层沉积反应器室处于 150 摄氏度。

用超高纯度氮气对反应器进行排气。反应器准备好后，将底物装入反应器中，关闭反应器，然后将反应器抽真空至 17 帕斯卡或 0.128 托以下。等待至少 300 秒，让基材达到 150 摄氏度。

然后，开始以 20 sccm 的速度将 UHP 氮气流入腔室，确保基本压力不超过 36 帕斯卡或 0.270 托。臭氧脉冲 15 个饱和周期，其中每个周期是一个 0.5 秒的脉冲，然后是 15 秒的吹扫。然后，要生长无定形二氧化钒，脉冲 TEMAV 0.03 秒，吹扫 30 秒，脉冲臭氧 0.075 秒，吹扫 30 秒。

重复脉冲和吹扫循环，直到薄膜达到所需的厚度。然后用 UHP 氮气对反应室进行排气。将样品从反应器转移到金属平面上冷却。

关闭并抽空反应器。确保样品架位于超高真空退火室的负载锁中。通风并打开负载锁。

将二氧化钒薄膜样品放在滑板上并关闭负载锁。使用粗抽泵将负载锁定压力降低到约 0.1 帕斯卡。切换到涡轮分子泵，将负载锁定压力降低到小于 10 到负 4 帕斯卡。

打开闸阀，将滑板转移到退火室。将退火室抽真空至 10 以下至负 5 帕斯卡，然后以 1.5 sccm 的速度将 UHP 氧气流入退火室。以每分钟 560 摄氏度的速度将雪橇加热到 20 摄氏度。

将样品在 560 摄氏度下放置 1 到 3 小时，具体取决于薄膜厚度。然后关闭加热器，将滑架移回负载锁以淬灭样品。将样品置于氧气环境中过夜或直到样品温度低于 150 摄氏度。

然后关闭氧气流并关闭闸阀。用 UHP 氮气对负载锁进行排气。一旦样品温度低于 50 摄氏度，将样品从负载锁转移到金属板上以冷却至室温。

完成后关闭负载锁并抽空。将二氧化钒薄膜样品放在具有 532 纳米激光激发源的拉曼显微镜的样品台上。将显微镜聚焦在样品上。

在仪器软件中，将激光功率设置为 4 毫瓦，曝光时间为 0.125 秒，扫描次数为 10 次，预览大小为 40 微米。单击 Live Spectrum 以观察频谱。优化显微镜聚焦、激光功率、曝光时间和扫描次数，以实现最大信噪比。

获得最佳图像时保存光谱。评估峰以确定薄膜的结晶度、相位和应变。将二氧化钒薄膜样品装入 XPS 样品架中，并放空仪器装载锁。

将样品架插入负载锁中，将负载锁抽至以下 4 倍 10 至负 5 帕斯卡或三乘以 10 至负 7 托。将样品架转移到主腔室中，验证压力是否低于负 6 帕斯卡的 7 乘以 10 或负 8 托的压力低于 5.25 乘以 10。创建或加载实验序列。

以 400 微米的光斑大小启动 X 射线枪，然后打开泛洪枪。定义测量点和碳、氮、钒和氧的高分辨率扫描点。将 survey scan pass 能量和扫描次数分别设置为 200 电子伏特和 2。

将高分辨率扫描通道能量和扫描次数分别设置为 20 电子伏特和 15 电子伏特。将点测量十字准线放置在样品上的所需位置。然后运行实验。

数据收集完成后，使用调查 ID 工具识别和分析胶片中的元素。评估高分辨率扫描中的峰位置和积分强度，以分析薄膜的键合和化学计量。完成后按标准程序卸载样品。

将二氧化钒薄膜样品加载到设置为轻敲模式的 AFM 中，然后将样品移动到 AFM 的扫描头下方。选择 Tip Reflection 并将扫描头降低到样品表面，直到表面尖端的反射聚焦。然后单击 Sample 按钮，将焦点更改为样本。

关闭 AFM 引擎盖并检查实验参数。确保扫描尺寸设置为小于 1 微米，扫描速度为 3.92 赫兹，并且每行的样本数设置为 512。启用参数并等待 20 秒。

然后将扫描大小设置为三微米，根据需要调整驱动振幅、振幅设定点以及积分和比例增益，以优化 AFM 图像。图像达到所需质量后，单击 Frame Down 在帧顶部重新开始扫描，然后单击 Capture 以捕获新图像。扫描完成后，取出样品头。

在分析软件中打开 AFM 图像，评估形态、表面粗糙度、深度直方图和平均晶粒尺寸。然后按照标准程序卸载样品。沉积态非晶态二氧化钒薄膜的 XPS 表明，表面主要由氧化钒组成，而本体是预期的氧化钒形式。

在低压氧气环境中对无定形薄膜进行退火导致表面稳定为二氧化钒。整体 0-2-0 方向与蓝宝石衬底的峰值对齐。通过拉曼光谱观察到窄峰，表明结晶质量高。

生长态和退火二氧化钒之间的峰值能量差异表明在结晶丝中引入了拉伸应变。AFM 显示，生长和退火薄膜的晶体晶粒尺寸都在 20 到 40 纳米左右。均方根粗糙度从生长膜的 1.4 纳米略微增加到退火膜的 2.6 纳米。

收集的透射率和反射率数据以及从绝缘和金属相中的氧化钒计算的吸收率数据用于设计一个振荡器模型，用于设计与温度和波长相关的氧化钒介电常数和折射率的振荡器模型。优化后的模型准确预测了氧化钒从绝缘体转变为金属时的光学行为。开发后，这些技术为薄膜生长领域的研究人员探索制造具有可调折射率的光学器件铺平了道路。