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Empfindlichkeitssteigerung von weich-kapazitiven Drucksensoren unter Verwendung einer lösungsmittelbasierten Porositätskontrolltechnik
Optimized Sealing Process and Real-Time Monitoring of Glass-to-Metal Seal Structures
Journal (Engineering)
Optimized Sealing Process and Real-Time Monitoring of Glass-to-Metal Seal Structures
Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices
Journal (Engineering)
Design and Development of a Three-Dimensionally Printed Microscope Mask Alignment Adapter for the Fabrication of Multilayer Microfluidic Devices
 
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Empfindlichkeitssteigerung von weich-kapazitiven Drucksensoren unter Verwendung einer lösungsmittelbasierten Porositätskontrolltechnik

Article DOI: 10.3791/65143-v • 10:28 min • March 24th, 2023
March 24th, 2023 •
1, 1, 1, 1, 1
1State Key Laboratory of Industrial Control Technology, College of Control Science and Engineering, Zhejiang University

章节

总结概括
Automatic Translation

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Es wird eine einfache und kostengünstige Herstellungsmethode vorgestellt, die auf der Lösungsmittelverdampfungstechnik basiert, um die Leistung eines weich-kapazitiven Drucksensors zu optimieren, was durch Porositätskontrolle in der dielektrischen Schicht unter Verwendung verschiedener Massenverhältnisse der PDMS/Toluol-Lösung ermöglicht wird.

Tags

Engineering Ausgabe 193 Weicher kapazitiver Drucksensor Lösungsmittelverdampfung Porositätskontrolle Mikrostrukturen elastische Leiter
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