포토 리소그래피 정의 파릴 렌-C에 대한 세포 패터닝 : 그런가 ₂ 기판

이 절차의 전반적인 목표는 파라린의 사전 정의된 기본 설계에 따라 이산화규소 서비스에서 셀을 패턴화하는 것입니다. 이것은 먼저 원하는 패턴의 포토 마스크를 만들어 수행됩니다. 두 번째 단계는 실리콘 웨이퍼를 산화시킨 다음 파라린으로 코팅하는 것입니다.

다음으로, 마이크로일렉트로닉스 클린룸 시설에서 수행되는 포토리소그래피 공정은 파라라인 코팅을 선택적으로 에칭하여 원하는 설계를 드러내는 데 사용됩니다. 마지막 단계는 첫 번째 피라냐산을 사용하여 칩을 활성화한 다음 3시간에서 12시간 동안 태아 송아지 혈청에서 배양한 후 세포 현탁액을 배양에 적용할 수 있습니다. 궁극적으로 세포 패터닝은 해부 현미경을 사용한 살아있는 세포 이미징 또는 컨포칼 형광 현미경을 사용한 고정 후 평가할 수 있습니다.

기존의 여러 세포 패터닝 플랫폼에 비해 이 기술의 주요 장점은 생물학적 제제를 클린룸으로 가져올 필요가 없다는 것입니다. 또한 패턴 칩은 첫 번째 액산과 혈청으로 활성화될 때까지 무기한 보관할 수 있습니다. 원하는 파라라인 C 구성을 설계하려면 CIF 또는 GDS 두 파일을 읽고 쓸 수 있는 레이아웃 편집기 소프트웨어 패키지를 사용합니다.

포토 마스크 제조업체를 적절한 마이크로 일렉트로닉스 시설에 아웃소싱하거나 사내에서 제작합니다. 시설이 존재하는 경우 섭씨 950도의 대기압 수평로에서 실리콘 웨이퍼를 40분 동안 산화시켜 200나노미터의 이산화규소 층을 생성합니다. 그 후, 작은 반점으로 두께를 확인하십시오.

분광 반사계. 진공 증착 시스템에 웨이퍼를 놓고 챔버 뚜껑 내부에 사인 접착 촉진제를 도포합니다. 펌프 다운 사이클 동안, 사인 접착 프로모터는 진공 증착 시스템을 사용하여 이량체 밀리그램당 1.3나노미터의 속도로 주변 온도에서 산화된 웨이퍼 하중 파라린을 용광로 증착 파라린 C로 코팅합니다.

그 후, 파라린 코팅된 웨이퍼에 HMDS 접착 촉진제를 증착합니다. 적당한 감광액 코팅 체계를 사용하여, 4, 30 초 동안 000 분당 회전수에 있는 웨이퍼를 회전시키는 동안 긍정적인 감광 저항을 적용하고 있는 동안은 1개의 미크론의 간격을 얻기 위하여 포토 레지스트 코팅 체계를 통제하고, 그 후에 90 섭씨 온도에 60 초 동안 웨이퍼를 연약한 굽기. 이제 웨이퍼와 사전 제조된 포토 마스크를 모두 마스크 얼라이너에 삽입합니다.

원하는 패턴을 포토레지스트로 전달하기 위해 포토레지스트 코팅된 웨이퍼를 UV 광으로 노출시킵니다. 그런 다음 노출된 웨이퍼를 섭씨 110도에서 60초 동안 굽습니다. 그런 다음 산소 플라즈마 식각 시스템을 사용하여 보호되지 않은 파라린인 Hoff의 적절한 현상액 용액에서 웨이퍼에서 노출된 모든 포토레지스트를 제거하여 아래에 있는 이산화규소를 드러냅니다.

그런 다음 깍둑썰기한 후 필요할 때까지 먼지가 없는 상자에 칩을 보관하십시오. 이 절차에서는 아세톤을 10초 동안 세척하여 칩에 남아 있는 포토레지스트를 제거합니다. 그런 다음 탈이온화 증류 H2O로 세 번 헹구고, 나중에 산성 흄 후드에서 신선한 피라냐 산을 만들고, 피아나 산에 10분 동안 담가 칩을 청소하고 에칭합니다.

그런 다음 칩을 탈이온화된 H2O로 세 번 헹구고 층류 조직 배양 후드의 멸균 배양 접시로 옮깁니다. 웰당 2개의 칩을 6개의 웰 플레이트에 배치하여 세포 패터닝을 위한 칩을 활성화합니다. 다음으로, 모든 칩이 완전히 잠길 수 있도록 2ml의 소 태아 혈청을 추가합니다.

칩을 세럼에 넣어 섭씨 37도에서 3시간에서 12시간 동안 배양합니다. 이제 활성화 용액에서 칩을 제거하십시오. Hank's balanced salt solution에 10초 동안 한 번 씻습니다.

그런 다음 칩을 배양 웰에 넣고 선택한 세포 유형을 일반적인 성장 배지의 현탁액으로 플레이트에 넣습니다. 최적의 셀 도금 밀도는 셀 유형과 파라린 C 온 칩의 기하학적 패턴에 따라 달라집니다. 밀리리터당 네 번째 셀에 대해 5 곱하기 10의 밀도는 합리적인 시작점입니다.

이미징은 세포 패터닝의 근본적인 동기에 맞게 조정되지만, 해부 현미경과 적절한 릴레이 렌즈가 있는 디지털 카메라를 사용하여 살아있는 세포의 거동을 쉽게 평가할 수 있습니다. 다음은 3일 후 파라린 C 이산화규소에서 배양된 HEC 2 93 세포의 라이브 셀 이미징입니다. 시험관내에서, 선박을 소 태아 혈청에서 3시간 동안 배양하고, 세포를 10의 5배에서 밀리리터당 4번째 세포의 농도로 현탁액으로 플레이팅했습니다.

Paraline C는 세포 부착을 촉진하고 이산화규소는 세포를 밀어냅니다. 이 그림은 이산화규소 상의 다양한 패턴의 파라린 C에서 성장한 원발성 인간 신경교종 유래 줄기 유사 세포의 면역형광 이미지를 보여줍니다. 여기서 개략도는 망상 파라린 설계, 신경교섬유산성 단백질로 염색된 고정 세포의 형광 현미경 사진, 동일한 칩에 있는 살아있는 세포의 광 현미경 사진을 보여줍니다.

다음은 다른 파라라인 디자인에서 GFAP 염색 세포를 보여주는 형광 이미지와 스포크 파라라인 디자인에서 노드의 반사율 이미지입니다. 그리고 이 그림은 파라린 C, 이산화규소에서 배양된 3개의 T, 3개의 L, 1개의 세포의 라이브 셀 이미징을 보여줍니다. 시험관에서 4일 후, 칩은 소 태아 혈청에서 3시간 동안 활성화되었고, 세포는 밀리리터당 네 번째 세포의 5배 10의 농도로 현탁액으로 플레이팅되었습니다.

이 경우, 플랫폼은 Lene C 및 이산화규소 영역에서 동일하게 합류하는 세포로 패터닝을 가능하게 하지 않습니다. 이 프로토콜을 수행할 때 피라냐 치료 직후에 혈청 활성화가 이루어져야 한다는 점을 기억하는 것이 중요합니다. 이렇게 하지 않으면 패터닝 프로세스가 손상됩니다.

피라냐 산을 다루는 것은 매우 위험할 수 있다는 것을 잊지 말자. 화학 연기 후드에 피라냐 산을 준비하고 사용하고 적절한 고글, 실험실 가운 및 장갑을 착용하십시오.