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Chemistry

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JoVE Journal Chemistry
Reconstrucción 3D del perfil de profundidad de las impurezas segregadas mediante espectrometría de masas de iones secundarios
Synthesis and Characterization of Supramolecular Colloids
Journal (Chemistry)
Synthesis and Characterization of Supramolecular Colloids
Raman and IR Spectroelectrochemical Methods as Tools to Analyze Conjugated Organic Compounds
Journal (Chemistry)
Raman and IR Spectroelectrochemical Methods as Tools to Analyze Conjugated Organic Compounds
 
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Reconstrucción 3D del perfil de profundidad de las impurezas segregadas mediante espectrometría de masas de iones secundarios

Article DOI: 10.3791/61065-v • 07:10 min • April 29th, 2020
April 29th, 2020 •
1, 1, 1, 1, 1
1Łukasiewicz Research Network-Institute of Electronic Materials Technology

챕터

요약
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El método presentado describe cómo identificar y resolver artefactos de medición relacionados con la espectrometría de masas de iones secundarios, así como obtener distribuciones 3D realistas de impurezas/dopantes en materiales de estado sólido.

Tags

Reconstrucción de perfil de profundidad 3D Impurezas segregadas Espectrometría de masas de iones secundarios SIMS Límites de detección Resolución espacial Distribuciones 3D realistas Artefactos de medición Corrección de campo plano Contribución de fondo de vacío Intervalo de tiempo estable Fuente de iones primarios Grabado químico húmedo Posición de dislocación Microscopía electrónica de barrido (SEM) Impurezas aglomeradas Posición de defectos Etapa de preparación de muestras
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