Reconstruction 3D du profil de profondeur des impuretés ségréguées à l’aide de la spectrométrie de masse d’ions secondaires
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April 29, 2020
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La méthode présentée décrit comment identifier et résoudre les artefacts de mesure liés à la spectrométrie de masse d’ions secondaires ainsi que d’obtenir des distributions 3D réalistes d’impuretés/dopants dans les matériaux à l’état solide.
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Michałowski, P. P., Zlotnik, S., Jóźwik, I., Chamryga, A., Rudziński, M. 3D Depth Profile Reconstruction of Segregated Impurities Using Secondary Ion Mass Spectrometry. J. Vis. Exp. (158), e61065, doi:10.3791/61065 (2020).
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