Waiting
Login processing...

Trial ends in Request Full Access Tell Your Colleague About Jove
Journal / Engineering / Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to… / Instrumentkalibratie, experimentele opstelling en …
JoVE Journal
Engineering

A subscription to JoVE is required to view this content. Sign in or start your free trial.

JoVE Journal Engineering
Instrumentkalibratie, experimentele opstelling en parameterafstemming voor de topografie van het halfgeleiderwafeltje met AFM
Reservoir Condition Pore-scale Imaging of Multiple Fluid Phases Using X-ray Microtomography
Journal (Engineering)
Reservoir Condition Pore-scale Imaging of Multiple Fluid Phases Using X-ray Microtomography
A High Performance Impedance-based Platform for Evaporation Rate Detection
Journal (Engineering)
A High Performance Impedance-based Platform for Evaporation Rate Detection
 
Click here for the English version

Instrumentkalibratie, experimentele opstelling en parameterafstemming voor de topografie van het halfgeleiderwafeltje met AFM

Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections

Article DOI: 10.3791/200439-v • 03:41 min • June 13th, 2023
June 13th, 2023 •
1, 1, 2, 3, 4,5
1Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, 2Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology, 3Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 4Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, 5nano analytik GmbH

Tags

De actieve Microscopie van de Sonde Atoomkracht Quattro-Parallelle Cantilever Arrays High-Throughput Steekproefinspectie op grote schaal De Microscoop van de Atoomkracht De Oppervlaktestudies op nanoschaal 3D Topografiebeelden Beeldvormingsdoorvoer de Systemen van AFM met hoge snelheid Dynamische Video's van het Proces Chemische en Biologische Reacties Halfgeleiderwafels Nanogefabriceerde Structuren Ruimtelijke Resolutie Beeldvorming op Nanoschaal Statisch Monster Hoge Productiviteit Passieve Cantilever-Ongunstige Optisch Systeem van de Straalafbuiging Beeldvormingsdoorvoer Actieve cantilevers ingebedde piëzoresistieve sensoren thermomechanische actuatoren parallelle werking beeldvormingsdoorvoer nanopositioneerders met groot bereik besturingsalgoritmen datagestuurde nabewerkingsalgoritmen
Read Article

Get cutting-edge science videos from JoVE sent straight to your inbox every month.

Waiting X
Simple Hit Counter