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AFM을 사용한 반도체 웨이퍼 토포그래피 이미징을 위한 기기 교정, 실험 설정 및 파라미터 튜닝

Strain Sensing Based on Multiscale Composite Materials Reinforced with Graphene Nanoplatelets

Journal (Engineering)

Strain Sensing Based on Multiscale Composite Materials Reinforced with Graphene Nanoplatelets

Casting Protocols for the Production of Open Cell Aluminum Foams by the Replication Technique and the Effect on Porosity

Journal (Engineering)

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AFM을 사용한 반도체 웨이퍼 토포그래피 이미징을 위한 기기 교정, 실험 설정 및 파라미터 튜닝

Parallel Active Cantilever Arrays in AFMS to Enable High-Throughput Inspections

Article DOI: 10.3791/200439-v • 03:41 min • June 13th, 2023

June 13th, 2023 •

Fangzhou Xia¹, Kamal Youcef-Toumi¹, Thomas Sattel², Eberhard Manske³, Ivo W. Rangelow^4,5

¹Mechatronics Research Lab, Department of Mechanical Engineering, Massachusetts Institute of Technology, ²Mechatronics Group, Department of Mechanical Engineering, Ilmenau University of Technology, ³Production and Precision Measurement Technology Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, ⁴Nanoscale Systems Group, Institute of Process Measurement and Sensor Technology, Ilmenau University of Technology, ⁵nano analytik GmbH

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