Her beskriver vi en simpel metode til at mønstret oxydfri silicium og germanium med reaktive organiske monolag og demonstrere funktionalisering af mønstrede substrater med små molekyler og proteiner. Den fremgangsmåde er helt beskytter overflader mod kemisk oxidation, giver præcis kontrol over funktionen morfologi, og giver let adgang til kemisk diskrimineret mønstre.