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JoVE Journal Engineering
Herstellung von 3D-Carbon-Mikroelektromechanischen Systemen (C-MEMS)
Multiplexing Focused Ultrasound Stimulation with Fluorescence Microscopy
Journal (Engineering)
Multiplexing Focused Ultrasound Stimulation with Fluorescence Microscopy
Determination of Aggregate Surface Morphology at the Interfacial Transition Zone (ITZ)
Journal (Engineering)
Determination of Aggregate Surface Morphology at the Interfacial Transition Zone (ITZ)
 
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Herstellung von 3D-Carbon-Mikroelektromechanischen Systemen (C-MEMS)

Article DOI: 10.3791/55649-v • 08:01 min • June 17th, 2017
June 17th, 2017 •
1, 1, 1,2, 1,3
1School of Engineering and Sciences, Tecnologico de Monterrey, 2Department of Mechanical and Aerospace Engineering, University of California, 3BBB Inc

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Lange und hohle glasartige Kohlenstoffmikrofasern wurden auf der Basis der Pyrolyse eines Naturproduktes, menschliches Haar, hergestellt. Die beiden Herstellungsschritte von kohlenstoffmikroelektromechanischen und kohlenstoff-nanoelektromechanischen Systemen oder C-MEMS und C-NEMS sind: (i) Photolithographie eines kohlenstoffreichen Polymervorläufers und (ii) Pyrolyse des gemusterten Polymervorläufers.

Tags

Engineering Ausgabe 124 Carbon-MEMS / NEMS glasartiger Kohlenstoff Herstellung Lithographie Pyrolyse SU8 Photoresist menschliches Haar.
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