Summary
En este informe se describe el uso de un sistema hecho a medida para realizar la deposición de aerosoles de películas gruesas de granate de itrio hierro sobre sustratos de zafiro a RT. Las películas depositadas se caracterizan mediante microscopía electrónica de barrido, perfilometría, y resonancia ferromagnética para dar una visión general representativa de las capacidades de la técnica.
Abstract
Aerosol deposición (AD) es un proceso de deposición de película gruesa que puede producir capas de hasta varios cientos de micrómetros de espesor con densidades mayores de 95% de la masa. La ventaja principal de la AD es que la deposición se lleva a cabo completamente a temperatura ambiente; permitiendo de este modo el crecimiento de película en sistemas de materiales con temperaturas de fusión diferentes. Este informe describe con detalle los pasos del proceso para preparar el polvo y para la realización de AD utilizando el sistema a medida. Resultados de la caracterización representativos se presentan a partir de microscopía electrónica de barrido, perfilometría, y resonancia ferromagnética para películas cultivadas en este sistema. Como una visión general representativa de las capacidades del sistema, el enfoque se da a una muestra producida después de la configuración de protocolo y sistema descrito. Los resultados indican que este sistema puede depositar con éxito 11 micras películas de granate de itrio de hierro gruesas que son> 90% de la densidad a granel durante un solo 5 min deposición run. Se proporciona una discusión de métodos para permitirse un mejor control de la selección de aerosol de partículas y para la mejora de espesor y variaciones de rugosidad en la película.
Introduction
Aerosol deposición (AD) es un proceso de deposición de película gruesa que puede producir capas de hasta varios cientos de micrómetros de espesor con densidades mayores de 95% de la mayor 1. Se cree que el proceso de deposición a ocurrir a través de un proceso continuo de impacto, fractura o deformación, la adhesión, y la densificación de las partículas. La figura 1 representa este proceso como una serie de pasos que muestran impacto de partículas y densificación lo largo de varios pasos. Como se muestra, las partículas se mueven hacia el sustrato con una velocidad típica de 100-500 m / seg. Como el impacto partículas iniciales con el sustrato se fracturan y se adhieren al sustrato. Esta capa de anclaje proporciona la adherencia mecánica entre el sustrato y la película a granel. Como se producen impactos posteriores las partículas subyacentes son cada vez más fracturado, adherido, y más densificada. Este proceso de impacto continuo, fractura, y densificación funciona para compactar la película subyacente y unir las Crystallites y producen una película con una densidad de alcanzar mayor que 95% del material a granel.
Figura 1. Ilustración del proceso de deposición. Panel A muestra tres partículas que se mueven hacia el sustrato con una velocidad típica de 100-500 m / seg. Panel B muestra el resultado de impacto, fractura, y la adhesión de la primera partícula. Los paneles C y D muestran el impacto posterior de la segunda y tercera partículas, lo que más compacta la película subyacente y unir los cristalitos. El resultado es una película con densidad superior a 95% del material a granel (reproducido con permiso de Referencia 19). Por favor, haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
La principal ventaja de la EA es que los DEPOSition se lleva a cabo en su totalidad a RT ambiente; permitiendo de este modo el crecimiento de película, por ejemplo, de un material de alta temperatura de fusión (polvo de partida) sobre un sustrato de bajo punto de fusión-temperatura. La velocidad de deposición puede ser de hasta varios micrómetros por minuto y se realiza en condiciones de vacío moderadas de 1-20 Torr en la cámara de deposición. El proceso muestra la capacidad de escalar hasta muy grandes áreas de deposición y, finalmente, se puede depositar conformemente. 2
Hay muchos sistemas de materiales estudiados por AD para una amplia variedad de usos, tales como inductores 3, revestimientos resistentes a la abrasión 4, 5 piezoeléctricos, multiferroicos 6, 7 magnetoelectrics termistores 8, películas termoeléctricas 9, dieléctricos flexibles 10, implantes de tejido duro y biocerámicas 11, electrolitos sólidos 12, y fotocatalizadores 13. Para aplicaciones a dispositivos de microondas, películas magnéticas de severase requieren l cientos de micrómetros de espesor que, idealmente, se integra directamente en los elementos de placa de circuito. Uno de los retos a la realización de esta integración es el régimen de alta temperatura necesaria para la fabricación de películas de ferrita (véase la revisión de Harris et al. 14), tales como el granate de itrio hierro (YIG). Por esta razón AD parece ser una elección natural para la realización de nuevos avances potenciales en la tecnología de circuito integrado magnético. La operación de bajo costo y alta velocidad de depósito, y la simplicidad de la EA ha despertado el interés de los investigadores en Alemania, Francia, Japón, Corea, y ahora en los Estados Unidos.
La Figura 2 es un dibujo delineando la configuración básica para llevar a cabo la deposición de aerosol. La presión se controla en los lugares marcados P AC, DC P y P H para la cámara de aerosol, cámara de deposición, y la cabeza de la bomba, respectivamente. El flujo de gas, controlada por el controlador de flujo másico (MFC), entra en el aerosolcámara y aerosoliza el polvo. La cámara de deposición se bombea para crear la diferencia de presión entre las dos cámaras, haciendo que el flujo de partículas a través de la rectangular (0,4 mm x 4,8 mm) abertura de la boquilla.
Figura 2. Los componentes principales del sistema de NRL ADM. La presión se controla en los lugares marcados P AC, DC P y P H para la cámara de aerosol, cámara de deposición, y la cabeza de la bomba, respectivamente. Véase el texto para más detalles. (Derecho de autor (2014) La Sociedad Japonesa de Física Aplicada, reproducido de la referencia 20). Haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
El tamaño promedio de una partícula YIG individual en esta obra es de 0,5 micras. El efecto de aglomeración hace que éstospequeñas partículas para formar aglomerados mucho más grandes que varían en tamaño desde aproximadamente 10 micras a aproximadamente 400 micras. El control de la tasa de tamaño y entrega aglomerado es esencial para lograr una película bien formado denso. Esto requiere configuración de una cámara de aerosol que permite la selección de tamaño de partícula uniforme y flujo en la cámara de deposición. El polvo es pre-tamiza para eliminar cualquier aglomerado más grande que 53 micras antes de ser cargado en la cámara de aerosol. La configuración de cámara de aerosol utilizado en este trabajo se ilustra en la Figura 3. El gas nitrógeno entra a través de cuatro toberas de entrada (se muestran dos en la Figura 3) situados en los lados inferiores de la cámara. El gas interactúa con el polvo de YIG (mostrado en verde) para producir un aerosol compuesto de una distribución de tamaños de partícula aglomerada inferior a 53 micras. Un agitador en la base de la cámara de aerosol hecho de una placa de acero inoxidable se hace vibrar de forma continua para mantener el polvo en movimiento enel flujo de gas. Los aglomerados impacto de un filtro de 45 micras, permitiendo sólo aglomerados de tamaño inferior a 45 micras para entrar en la entrada de la boquilla. Al entrar en la boquilla de entrada los aglomerados se aceleran a una velocidad grande y expulsado en la cámara de depósito (no mostrado) para llevar a cabo la deposición. Una varilla de acero inoxidable conecta la parte inferior del filtro a la base del agitador (no mostrado) para ayudar en la de-la obstrucción del filtro.
Figura 3. Ejemplo de la configuración interna cámara de aerosol, con filtro, boquillas de entrada, y el polvo de YIG se muestra. Véase el texto para más detalles.
Este informe detalla el procedimiento experimental para realizar AD utilizando el sistema hecha a la medida descrita anteriormente para producir películas densas de YIG. Los resultados representativos para una película de espesor 11 micras producido en este sistema se presentan usando scanninmicroscopía g electrónico (SEM), perfiles de espesor, y la resonancia ferromagnética (FMR). Los resultados que se presentan no pretenden ser un estudio en profundidad de las propiedades magnéticas o estructura del material de la película, sino como una demostración de las películas producidas por esta técnica. Por favor, haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
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Protocol
1. Preparación Powder
- Tamizar hierro granate (YIG) en polvo de itrio como se recibió, para obtener 100 a 150 g de aglomerados de tamaño inferior a 53 micras.
- Coloque el polvo tamizado en un horno para secar durante al menos 24 horas a una temperatura mayor que 300 ° C.
2. Preparación del soporte
- Limpiar un sustrato de tamaño deseado, por ejemplo, 3 mm x 3 mm usando acetona entonces isopropanol. Seque el uso de gas nitrógeno.
3. Realización de aerosol La deposición
- Montar la muestra a la fase de montaje de la traducción.
- Coloque la cinta de doble cara de cobre a la fase de montaje. Coloque el sustrato limpiado en la cinta de cobre.
- Mida la distancia desde el borde de la etapa de montaje a cada borde de la muestra. Registre la dimensiones y muestra la posición en la hoja de la historia de la muestra.
- Compruebe que la etapa de montaje está alineado en paralelo con el cuerpo de la moto traducciónr midiendo la distancia desde el borde de la etapa de montaje hasta el borde del cuerpo del motor con pinzas. Cargar la muestra en la cámara de deposición.
- Abrazadera de la brida para sellar la cámara de deposición. Conecte los 3 cables del controlador D-sub de 15 pines para los motores de traducción.
- Cargue el polvo y cerrar la cámara de aerosol.
- Quite el polvo seco del horno y colóquelo en la sección inferior cámara de aerosol. Deslice el filtro de-obstrucción varilla de fijación en el filtro varilla de-obstrucción.
- Coloque el cuerpo principal de la cámara de aerosol sobre la sección de fondo de la cámara de aerosol. Deje que el filtro de datos adjuntos de-obstrucción barra descanse sobre la placa de agitación como el cuerpo principal está unida a la sección inferior.
- Sujetar el cuerpo principal a la sección inferior. Coloque el medidor de presión de la cámara de aerosol para el puerto lateral en el cuerpo principal de la cámara de aerosol.
- Sujete la sección de entrada de la boquilla al puerto superior en el cuerpo principal of la cámara de aerosol usando una pinza QF. Elevar el tubo de entrada de la boquilla al orificio de entrada en la cámara de deposición y asegurar el montaje superior e inferior.
- Anote los números de identificación de polvo y de cámara de aerosol en la hoja de la historia de la muestra.
- Encienda la bomba de desbaste con ella aislado del resto del sistema. Encienda la lámpara de iluminación cámara de deposición. Abrir la válvula de constricción en la línea de derivación para comenzar la bomba hacia abajo de todo el sistema.
- Configuración del software de control de la presión con la identificación de ejecución deposición.
- Ejecute la macro creador controlador etapa escribiendo 'pitrans' en la ventana de terminal de línea de comandos y escriba la información solicitada. Crear una nueva hoja en la hoja de cálculo registro de ejecución y registrar los parámetros de deposición y notas de configuración.
- Después de la presión del sistema ha alcanzado aproximadamente 150 a 200 Torr, abrir ligeramente la válvula restricciones de ninguna clase. Mantener una velocidad de bombeo de aproximadamente 1 Torr / seg. Una vez ªpresión e ha caído por debajo de 100 Torr iniciar el software de control de la presión y el software de controlador de motor etapa de traducción.
- Una vez que se ha alcanzado la presión del sistema aproximadamente 1 Torr cerrar las tres válvulas de la línea de bypass y abra la válvula de bombeo principal. Apriete la abrazadera de la tapa superior de la cámara de deposición.
- Encienda la bomba de ventilador. Abra la ultra-alta pureza (UHP) de cilindro de gas nitrógeno. Monitor de la presión y registrar la presión base del sistema (por lo general alcanza 15 a 25 mTorr).
- Ajuste la distancia entre la boquilla y el sustrato. Utilice la ventana de la interfaz gráfica de usuario de software controlador etapa para mover el sustrato montado sobre la boquilla. Baje el sustrato hasta que contacta la boquilla. Mueva el sustrato 7,5 mm en la dirección vertical desde esta posición.
- Cierre de la línea principal de bombeo y controlar la tasa de fugas del sistema en el software de control de presión. Tenga en cuenta la tasa de fuga inicial al cierre de la válvula. Si esto leatasa k es menor que 3,33 mTorr / seg continuar, de lo contrario comenzará la comprobación de fugas. Una tasa de fuga típica es menos de 1,2 mTorr / seg.
- Ajuste la válvula de mariposa cámara de deposición al valor prefijado 500 Torr. Ajuste el valor del controlador de flujo de masa de 13,63 L / min (no encenderlo).
- Mover la etapa de montaje a la posición de partida para la deposición. Cargue la macro creada en el paso 3.7 en el software del controlador.
- Programar el generador de funciones para barrer linealmente entre 135 y 145 Hz cada 10 seg. Encienda el generador de función. Gire el flujo de gas de nitrógeno en. Después de una cuenta atrás de 3 seg iniciar el controlador de macro etapa.
- Monitorear la deposición y ajustar la velocidad de flujo de gas como sea necesario para mantener la diferencia de presión a 500 ± 0,5 Torr (o como se desee para la carrera) para la duración de la deposición.
Nota: La presión en la cámara de deposición es típicamente 0,65 Torr y la presión en la cámara de deposición es típicamente 501 Torr. Variaciones incontrolablesen la presión por lo general indican que el nitrógeno UHP se está acabando. Un ligero descenso en la presión (1-2 Torr) durante la duración de la carrera es típico. Esto puede remediarse mediante el aumento de la tasa de flujo de gas. Durante la inicial pasa una película visible debe formar sobre el sustrato, la falta de formación de la película sugiere aerosolización insuficiente del polvo y / o la obstrucción del filtro significativa. - Al final de la deposición tenga en cuenta el tiempo de servicio exacto deposición. Apague el gas nitrógeno, el generador de funciones, y las bombas. Abra completamente la válvula de mariposa cámara de deposición.
- Abrir la válvula de derivación situada en el lado de la cámara de deposición. Gire el regulador de gas de nitrógeno a cero y redirigirlo a la cámara de deposición. Cierre la válvula de bombeo principal, mientras que poco a poco aumentando la presión del regulador de gas casa.
- Inicio de la boquilla a X = 25 mm, Y = 25 mm, y Z = 25 mm, a continuación, cierre el software del controlador etapa.
- Una vez que la presión en el sistema ha aumentadopor encima de 100 Torr detener el software de monitoreo de presión. Anote el total de gas nitrógeno utilizado y el tiempo para completar el depósito. Ajustar la presión del gas casa como sea necesario hasta que el sistema alcanza atmósfera.
- Desconecte los 3 D-sub cables del controlador de la etapa 15 pines y desbloqueará la tapa superior. Retire la tapa superior de la cámara de deposición y desmontar la muestra.
4. Post-deposición de Inspección
- Retire la muestra de la etapa de montaje y lo examinan bajo un microscopio. Si es necesario, lavar la muestra en isopropanol para eliminar el polvo suelto. Realizar las caracterizaciones previstas de la película.
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Representative Results
Después de la deposición es completa, los sustratos recubiertos se retiran de la cámara de deposición y se inspeccionaron utilizando un microscopio estéreo óptico. Las muestras son típicamente cepillado y se lavaron con isopropanol para eliminar el exceso de polvo que se mantuvo durante la re-presurización a la atmósfera. Caracterización de película se realizó en los resultados representativos presentados aquí usando microscopía electrónica de barrido para evaluar la morfología de la película, perfilometría para evaluar el espesor de la película, la uniformidad, y la rugosidad, y resonancia ferromagnética para evaluar las propiedades magnéticas de la película (véase la referencia 20 para detalles adicionales sobre los métodos de caracterización). En este estudio, un 3 mm x 3 mm sustrato de zafiro se revistió utilizando el protocolo anterior y configuración del sistema. El barrido deposición se estableció a Raster través de la película en 0,65 mm / seg y para cubrir una superficie total de 75 mm2.
La Figura 4 es una imagen SEM de la superficie superior de la película mostrando muchos pequeños granos que son mucho más pequeños que el tamaño de partida de las partículas individuales (0,5 micras). Es evidente a partir de la imagen que la película se ha formado una superficie algo rugosa, bien compactado con muy pocos huecos. Para las películas de resultados similares presentadas aquí hemos medido la densidad a entre 90% -96% de la densidad teórica para YIG (5,17 g / cm 3). La vista en sección transversal de la película se muestra en la Figura 5 también es compatible con la naturaleza densa de la película. La imagen principal en la Figura 5 muestra el borde de la muestra como depositado como formada durante la deposición, es decir, no es una sección escindido de la película. El recuadro muestra una vista ampliada de la sección transversal de la película indicando la naturaleza densa de la película. También hemos realizado de difracción de rayos X en las películas como depositados-y a partir de polvo y se encontró que la estructura cristalina no cambia tras la deposición (datos no mostrados; véase también Referencias 3 y 20).
jove_content "> Figura 6 es un gráfico de la altura del escalón de la película. La superficie total de la muestra es de 3 mm x 3 mm (el área total de deposición fue 75 mm 2). El paso fue creado por la eliminación de una porción de la película a lo largo de un borde del sustrato. La línea roja superposición de los datos indica el espesor de película promedio de 10,93 m por un promedio de tres exploraciones perfil través de la película. La rugosidad rms R q = 1,37 m. El tiempo de deposición para formar esta película era 337 seg, resultando en una tasa de deposición de 1,95 m / min.La figura 7 es un gráfico de la derivada de absorción FMR tomada en RT: datos muestran en negro. Un Lorentzian ajuste derivado de forma lineal a los datos se muestra en rojo. La anchura de línea de los datos es 330 Oe y el campo de resonancia es 2810 Oe. La ubicación de la señal y la forma es comparable a un espectro típico de YIG policristalino crecido por otros métodos, por ejemplo, deposición por láser pulsado o por pulverización catódica magnetrón rf ing 15,16. La forma lineal de Lorentz da un buen ajuste a los datos que sugieren una película uniforme 17,18.
Figura 4. Imagen SEM de la superficie superior de la película después de la deposición. La imagen muestra una película con muchos granos que son densamente compactada y mucho más pequeño que el tamaño de partícula de partida individuo 0,5 micras. Por favor, haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
Figura 5. imagen SEM de la sección transversal de la película sobre el sustrato de zafiro. El recuadro es una vista ampliada de la sección transversal de la película.ghres.jpg "target =" _ blank "> Haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
Figura 6. Un perfil de paso representante de la película en la Figura 4 y la Figura 6 muestra la variación en el grosor a través de 2,25 mm de la 3 mm de longitud total de la muestra. El espesor promedio de 10,93 micras se muestra como la línea roja superposición de los datos. Haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
Figura 7. resonancia ferromagnética curva derivada de la película tomada en RT. El espectro es muy conveniente por una función de Lorentz que indica una película homogénea uniforme. El linewidXX es 330 Oe. Por favor, haga clic aquí para ver una versión más grande de esta figura.
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Discussion
La imagen de SEM en la Figura 4 indica que la fractura y la densificación significativa ocurre durante el proceso de deposición. La imagen se toma de la superficie superior de la película, que muestra un pequeño número de huecos y granos. La región observable es el último de la material a depositar y por lo tanto no se beneficia de impacto y el proceso de densificación adicional de partículas subsiguientes como se ilustra por el impacto de partículas 2 y 3 en la Figura 1. La densidad de la película dentro del volumen de la muestra puede ser visto por la imagen de la sección transversal en la Figura 5. Esta imagen, junto con la mayor inserción de ampliación de la sección transversal, proporciona evidencia adicional para una película densa.
La rugosidad se ve en la imagen SEM también se confirma cuantitativamente en las exploraciones perfil. La rugosidad de estas películas puede ser debido a la alta tasa de deposición (1,95 m / min). Es posible que las películas formadas máslentamente permitirá partículas a la fractura y adherirse completamente antes de partículas adicionales llegan, pero el aumento en la rugosidad de película también puede ser fundamentalmente relacionado con el aumento de espesor de la película 21. La caída en el espesor a través de la película sugiere que el flujo de partículas en la cámara de deposición no es constante durante toda la deposición. Las posibles razones podrían derivarse de la pérdida de polvo en el aerosol, la formación de grumos del polvo en la base de la cámara de aerosol, y / o la obstrucción del filtro. Totalmente de secado y tamizado de los polvos y la modificación de la cámara de aerosol a la mostrada en la Figura 3 son estrategias emprendidas para mejorar y controlar la velocidad de deposición y uniformidad de la película.
El espectro FMR para esta muestra indica que la película YIG tiene un campo de resonancia y forma lineal que es típica de las películas policristalinas YIG cultivadas por otras técnicas. La anchura de línea de la película AD depositado es un poco más ancha que la otra policristalino reportadopelículas de aproximadamente 100 a 200 Oe 16. Esto es probablemente debido a la nano-cristalino maquillaje de la película. Tenga en cuenta que las películas YIG de un solo cristal tienen una anchura de línea típico FMR de menos de 1 Oe incluso para espesores comparables 22. Dado que esta película está bien modelado por una forma lineal de Lorentz se podría concluir que la película es uniforme y libre de inhomogeneidades. En este caso, la ampliación de la anchura de línea podría atribuirse a procesos de relajación intrínsecas tales como Gilbert amortiguación y / o 2-Magnon dispersión 18. El perfil de espesor en pendiente en la Figura 6 es evidencia de que la velocidad de depósito no es constante durante todo el proceso, y por lo tanto, la película no es probable que sea completamente libre de inhomogeneidades. Un estudio más a fondo debe llevarse a cabo para implicar plenamente estos mecanismos (véase también la discusión en la Ref. 3), así como, más refinamiento del sistema de AD actual. La causa más probable de la cobertura no uniforme es que el aerosol gennerada en la cámara de aerosol puede llegar a reducirse y / o el filtro se obstruye. Ambos de estos efectos podría causar la cantidad de polvo de entrar en la cámara de deposición a disminuir y por lo tanto resultar en una velocidad de deposición más baja.
Los resultados presentados anteriormente indican la deposición con éxito de una película de casi 11 m de espesor a una velocidad de deposición de casi 2 micras / min (para un área de 75 mm 2) utilizando el sistema de AD y protocolo presentado aquí. La película se compone de granos densamente compactados y orientadas al azar que son mucho más pequeñas que las partículas de partida debido a los mecanismos de impacto, fractura y de densificación que participan en este proceso. La película muestra la forma de campo ancho de línea y resonancia comparable FMR para películas YIG reportados 15-17. Se necesita un trabajo adicional para controlar mejor el flujo de aglomerados en la cámara de deposición para asegurar crecimiento de la película más uniforme.
El trabajo actual está en marcha para mejorar aún más el aireconsistencia del proceso de deposición. Protocolos de secado y tamizado adicionales están siendo desarrollados para asegurar que el polvo tiene la misma consistencia durante cada ejecución. Los diseños también están en marcha para crear un sistema de filtración mejorada con menos obstrucción. Un rediseño de la entrada de la boquilla también ayudará en la prevención de polvo agrupada se acumule dentro del cuello de la boquilla. Más estudios en profundidad de las propiedades magnéticas y estructurales también están en marcha. Algunos estudios actuales incluyen, la construcción de las películas de capa por capa para entender mejor las variaciones en las propiedades magnéticas de estas películas creadas por la deposición de aerosol.
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Disclosures
Los autores no tienen nada que revelar.
Acknowledgments
SDJ agradece el apoyo de la Asociación Americana para la Educación en Ingeniería / NRL Programa de Becas Postdoctorales, discusiones con Konrad Bussmann (NRL) y Mingzhong Wu (Universidad del Estado de Colorado) sobre las propiedades magnéticas de los materiales, y Ron Holm (NRL) por su participación en el diseño e implementación del sistema de AD NRL.
Materials
| Name | Company | Catalog Number | Comments |
| Ferromagnetic Resonance Spectrometer | www.bruker.com/ | 9.5 GHz Spectrometer | |
| Scanning Electron Microscope | www.zeiss.com | LEO Supra 55 | |
| Profilometer | www.kla-tencor.com/ | D-120 | |
| Stereo Microscope | www.microscopes.com | Omano Stereo Microscope | Used for inspection directly after removal from deposition chamber |
| Double-sided Copper Tape | www.2spi.com | 05085A-AB | hold-down clips or other adhesives may be used |
| Nitrile Exam Gloves | www.fishersci.com | 19-130-1597D | |
| 2-propanol | www.fishersci.com | A451SK-4 | |
| Acetone | www.fishersci.com | A11-1 | |
| Yttrium Iron Garnet Powder | www.trans-techinc.com/ | Call for Product Information | Powder is custom made to order and ground to specifications |
| Stainless Steel Spoon | www.fishersci.com | 14-429E | Used for scooping and transferring powder |
| Alumina Boats | www.coorstek.com/ | 65580 | |
| Drying Furnace | www.paragonweb.com | KM14 ceramic furnace | Furnace is connected to air during drying |
| Powder Sieves | www.advantechmfg.com/ | 270SS8F | A selection of mesh openings are needed to sieve from large down to target size |
| Ultra High Purity Nitrogen Gas | www.praxairdirect.com | NI 5.0UH-3K | Used as medium for aerosol. |
| Air Breathing Quality | www.praxairdirect.com | AI BR-4KN | Used inside furnace during drying |
| Lab Balance | www.balances.com/ | Sartorius ED224S Lab Balance | Used for weighing powder |
| Sapphire Wafers | www.pmoptics.com/ | PWSP-313211 |
References
- Akedo, J. Room Temperature Impact Consolidation (RTIC) of Fine Ceramic Powder by Aerosol Deposition Method and Applications to Microdevices. J. of Therm. Spray tech. 17, 181 (2008).
- Hahn, B. D., Park, D. -S., Choi, J. -J., Ryu, J. Osteoconductive hydroxyapatite coated PEEK for spinal fusion surgery. Appl. Surf. Sci. 283, 6-11 (2013).
- Johnson, S. D., et al. Aerosol Deposition of Yttrium Iron Garnet for Fabrication of Ferrite-Integrated On-Chip Inductors. IEEE Trans. on Magnetics. 51 (05), (2015).
- Johnson, S. D., Kub, F. J., Eddy, C. R. ZnS/Diamond Composite Coatings for Infrared Transmission Applications Formed by the Aerosol Deposition Method. Proceedings of SPIE. 8708, 87080T-87081T (2013).
- Han, G., Ryu, J., Yoon, W. -H., Choi, J. -J. Effect of electrode and substrate on the fatigue behavior of PZT thick. Ceram. Int. 38 (1), S241-S244 (2012).
- Ryu, J., Baek, C. -W., Lee, Y. -S., Oh, N. -K.
- Park, C. -S., Ryu, J., Choi, J. -J., Park, D. -S. Giant Magnetoelectric Coefficient in 3-2 Nanocomposite Thick Films. Jpn. J. Appl. Phys. 48 (8), 1 (2009).
- Ryu, J., Park, D. -S., Schmidt, R. In-plane impedance spectroscopy in aerosol deposited NiMn2O4 negative. J. Appl. Phys. 109 (11), 112722 (2011).
- Yoon, W. -H., Ryu, J., Choi, J. -J., Hahn, B. -D. Enhanced Thermoelectric Properties of Textured Ca3Co4O9 Thick Film by Aerosol Deposition. J. Am. Ceram. Soc. 93 (8), 2125-2127 (2010).
- Ryu, J., Kim, K. -Y., Choi, J. -J., Hahn, B. -D. Flexible Dielectric Bi1.5Zn1.0Nb1.5O7 Thin Films on a Cu-Polyimide Foil. J. Am. Ceram. Soc. 92 (2), 524-527 (2009).
- Hahn, B. -D., Lee, J. -M., Park, D. -S., Choi, J. -J. Mechanical and in vitro biological performances of hydroxyapatite-carbon. Acta Biomater. 8 (8), 3205-3214 (2009).
- Choi, J. -J., Cho, K. -S., Choi, J. -H., Ryu, J. Effects of annealing temperature on solid oxide fuel cells containing (La,Sr) (Ga,Mg,Co)O3-δ electrolyte prepared by aerosol deposition. Mater. Lett. 70, 44-47 (2012).
- Ryu, J., Hahn, B. -D. Porous Photocatalytic TiO2 Thin Films by Aerosol Deposition. J. Am. Ceram. Soc. 93 (1), 55-58 (2010).
- Harris, V. G., et al. Recent advances in processing and applications of microwave ferrites. J. of Magn. and Magn. Mat. 321, 2035 (2009).
- Kang, Y. -M., Ulyanov, A. N., Yoo, S. -I. FMR linewidths of YIG films fabricated by ex situ post-annealing of amorphous films deposited by rf magnetron sputtering. Phys. Stat. Sol. (a). 204 (3), 763-767 (2007).
- Popova, E., et al. Perpendicular magnetic anisotropy in ultrathin yttrium iron garnet films prepared by pulsed laser deposition technique). J. of Vac. Sci. Techn. A. 19 (5), 2567-2570 (2001).
- Sun, Y., et al. Growth and ferromagnetic resonance properties of nanometer-thick yttrium. Appl. Phys. Lett. 101 (15), 082405 (2012).
- Kalarickal, S. S., Krivosik, P., Das, J., Kim, K. S., Patton, C. E. Microwave damping in polycrystalline Fe-Ti-N films: Physical mechanisms and correlations with composition and structure. Phys. Rev. B. 77, 054427 (2008).
- Johnson, S. D. Advances in Ferrite-Integrated On-Chip Inductors Using Aerosol Deposition. Magnetics Business & Technology Magazine. 10, (2014).
- Johnson, S. D., Glaser, E. R., Cheng, S. -F., Kub, F., Eddy Jr,, R, C. Characterization of As-Deposited and Sintered Yttrium Iron Garnet Thick Films Formed by Aerosol. Appl. Phys. Express. 7, 035501 (2014).
- Lee, D. -W., Nam, S. -M. Factors Affecting Surface Roughness of Al2O3 Films Deposited on Cu Substrates by an Aerosol Deposition Method. J. of Ceramic Proc. Research. 11, 100 (2010).
- Glass, H. L., Elliott, M. T. Attainment of the Intrinsic FMR Linewidth in Yttrium Iron Garnet Films Grown by Liquid Phase Epitaxy.J. Cryst. Growth. 34, 285 (1976).
