집중 된 이온 살을 사용 하 여 화학적 활성 LiPON 기반 고체 리튬-이온 nanobatteries의 제조에 대 한 프로토콜 제공 됩니다.
고체 전해질은 현재 유기 액체 전해질, 높은 에너지 밀도 리튬-이온 (리튬 이온) 배터리의 향상 된 안전 유망한 대체품 이다. 그러나, 난관 수 상용 장치에 그들의 통합을 방지. 주요 제한 요소는 궁극적으로 배터리 작동의 저하로 이어지는 전극/전해질 인터페이스에서 발생 하는 나노 스케일 현상 때문 이다. 이러한 중요 한 문제는 매우 도전적인 관찰 하 고 이러한 배터리 포함 여러 묻혀 인터페이스를 특징. 박막 배터리의 계면 현상의 직접 관찰에 대 한 한 가지 방법은 집중 된 이온 빔 (FIB)에 의해 화학적 활성 nanobatteries의 제작을 통해서이다. 따라서, nanobatteries를 조작 하는 신뢰할 수 있는 기술 개발 및 최근 작품에서. 여기, 단계별 과정을 상세한 프로토콜이 nanobattery 제조 프로세스의 복제를 사용 하도록 제공 됩니다. 특히,이 기술은 LiCoO2/LiPON/a-Si, 구성 된 박막 배터리에 적용 된 그리고 더 이전 제자리에 전송 전자 현미경에서 사이클링에 의해 입증 되었습니다.
이온 빔 (FIB) 전송 전자 현미경 (TEM) 시료 준비 및1,2를 편집 하는 회로에 주로 사용 된 집중. Nanofabrication 거짓말을 사용 하는 반도체 재료3에 많은 초점을 지난 2 년 동안 크게 점진 했다. 과학적 발전을 그 중요성에도 불구 하 고 주요 우려가 거짓말 기술로 남아 있다, 표면 손상, 재 증 착, 때문에 높은 전류 밀도4,5우선 스퍼터 링 등. 거기 몇 가지 기사 거짓말 손상 벌크 재료에 가장 표본 준비 중 이었고이 피해를 줄이기 위해 여러 가지 방법이 제안된6,7,,89되었습니다. 그러나, 다른 기능을 가진 여러 계층으로 구성 된 활성 장치의 거짓말 제조 여전히 제한 됩니다.
특히 에너지 저장 분야에에서 고체 장치에 대 한 인터페이스에는 중요 한 역할을 하 고 고체-고체 인터페이스 임피던스10의 지배적인 근원으로 수시로 여겨진다. 이러한 인터페이스는 특히 특성, 자신의 매장 성격과 단 하나의 장치에 여러 개의 인터페이스가 존재 데이터 회선의 조합 때문에 어렵다. 완전히 고체 nanobatteries의 제작이 조사 하 여 궁극적으로 배터리에 전기 화학 프로세스에 영향을 이러한 인터페이스의 동적 특성을 이해 중요 합니다. 박막 배터리 리튬 인 oxynitride (LiPON)에 따라 이상 2 년 전 시연 했다 되며 현재 상용화11. 박막 배터리에서 화학적 활성 nanobatteries의 거짓말 제조는 인터페이스, nanobatteries로 인해 전기 활동을 유지 하기 위해 거짓말 실패를 사용 하 여 조작 하려는 대부분의 시도의 현장에서 평가 사용에 대 한 중요 한 합선12. 초기 시도 제자리에서 시 전자 홀로 그래피13리튬 분포를 관찰 하는 nanobattery의 작은 부분만 박 형 자전거.
더 최근의 작업 현장 전 및 현장에서 스캔 전송 전자 현미경 (줄기)와 전자 에너지 손실 분광학 (화학적 활성 nanobatteries의 성공적인 거짓말 제조 시연 하고있다 계면 현상14,15의 뱀장어) 특성화 중요 한 전기 화학 활동을 유지 하는 데 도움이 거짓말 제조 매개 변수 Santhanagopalan 외. 로 표시 되어 있다 14, 그리고 상세한 프로토콜이이 원고에 표시 됩니다. 이 절차는 모델 LiCoO2/LiPON/a-Si 배터리 기반 하지만 궁극적으로 더 박막 배터리 화학 물질의 탐사 하면.
우리의 결과 의해 같이, 설명 하는 기술은 화학적 활성 nanobatteries 더 큰 박막 배터리에서 해제를 생성 합니다. 이러한 기술은 galvanostatically는 nanobattery를 바이어 싱 하 여 묻혀 인터페이스의 전 situ와 제자리에서 줄기/뱀장어 특성화를 활성화 했습니다. 이로써 양적 화학 현상의 전기 상태 연결의 전례 없는 고해상도 특성. 그러나, 이러한 결과 얻기 위해 다양 한 특정 장애 극복 되어야 한다.
동기 처리를 시작 하기 전에 일정 전류 시험 음극과 양극에서 nanobattery의 저 잡음 전기 통로 되도록 실시 한다. 통풍 거짓말 챔버와 음극 측 테스트를 수행할 수 있습니다. Nanobattery 제작을 위해 챔버를 펌핑 하기 전에 긍정적인 터미널 (중 진공 피드스루 또는 무대 바닥을 통해), 실험을 수행 하는 경우에 연결 되어야 하 고 부정적인 터미널 무대에 직접 연결 합니다. Note 터치 경보 단계 연결, 사용 하는 경우 악기의 터치 알람 기능 비활성화 될 수 있습니다, 그리고 연결 해야만 만들어질 필요는 없습니다 더 기우는 무대의 때. 그러나, 여기는 테스트 시스템을 진공, 아래 필요 합니다 그리고 현재는 micromanipulator와 무대 회로 통해 전달 합니다. micromanipulator 일정 전류 잡음 테스트 구리 격자에 Pt와 전기적으로 준수 수 있습니다 됩니다. 현재 해상도 문제가 계속 되 면, 무대 시스템 접지에서 분리 하는 방법에 대 한 내용은 해당 공급 업체에 문의.
이 기술이 작동 고체 전해질 LiPON에 손상을 최소화 하기 위해 제공 된 이온 빔 규격을 사용 하 여 중요 하다. LiPON는 (i) 습 한 대기 상태, (ii) 전자 빔, 그리고 (iii) 이온 광선에 장기간된 노출에 매우 민감합니다. 따라서 고체 nanobattery 제조 공정 필요 이러한 조건의 모든 3에 대 한 노출 최소화를 합니다. 사전 및 사후 제작 대기 조건에 노출 절대적으로 최소화 한다. 제자리에서 거짓말 순환 과정 설명이 노출을 최소화 하기 위해 솔루션으로 개발 되었다. 동안 및 제조, 전자 빔 후 이미징 고체 전해질 손상으로 제한, 되어야 한다. 마찬가지로, 이온 빔 영상 또한 전해질 및 기타 활성 구성 요소 뿐만 아니라의 저하를 방지에 국한 되어야 합니다. 특정 밀링 파일 및 시간 재료/장비의 특정 시 약, 장비, 및 제조 업체;에 대 한 테이블에 명시 된 장비를 기반으로 이 거짓말 악기, 사이 다를 수 있습니다 그리고 다른 악기를 사용 하는 경우 수정 해야 할 수 있습니다.
모든 매개 변수는 nanobattery의 거짓말 제조에서의 가장 중요 한 고려 사항은 현재 낮은 광속 및 유지 시간14피해 최소화 하기 위해 사용. 필요한 때마다 이미징 낮은 픽셀 면만 번에서 전자와 이온 빔 (pA)에서 일반적으로 낮은 빔 전류와 낮은 유지 시간에 수행 됩니다 (100 ns). 대부분의 시간, 높은 시간 전자 빔 LiPON 전해질에 생산 표시 변경 이미징 연연. 그림 7 손상 되지 않은 LiPON을 표시 하 고 그림 7b와 같이 LiPON 레이어에 손상을 유도 전자 빔으로 영상 추가. 이 피해 대비 변화에 돌이킬 수 없는 결과 이며 nanobattery는 화학적 비활성 렌더링 됩니다.
또한, 전기 자전거에 대 한 적절 한 주의가 제대로 음극 전류 수집기와 그리드 사이 전기 접촉을 (그림 6b). 마찬가지로 양극 (그림 6);에 micromanipulator 접촉을 유지 하는 것이 중요 하다 그림 8는, 약 150에서 보듯이 s, 전기 데이터에 스파이크 양극으로 유도 된 진동 연락처 문제에 해당. Micromanipulator 양극 접촉의 불안정에 대 한 잠재력을 감안할 때는 제자리에서 테스트 시간이 최소화 됩니다 차례로 충전 시간을 단축 하는 nanobattery 용량을 제한 하 여.
전압 프로필 박막 배터리와 일치 하지 않으면 청소 절차는 가능성이 일부 다시 증 착 단락 문제 (그림 10) 발생으로 반복 됩니다. 양극 절연 단계 특히 다시 예금 된 물자의 큰 소스 이다. 전류 밀도 적절 하 게 수정 해야 합니다 그래서이 청소 절차 nanobattery 단면을 감소 합니다. 이온 빔 손상을 완전히 피할 수 없습니다 그리고 그것은 25의 최대 몇 nm 사이 제한 주의 된다 이온 분산 시뮬레이션 SRIM에서에서 계산한 표면에 nm 프로그램 30 keV 전극 재료18에 조지아+ . 낮은 에너지 처리는 대부분19에 피해를 줄일 수 있습니다. 거짓말 프로세스 설명 여기 독특한, 그리고 제조, 조작, 그리고 현장에서 나노의 테스트는 거짓말-sem의 듀얼 빔 시스템으로 사용. 그것은 다른 배터리 화학 물질 및 기타 nanoscale 장치 프로세스를 확장할 수 있습니다.
그것은이 프로토콜에서 제공 하는 특정 매개 변수에 잘 대체 전기 시스템에 직접 전송 하지 않을 수 있습니다 참고 해야 합니다. LiPON 고속에서 이온 빔에서 열 효과에 민감한 결정 했다. 그러나, 다른 전해질 다른 감도에서 고통을 수 있습니다. 마찬가지로, 소재 시스템 좋은 전기 화학이+ 이온 밀링 후 보였다이 프로토콜에서 테스트, 다른 자료 시스템 이온 투성이 이식에 더 취약 있을 수 있습니다. 따라서, 매개 변수 공간의 더 많은 탐사 대체 소재 시스템에 대 한 필요할 수 있습니다. 황 화물 같은 더 민감한 재료 연구의이 분야는 주로 고급 특성화 기술 탐험 하지만 이온 밀링 후 제대로 수행할 수 있습니다. 현실적으로, 이러한 매개 변수 현대 고체 전해질은 일반적으로 결정 하 고 더 강력한 LiPON 보다 관심의 가장 소재 시스템을 번역할 것 이다. 이러한 잠재적인 한계에도 불구 하 고 기술은 새로운 소재 시스템, 대체 계면 현상 발견 가능성을 제공 하 고, 궁극적으로 임피던스 메커니즘을 잠복 근무에 적용 됩니다. 이 기술은 자연 후속은 전기 자전거는 가장에서의 관찰 이다. 이에 수행 된 시스템이이 프로토콜에서 설명 하 고 이러한 인터페이스에서 이전에 보이지 않는 행동을 발견. 이 기술은 다른 형태의 임피던스의 관찰 수 있게 된다.
The authors have nothing to disclose.
저자는 모든 고체 배터리의 개발에 대 한 지원 자금 인정 하 고 제자리에 거짓말과 미국 에너지 부, 오피스의 기본적인 에너지 과학에 의해 가장 홀더 개발 아래 보너스 번호 드-SC0002357. 국립 연구소와 협력 화학 에너지 저장, 에너지 프론티어 연구 센터는 미국 에너지 부에 의해, 사무실의 기본적인 에너지 과학 수상에서 투자를 위한 북동 센터의 부분 지원 가능 하다 수 드-SC0001294입니다. 이 연구는 미국 DOE 사무실의 과학 시설 인, 계약 번호 아래 Brookhaven 국립 연구소에 기능성 나노 소재에 대 한 센터의 자원 사용 드-SC0012704입니다. 이 작품에는 샌디에고 나노기술 인프라 (SDNI), 국가 나노기술 조정 인프라는 국립 과학 재단 (그랜트 ECCS-1542148)에 의해 지원 되는의 회원 부분에서 수행 되었다. 거짓말 작품 일부에 UC 어바인 소재 연구 연구소 (IMRI), 국립 과학 재단 센터 공간 제한 (체-082913)에서 화학에 대 한 부분에 투자 하는 계측을 사용 하 여 수행 되었다. 우리는 낸시 Dudney, 오크 리 지 국립 연구소 박막 배터리를 제공에 대 한 감사 합니다. : J.L. 유진 Cota Robles 친목 프로그램에서 지원 되며 D.S 세르비아, 라마 누 잔 친목 (SB/S2/RJN-100/2014)에 대 한 인도 게 감사를 인정.
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FEI Scios DualBeam FIB/SEM | FEI | Current noise improves with a shielded stage feedthrough | |
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PELCO Colloidal Silver Paste, Conductive | Ted Pella, Inc. | 16032 | Or equivalent |
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