| Malzeme< / güçlü > | | | |
| etanol, & ge; % 99.5 | Sigma-Aldrich | | 459844-HCL |
| , H2O'da 1.019 N | Fluka Analitik | | |
| 318949-Aseton, & ge; % 99.5 | Sigma-Aldrich | 320110-Benzen | |
| , & ge; % 99.9 | Sigma-Aldrich | 270709 | - |
| İzopropanol, ACS reaktifi, vb; % 99,5 | Sigma-Aldrich | 190764 | |
| Hekzan | Fisher Kimyasal | H292-4-Argon | |
| Matheson Gaz | | |
| G1901175-Tetrahidrofuran (THF), > % 99,9 | Sigma-Aldrich | | 401757-Plüronik |
| F-127 | Sigma-Aldrich | P2443-Polidimetil | |
| Siloksan (PDMS) Slygard 184 | Dow Corning | | |
| (1H,1H,2H,2H-perflorooktil) silan (TPS), %97 | Sigma-Aldrich | 448931 | toksiktir. Kaputun altında onunla çalışın |
| Susuz Kloroform, > %99 | Sigma-Aldrich | | 372978-Pozitif |
| Fotorezist AZ1512 | MicroChemicals | AZ 1512 | amber-kırmızı sıvı, yoğunluk 1.083 g/cm3, spin kaplama aşaması kaputun altında yapılmalıdır |
| Geliştirici AZ 300 MIF | MicroChemicals | AZ300 MIF | hafif amin kokulu ve 1 g/cm3 |
| yoğunluğa sahip berrak renksiz sıvı1,2-Vinil-4,4-dimetil azlakton (VDMA) | Isochem Kuzey Amerika, LLC | | |
| dodesil tritiyokarbonat (CPDT) | Sigma-Aldrich | | |
| 723037-2,2 & prime; -Azobis (4metoksi-2,4-dimetil valeronitril) (V-70) | Wako Özel Kimyasallar | CAS NO. 15545-97-8, EINECS No. 239-593-8-Parilen | |
| N | Özel Kaplama Sistemleri | 15B10004 | - |
| Name< / strong> | Company< / strong> | Katalog Numarası< / strong> | Comments< / strong> |
| Equipment< / strong> | | | |
| Parylene Kaplayıcı | Özel Kaplama Sistemleri | SCS Labcoater (PDS 2010) | - |
| Maske hizalama sistemi | Neutronix Quintel | NXQ8000 | - |
| Oksijen Plazma Aşındırıcı | Oxford Instruments Plazma | Laboratuvar Sistemi 100 | Yüzeyli |
| Profilometre | Veeco | Dektak 150 | Tarama tipi standart tepe idi. Tarama süresi ve kuvveti sırasıyla 120 s ve 1 mg idi. |
| Brightfield Dik Mikroskop | Olympus Corporation | BX51-Oksijen | |
| Plazması Temizleyici | Harrick Plazma | PDC-001-HP-Zayıflatılmış | |
| Toplam Yansıma Fourier Dönüşümü Kızılötesi Spektroskopisi (ATR-FTIR) | Perkin Elmer | ATR-FTIR 100-Atomik | |
| Kuvvet Mikroskobu (AFM) | PicoPlus | Picoplus atomik kuvvet mikroskobu | Veeco MLCT-E 0,5 N/m yay sabiti ile konsollar. Tarama hızları 0,25 ile 1 Hz arasında değişiyordu. |
| Taramalı Elektron Mikroskobu (SEM) | Hitachi Science Systems Ltd., Tokyo, Japonya | - | |
| Döner Alet İş İstasyonu | Dremel | Model 220-01-Spin | |
| Kaplayıcı | Akıllı Kaplayıcı | SC100-Vakumlu | |
| Fırın | Yamato Scientific Co. | PCD-C6 (5) 000) | - |
| Boyut Dışlama Kromatografisi (SEC) | Waters Alliance 2695 Ayırma Modülü | 720004547EN-Kırılma | |
| İndeksi (RI) dedektörü | Waters | Model 2414-Fotodiyot | |
| Dizi Dedektörü | Sular | Model 2996, | 716001286-Çok |
| Açılı Işık Saçılma (MALS) Dedektörü | Wyatt Teknolojisi | miniDAWN TREOS | II-Viskozimetre |
| Wyatt | Teknoloji Viscostar-PLgel | |
| 5 & mikro; m karışık-C sütunlar (300 x 7,5 mm) | Agilent | 5 &mikro; m karışık-C | kolonları-Elipsometre |
| J. A. Woollam | alpha-SE | Cauchy modeli, PGMA ve PVDMA katmanlarının kırılma indeksleri 632 nm'de 1.50 ve 1.52 idi |
| Ultrasonik Sonikatör | Fischer Scientific | FS-110H | - |